中微半导体设备（上海）股份有限公司
        2024 年限制性股票激励计划实施考核管理办法


    中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为进一步健全公
司的激励约束机制，形成良好均衡的价值分配体系，有效地将股东利益、公司利
益和员工个人利益结合在一起，使其更诚信勤勉地开展工作，以保证公司业绩稳
步提升，确保公司发展战略和经营目标的实现。按照收益与贡献匹配的原则，公
司拟实施 2024 年限制性股票激励计划。
    为保证公司 2024 年限制性股票激励计划的顺利实施，现根据《中华人民共
和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》《上海证
券交易所科创板股票上市规则》等有关法律、法规和规范性文件、以及《中微半
导体设备（上海）股份有限公司章程》《中微半导体（上海）股份有限公司 2024
年限制性股票激励计划（草案）》（以下简称“激励计划”、“计划”）的相关规定，
特制定《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2024 年限制性股票激励计划实
施考核管理办法》（以下简称“本办法”）。
    一、考核目的
    进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程
度上发挥激励计划的作用。
    二、考核原则
    考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的
业绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高
公司整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。
    三、考核范围
    本办法适用于公司本次激励计划所确定的所有激励对象，即薪酬与考核委员
会确定并经董事会审议通过的所有激励对象。
    四、考核机构
    （一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。
    （二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与
考核委员会负责及报告工作。
    （三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供,
并对数据的真实性和可靠性负责。
    （四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。
    五、考核指标及标准
    （一）公司层面业绩考核要求
    本激励计划首次授予的限制性股票考核年度为 2024-2027 四个会计年度，每
个会计年度考核一次。以公司 2023 年度的营业收入为基数，根据各考核年度的
营业收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考
核目标对应的公司层面归属比例。各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：
         对应考   该考核年度使用的                          公司层面
归属期                                    业绩考核目标
         核年度       营业收入                              归属比例
                                       X≧对标企业算术平
                                                              100%
                                            均增长率
                                       对标企业算术平均增
第一个
          2024     2024 年营业收入     长率*0.8≦X<对标企     80%
归属期
                                         业算术平均增长率
                                       X<对标企业算术平
                                                               0
                                         均增长率*0.8
                                       X≧对标企业算术平
                                                              100%
                                            均增长率
                                       对标企业算术平均增
第二个            2024 年、2025 年两
          2025                         长率*0.8≦X<对标企     80%
归属期             年营业收入累计值
                                         业算术平均增长率
                                       X<对标企业算术平
                                                               0
                                         均增长率*0.8
                                       X≧对标企业算术平
                                                              100%
                                            均增长率
                  2024 年、2025 年和   对标企业算术平均增
第三个
          2026    2026 年三年营业收    长率*0.8≦X<对标企     80%
归属期
                       入累计值          业算术平均增长率
                                       X<对标企业算术平
                                                               0
                                         均增长率*0.8
第四个                                 X≧对标企业算术平
          2027                                                100%
归属期                                      均增长率
                    2024 年、2025 年、      对标企业算术平均增
                    2026 年和 2027 年四     长率*0.8≦X<对标企             80%
                     年营业收入累计值         业算术平均增长率
                                             X<对标企业算术平
                                                                             0
                                               均增长率*0.8
    注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；
    2.对标企业指 Gartner 公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果
Gartner 未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；
    3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比 2023 年度的累
计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；
    4.如对标企业年度报告财务报表日在 1-9 月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董
事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财
务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表
日在 10-12 月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的
前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。

     若预留部分在 2024 年三季度报告披露之前授予，则预留授予各批次考核年
度及各考核年度业绩考核目标与首次授予部分一致；若预留部分在 2024 年三季
度报告披露之后授予，则预留授予考核年度为 2025-2028 四个会计年度，每个会
计年度考核一次。以公司 2023 年度的营业收入为基数，根据各考核年度的营业
收入累计值定比基数的年度累计营业收入增长率（X），确定各年度的业绩考核目
标对应的公司层面归属比例。2024 年三季度报告披露之后授予的预留部分限制
性股票各考核年度业绩考核目标安排如下表所示：
         对应考     该考核年度使用的                                    公司层面
归属期                                          业绩考核目标
         核年度         营业收入                                        归属比例
                                             X≧对标企业算术平
                                                                          100%
                                                  均增长率
                                            对标企业算术平均增
第一个
          2025       2025 年营业收入        长率*0.8≦X<对标企             80%
归属期
                                              业算术平均增长率
                                             X<对标企业算术平
                                                                             0
                                               均增长率*0.8
                                             X≧对标企业算术平
                                                                          100%
                                                  均增长率
第二个              2025 年、2026 年两
          2026                              对标企业算术平均增
归属期               年营业收入累计值
                                            长率*0.8≦X<对标企             80%
                                              业算术平均增长率
                                             X<对标企业算术平
                                                                             0
                                               均增长率*0.8
                                             X≧对标企业算术平
                                                                          100%
                                                  均增长率
                      2025 年、2026 年和    对标企业算术平均增
第三个
            2027      2027 年三年营业收     长率*0.8≦X<对标企             80%
归属期
                           入累计值           业算术平均增长率
                                             X<对标企业算术平
                                                                             0
                                               均增长率*0.8
                                             X≧对标企业算术平
                                                                          100%
                                                  均增长率
                     2025 年、2026 年、     对标企业算术平均增
第四个
            2028     2027 年和 2028 年四    长率*0.8≦X<对标企             80%
归属期
                      年营业收入累计值        业算术平均增长率
                                             X<对标企业算术平
                                                                             0
                                               均增长率*0.8
    注：1.上述“营业收入”以经公司聘请的会计师事务所审计的合并报表所载数据为计算依据；
    2.对标企业指 Gartner 公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司（如果
Gartner 未公布或未及时公布，可采用其他权威机构数据）；
    3.对标企业算数平均增长率=各对标企业各考核年度的营业收入累计值定比 2023 年度的累
计营业收入增长率（同中微公司各考核年度累计营业收入增长率算法）之和除以五；
    4.如对标企业年度报告财务报表日在 1-9 月内或对标企业考核年度的年度报告在中微公司董
事会审议归属条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业已披露的最近四个季度财
务数据（含考核年度内各季度）之和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表
日在 10-12 月且对标企业考核年度的年度报告在中微公司董事会审议归属条件是否成就议案的
前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据视为考核年度数据。


     （二）个人层面绩效考核要求
     激励对象的个人层面绩效考核按照公司现行目标管理（MBO）规定组织实
施，并依照激励对象的考核结果确定其实际归属的股份数量。激励对象的绩效考
核结果划分为五个档次，届时根据以下考核评级表中对应的个人层面归属比例确
定激励对象的实际归属的股份数量：

 考核评级      MBO≧1       0.9≦MBO<1     0.8≦MBO<0.9   0.7≦MBO<0.8     MBO<0.7

 个人层面
                   100%         90%            80%            70%                0
 归属比例

     激励对象当年实际归属的限制性股票数量=个人当年计划归属的数量×公司
层面归属比例×个人层面归属比例。
    激励对象当期计划归属的限制性股票因考核原因不能归属或不能完全归属
的，作废失效，不可递延至下一年度。
    六、考核期间与次数
    本次激励计划首次授予的限制性股票考核年度为 2024-2027 四个会计年度，
若预留部分在 2024 年三季度报告披露之前授予，则预留授予考核年度与首次授
予部分一致；若预留部分在 2024 年三季度报告披露之后授予，则预留授予考核
年度为 2025-2028 四个会计年度，公司层面的业绩考核及个人层面的绩效考核每
个会计年度考核一次。
    七、考核程序
    公司人力资源部在董事会薪酬与考核委员会的指导下负责具体的考核工作，
保存考核结果，并在此基础上形成绩效考核报告上交董事会薪酬与考核委员会。
    八、考核结果管理
    （一）考核结果反馈与申诉
    被考核对象有权了解自己的考核结果，薪酬与考核委员会应在考核工作结束
后 5 个工作日内将考核结果通知被考核对象。
    如果被考核对象对自己的考核结果有异议，可与人力资源部沟通解决。如无
法沟通解决，被考核对象可向薪酬与考核委员会申诉，薪酬与考核委员会需在 10
个工作日内进行复核并确定最终考核结果。
    （二）考核结果归档
    考核结束后，考核结果由人力资源部作为保密资料归档保存，绩效考核记录
保存期 5 年，对于超过保存期限的文件与记录，经薪酬与考核委员会批准后由人
力资源部统一销毁。
    九、附则
    （一）本办法由董事会负责制订、解释及修订。若本办法与日后发布实施的
法律、行政法规和部门规章存在冲突的，则以日后发布实施的法律、行政法规和
部门规章规定为准。
    （二）本办法经公司股东大会审议通过并自激励计划生效后实施。
中微半导体设备（上海）股份有限公司
                             董事会
                  2024 年 3 月 27 日