证券代码：300346            证券简称：南大光电              公告编号：2020-117

                   江苏南大光电材料股份有限公司
             关于ArF光刻胶产品通过客户认证的公告
    本公司及董事会全体成员保证公告内容的真实、准确和完整，没

有虚假记载、误导性陈述或重大遗漏。

    江苏南大光电材料股份有限公司（以下简称“公司”）控股子公司宁波南大

光电材料有限公司（以下简称“宁波南大光电”）自主研发的 ArF 光刻胶产品

近日成功通过客户的使用认证。

    “ArF 光刻胶产品开发和产业化”是宁波南大光电承接国家“02 专项”的

一个重点攻关项目。本次产品的认证通过，标志着“ArF 光刻胶产品开发和产

业化”项目取得了关键性的突破，成为国内通过产品验证的第一只国产 ArF 光

刻胶，为全面完成项目目标奠定了坚实的基础。


    一、认证评估情况

    认证评估报告显示，“本次认证选择客户 50nm 闪存产品中的控制栅进行验

证，宁波南大光电的 ArF 光刻胶产品测试各项性能满足工艺规格要求，良率结

果达标。”


    二、通过客户认证对公司的价值

    ArF 光 刻 胶 材 料 是 集 成 电 路 制 造 领 域 的 重 要 关 键 材 料 ， 可 以 用 于

90nm-14nm 甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。广泛应用于高端芯片制

造（如逻辑芯片、 AI 芯片、5G 芯片、大容量存储器和云计算芯片等）。

    ArF 光刻胶的市场前景好于预期。随着国内 IC 行业的快速发展，自主创新
和国产化步伐的加快，以及先进制程工艺的应用，将大大拉动光刻胶的用量。

    本次通过客户认证的产业化意义大。本次验证使用的 50nm 闪存技术平台，

在特征尺寸上，线制程工艺可以满足 45nm-90nm 光刻需求，孔制程工艺可满足

65nm-90nm 光刻需求，该工艺平台的光刻胶在业界有代表性。


    三、对公司经营业绩的影响及风险提示

    ArF 光刻胶产品通过客户的认证，与客户的产品销售与服务协议尚在协商

之中。尤其是 ArF 光刻胶的复杂性决定了其在稳定量产阶段仍然存在工艺上的

诸多风险，不仅需要技术攻关，还需要在应用中进行工艺的改进、完善，这些

都会决定 ArF 光刻胶的量产规模和经济效益。公司将及时根据后续进展履行信

息披露义务，敬请广大投资者注意投资风险。


    特此公告。



                               江苏南大光电材料股份有限公司

                                           董事会

                                     2020 年 12 月 17 日