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公司公告

华东科技:关于控股子公司BCE制程开发技术取得突破公告2017-07-29  

						证券代码:000727             证券简称:华东科技            公告编号:2017-045

            南京华东电子信息科技股份有限公司
   关于控股子公司 BCE 制程开发技术取得突破公告
    本公司及董事会全体成员保证信息披露的内容真实、准确、完整,没有虚假记载、误导

性陈述或重大遗漏。



       一、BCE 技术开发的背景情况和基本情况
     目前超窄边框、高亮度、低功耗、低成本已经成为平板显示产品
发展的主流方向,公司控股子公司南京中电熊猫平板显示科技有限公
司(以下简称平板显示)现有 IGZO 制程技术所采用的 TFT 器件是 ESL
(Etching stop layer 刻蚀阻挡型结构)结构,该种结构可以保护
IGZO TFT 器件的稳定性,但是增加了光罩数量和制程复杂性,同时
器件所占版图空间较大,不利于实现更窄的边框设计和更高的开口
率。
     为适应市场需求,平板显示于 2017 年 2 月启动了“非晶态 IGZO
BCE(Back channel etch 背沟道刻蚀型结构)制程量产工艺研究”
项目,集中公司研发、工厂、采购等部门的精兵强将组建了项目团队,
经过 5 个月努力,于 2017 年 7 月 17 日第一次试做 15.6 寸 BCE 面板
即成功点亮,取得突破性进展。平板显示后续将展开 BCE 工艺的进一
步优化。
     BCE 是 IGZO TFT 器件的一种结构类型。与 ESL 结构相比,BCE 结
构有如下优点:
     1、有源沟道的定义只需一步光刻工艺,沟道尺寸定义精度高,
易实现器件小型化;
     2、不需引入刻蚀阻挡层,制造成本低。
       二、意义和作用
     随着面板大型化和高精细化发展的趋势,传统的非晶硅 TFT 已经
不能满足技术要求,而 IGZO TFT 具有电子迁移率高、均一性好、成
本低等优点,被认为是将取代非晶硅 TFT 的下一代背板驱动技术。平
板显示领先于业界展开 IGZO 技术布局,目前为内地唯一可大规模供
货 IGZO 产品的企业。
    后续随着 IGZO TFT 背沟道蚀刻型结构(即 BCE 结构)的技术开
发量产,将有利于降低产品成本,实现高端产品开发,增强 IGZO 技术
的竞争力。平板显示 15.6 寸 BCE 面板点亮,进一步确立了公司在 IGZO
技术领域的领先位置。



                             南京华东电子信息科技股份有限公司
                                         董 事 会
                                       2017 年 7 月 29 日