中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会

                    关于 2022 年限制性股票激励计划

                    第二个归属期归属名单的核查意见

    中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中
华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以
下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）和《中微
半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规
定，对公司 2022 年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）第二个归
属期归属名单进行审核，发表核查意见如下：
    本次拟归属的 955 名激励对象符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规
范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》《上市规则》等
法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合本次激励计划规定的激励对
象范围，其作为公司本次限制性股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，
激励对象获授限制性股票的归属条件已成就。
    监事会同意本次符合条件的 955 名激励对象办理归属，对应限制性股票的归
属数量为 88.5114 万股。上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的条
件，不存在损害公司及股东利益的情形。


    特此公告。




                                  中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
                                                              2024 年 3 月 27 日




                                       1