证券代码：603690 证券简称：至纯科技 公告编号：2021-122
上海至纯洁净系统科技股份有限公司关于
控股子公司增资扩股引入战略投资者暨关联交易的
公告
本公司董事会、全体董事及相关股东保证本公告内容不存在任何虚假记载、
误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承担个别及连
带责任。
重要内容提示：
交易的主要内容：上海至纯洁净系统科技股份有限公司（以下简称“公司”、
“至纯科技”）控股子公司至微半导体（上海）有限公司（以下简称 “至微科技”）
拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让。本次交易各方合计增资额
为 42,000 万元（其中上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）（以下简称“芯
晟至远”）增资额为 2,000 万元），股权转让涉及金额 23,200 万元。本次交易完成
前，公司持有至微科技的股份比例为 99.34%，本次交易完成后，公司持有至微
科技的股份比例为 77.11%。
本次交易的增资方之一芯晟至远的执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，
根据《上海证券交易所股票上市规则》的规定，芯晟至远为公司关联方，本次交
易构成关联交易。
截至本公告日，过去 12 个月公司与芯晟至远未发生其他关联交易
本次交易不构成《上市公司重大资产重组管理办法》规定的重大资产重
组。
本次交易的实施不存在重大法律障碍。
本次交易事项经公司董事会审议通过，尚需提交公司股东大会审议批准。
本次交易尚未签署协议，交易能否最终完成存在不确定性，请投资者注意投资风
险。
一、交易概述
至微科技是承载公司重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入
湿法设备研发和产业化的主体。至微科技成立以来，完成了系列化产品的研发、
制造和销售，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过
160 台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。至微科技的发展得到了用户的肯
定，也得到了产业投资者的重点关注。
为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业
资源整合能力，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入核心战略投资者。
本次交易前，至微科技注册资本为 45,500 万元，依据增资前至微科技 250,000
万元的估值，对应 5.4945 元/注册资本，本次深圳市远致星火私募股权投资基金
合伙企业（有限合伙）（以下简称“远致星火”）、国家集成电路产业投资基金二期
股份有限公司（以下简称“大基金二期”）、中国国有企业混合所有制改革基金有
限公司（以下简称“混改基金”）、中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业
（有限合伙）（以下简称“中芯聚源”）、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企
业（有限合伙）（以下简称“装备材料基金”）、中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合
伙企业（有限合伙）（以下简称“芯鑫鼎橡”）、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有
限合伙）、上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）合计向至微科技增资
42,000 万元，其中 7,644 万元计入注册资本，其余 34,356 万元计入资本公积。
本次增资的同时，公司将持有的至微科技对应本次增资 42,000 万元后的 7.95%
的股权以 23,200 万元转让给远致星火，其中 4,222.40 万元计入至微科技注册资
本，18,977.60 万元计入资本公积。在本次远致星火受让股权的过程中，所有其他
投资人均无条件放弃行使作为公司股东的优先购买权。
本次交易的增资方之一芯晟至远的执行事务合伙人为公司高管陆磊先生，根
据《上海证券交易所股票上市规则》的规定，芯晟至远为公司关联方，本次交易
构成关联交易。过去 12 个月公司与芯晟至远未发生其他关联交易。
本次增资及股权转让完成后，至微科技注册资本增加至 53,144 万元。至微科
技的股东信息情况如下：
序号 股东名称 认缴注册资本 持股比例
（万元）
1 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 40,977.60 77.11%
欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合
2 300.00 0.56%
伙）
深圳市远致星火私募股权投资基金合伙
3 5,314.40 10.00%
企业（有限合伙）
国家集成电路产业投资基金二期股份有
4 1,820.00 3.42%
限公司
中国国有企业混合所有制改革基金有限
5 1,820.00 3.42%
公司
中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙
6 910.00 1.71%
企业（有限合伙）
上海半导体装备材料产业投资基金合伙
7 546.00 1.03%
企业（有限合伙）
中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业
8 546.00 1.03%
（有限合伙）
平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限
9 546.00 1.03%
合伙）
上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限
10 364.00 0.68%
合伙）
合 计 53,144 100%
公司于 2021 年 10 月 18 日召开第四届董事会第九次会议全票表决通过了
《关于控股子公司增资扩股引入战略投资者暨关联交易的议案》，独立董事发表
了事前认可意见及同意本次交易的独立意见。本次交易尚需提交公司股东大会审
议批准，与该关联交易有利害关系的关联人将放弃在股东大会上对该议案的投票
权。
二、交易各方情况介绍
公司董事会已对交易各方的基本情况及其交易履约能力进行了必要的尽职
调查，认为其具备交易履约能力。
交易对方情况介绍如下：
1、 深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
公司名称 深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91440300MA5GX4PU68
企业类型 有限合伙企业
深圳市福田区福田街道福安社区深南大道 4009 号投资大
注册地址
厦 14C1
成立日期 2021-07-29
一般经营项目是：以私募基金从事股权投资、投资管
经营范围 理、资产管理等活动（须在中国证券投资基金业协会完
成登记备案后方可从事经营活动）。
远致星火于 2021 年 7 月 29 日成立，暂无财务数据。
2、 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司
公司名称 国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司
统一信用代码 91110000MA01N9JK2F
企业类型 其他股份有限公司（非上市）
法定代表人 楼宇光
注册资本 20415000 万元人民币
注册地址 北京市北京经济技术开发区景园北街 2 号 52 幢 7 层 701-6
成立日期 2019-10-22
项目投资、股权投资；投资管理、企业管理；投资咨询。
（“1、未经有关部门批准，不得以公开方式募集资金；2、
不得公开开展证券类产品和金融衍生品交易活动；3、不得
发放贷款；4、不得对所投资企业以外的其他企业提供担
经营范围
保；5、不得向投资者承诺投资本金不受损失或者承诺最低
收益”；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的
内容开展经营活动。）
股权结构：第一大股东为中华人民共和国财政部，持股比例为 11.0213%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产为 4,270,469 万元；负债总
额为 49,208 万元；净资产为 4,221,261 万元；净利润为 144,464 万元（上述数据
已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，大基金二期与公司不存在产权、业务、资
产、债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益
倾斜的其他关系。
3、 中国国有企业混合所有制改革基金有限公司
公司名称 中国国有企业混合所有制改革基金有限公司
统一信用代码 91310000MA1FL7MC49
企业类型 有限责任公司（港澳台投资、非独资）
法定代表人 李洪凤
注册资本 7070000 万元人民币
中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路 888 号
注册地址
821 室
成立日期 2020-12-24
一般项目：股权投资；资产管理；投资咨询；企业管理
咨询业务。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法
经营范围
自主开展经营活动）
股权结构：第一大股东为中国诚通控股集团有限公司，持股比例为 33.9463%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产 66 亿元，负债总额 0 元，
净资产 66 亿元，净利润 0 元（以上数据已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，混改基金与公司不存在产权、业务、资产、
债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益倾斜
的其他关系。
4、 中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙企业（有限合伙）
中小企业发展基金（绍兴）股权投资基金合伙企业（有限
公司名称
合伙）
统一信用代码 91330602MA2JR9H91D
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 中芯聚源股权投资管理(天津)合伙企业(有限合伙)
注册资本 88560 万元人民币
浙江省绍兴市越城区皋埠街道银桥路 326 号 1 幢 4 楼 406
注册地址
室
成立日期 2020-12-23
一般项目：股权投资；创业投资（限投资未上市企业）
经营范围 (除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经
营活动)。
合伙人情况：普通合伙人中芯聚源股权投资管理(天津)合伙企业(有限合伙)
认缴出资比例 4.0650%；有限合伙人中芯晶圆股权投资（宁波）有限公司认缴出
资比例 95.9350%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产为 72,000 万元；负债总额
为 0 万元；净资产为 72,000 万元；净利润为 0 万元（上述数据已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，中芯聚源与公司不存在产权、业务、资产、
债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益倾斜
的其他关系。
5、 上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）
公司名称 上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91310000MA1FL5289A
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 上海半导体装备材料产业投资管理有限公司
注册资本 505000 万元人民币
注册地址 上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路 888 号 C 楼
成立日期 2018-01-24
股权投资，实业投资，投资管理。【依法须经批准的项
经营范围 目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
合伙人情况：普通合伙人上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业（有限
合伙）认缴出资比例 0.9901%；有限合伙人国家集成电路产业投资基金股份有限
公司、云南国际信托有限公司、上海临港芯成投资合伙企业（有限合伙）、上海
国盛集团有限公司等其他 14 家企业认缴出资比例 99.0099%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产 3,874,905,647.56 元，负债
总额 102,500 元，净资产 3,874,803,147.56 元，净利润-51,591,671.33 元（以上数
据已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，装备材料基金与公司不存在产权、业务、
资产、债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利
益倾斜的其他关系。
6、 中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业（有限合伙）
公司名称 中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91310115MA1K4LA778
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 宁波梅山保税港区鑫芯股权投资合伙企业(有限合伙)
注册资本 55100 万元人民币
中国(上海)自由贸易试验区富特西三路 77 号 6 幢 2 层
注册地址
202 室
成立日期 2020-08-28
一般项目：企业管理咨询、商务信息咨询，会议及展览
服务，企业形象策划，公关活动策划，工艺品（象牙及
其制品除外）、计算机软件及辅助设备的销售，货物进出
经营范围
口；技术进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执
照依法自主开展经营活动）
合伙人情况：普通合伙人宁波梅山保税港区鑫芯股权投资合伙企业(有限合伙)
认缴出资比例 0.1815%；有限合伙人芯鑫融资租赁（北京）有限责任公司认缴出
资比例 54.4465%；有限合伙人中青芯鑫（苏州工业园区）资产管理有限责任公
司认缴出资比例 54.4465%；有限合伙人李天思、刘志忠、裴红伟各认缴出资比
例 9.0744%。
主要财务数据：截至 2020 年 12 月 31 日，总资产 27,859 万，负债总额 0 元，
净资产 27,859 万，净利润-201 万（以上数据已经审计）。
关联关系的说明：截至本公告日，芯鑫鼎橡与公司不存在产权、业务、资产、
债权债务、人员等方面的关系，亦不存在其他可能或已经造成公司对其利益倾斜
的其他关系。
7、 平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）
公司名称 平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91350128MA8TCY8315
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 成都迈普华森投资管理有限公司
注册资本 3550 万元人民币
平潭综合实验区金井片区遂意路平潭跨境电商园综合办
注册地址
公大楼 4 层 401 室 18 号
成立日期 2021-06-10
一般项目：以自有资金从事投资活动；社会经济咨询服
务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开
经营范围
展经营活动）
合伙人情况：普通合伙人成都迈普华森投资管理有限公司认缴出资比例
0.0282%；有限合伙人曾明柳认缴出资比例 42.2535%；有限合伙人成都迈普产业
集 团 有 限 公 司 认 缴 出 资 比 例 28.1690% ； 有 限 合 伙 人 金 翔 宇 认 缴 出 资 比 例
14.0845%；有限合伙人屏南博禾投资合伙企业（有限合伙）认缴出资比例 8.4507%；
有限合伙人上海溥博商务咨询合伙企业（有限合伙）认缴出资比例 7.0141%。
平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合伙）于 2021 年 6 月 10 日成立，暂
无财务数据。
关联关系的说明：截至本公告日，平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限合
伙）与公司不存在产权、业务、资产、债权债务、人员等方面的关系，亦不存在
其他可能或已经造成公司对其利益倾斜的其他关系。
8、 上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）
公司名称 上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）
统一信用代码 91310000MA1FL81C3U
企业类型 有限合伙企业
执行事务合伙人 陆磊
注册资本 2200 万元人民币
注册地址 上海市闵行区东川路 555 号己楼 2 层 1315 室
成立日期 2021-07-07
一般项目：企业管理；企业管理咨询；社会经济咨询服
务（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开
经营范围
展经营活动）。
合伙人情况：普通合伙人陆磊认缴出资比例 9.0909%；有限合伙人沈一林、
廖世保各认缴出资比例 45.4545%。
上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限合伙）于 2021 年 7 月 7 日成立，无
其他投资，暂无财务数据。
关联关系的说明：截至本公告日，芯晟至远的执行事务合伙人陆磊为公司高
级管理人员、有限合伙人之一沈一林为公司高级管理人员。
三、交易标的基本情况
1、交易标的基本情况
公司名称 至微半导体（上海）有限公司
统一信用代码 91310112MA1GBR541D
企业类型 有限责任公司（自然人投资或控股）
法定代表人 蒋渊
注册资本 45500 万元人民币
注册地址 上海市闵行区紫海路 170 号 1 幢 3 层 03 室
2017-10-26
成立日期
一般项目：从事半导体科技、工业自动化科技、电子科
技、网络科技、计算机科技、光电科技领域内的技术开
发、技术咨询、技术服务、技术转让，半导体设备、计
经营范围 算机软件及辅助设备的设计及销售，货物进出口，技术
进出口。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自
主开展经营活动）
2、权属状况说明
交易标的产权清晰，不存在抵押、质押及其他任何限制转让的情况，不涉及
诉讼、仲裁事项或查封、冻结等司法措施，不存在妨碍权属转移的其他情况。
至微科技下属全资及控股子公司有：合肥至微半导体有限公司、合肥至微微
电子有限公司、上海砺致科技有限公司、日本至纯株式会社、江苏启微半导体设
备有限公司、台湾至微半导体有限公司。
3、资产运营情况说明：至微科技于 2017 年 10 月 26 日成立，主营业务为半
导体湿法清洗设备的研发、生产与销售。
4、主要财务指标
单位：万元人民币
项目 2020 年 12 月 31 日 项目 2020 年度
资产总额 92,253.35 营业收入 20,321.91
资产净额 18,789.30 净利润 -1,355.34
负债总额 73,464.04 扣 除 非 经 常 性 损 -1,460.71
益后的净利润
上述数据已经审计。
5、股东情况
本次交易前：
序号 股东名称 认缴注册资本（万元） 持股比例
上海至纯洁净系统科技股份有
1 45,200 99.3407%
限公司
欣铠电子科技（上海）合伙企
2 300 0.6593%
业（有限合伙）
1. 合 计 45,500 100.00%
本次交易后：
序号 股东名称 认缴注册资本 持股比例
（万元）
1 上海至纯洁净系统科技股份有限公司 40,977.60 77.11%
欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合
2 300.00 0.56%
伙）
深圳市远致星火私募股权投资基金合伙
3 5,314.40 10.00%
企业（有限合伙）
国家集成电路产业投资基金二期股份有
4 1,820.00 3.42%
限公司
中国国有企业混合所有制改革基金有限
5 1,820.00 3.42%
公司
中小企业发展基金（绍兴）股权投资合伙
6 910.00 1.71%
企业（有限合伙）
上海半导体装备材料产业投资基金合伙
7 546.00 1.03%
企业（有限合伙）
中青芯鑫鼎橡（上海）企业管理合伙企业
8 546.00 1.03%
（有限合伙）
平潭溥博芯诚股权投资合伙企业（有限
9 546.00 1.03%
合伙）
上海芯晟至远企业管理合伙企业（有限
10 364.00 0.68%
合伙）
合 计 53,144 100%
本次交易原股东放弃优先受让权。
6、交易价格的确定原则、方法
根据银信资产评估有限公司出具的《资产评估报告》（银信评报字 〔2021〕
沪第 1969 号），以 2021 年 3 月 31 日为评估基准日，采用市场法、收益法对标
的资产进行评估。
截止评估基准日，在评估报告所列假设和限定条件下，经采用收益法评估，
被评估单位的股东全部权益价值评估值为 250,255.17 万元，较审计后被评估单
位合并口径下归属于母公司所有者权益 42,752.56 万元，增值 207,502.60 万元，
增值率 485.36%，较审计后被评估单位母公司单体所有者权益 43,213.91 万元，
增值 207,041.26 万元，增值率 479.11%。
根据上述评估结论，并经交易各方协商一致，按照本次增资前至微科技
250,000 万元的估值进行本次交易。
四、交易的目的以及对上市公司的影响
若本次交易顺利实施，公司引入战略投资者有助于双方形成以股权为纽带的
战略合作关系，公司将积极加强产业合作，进一步提升经营活力与效益，符合公
司长期发展战略，不存在损害公司及上市公司全体股东利益的情形。
芯晟至远参与本次对至微科技的增资，有利于激励公司管理层积极投入公司
业务发展，对至微科技的经营发展产生积极的推动作用。
五、交易履行的审议程序
该交易事项已经公司第四届第九次董事会全票表决通过，独立董事发表了事
前认可意见及同意本次交易的独立意见。公司董事会审计委员会审议并同意本次
关联交易事项。本次交易尚须获得股东大会的批准，与该关联交易有利害关系的
关联人将放弃行使在股东大会上对该议案的投票权。
特此公告。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司董事会
2021 年 10 月 19 日
