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声明............................................................................................................... 1
摘要 .............................................................................................................. 2
正文 .............................................................................................................. 6
一、委托人、被评估单位和其他资产评估报告使用人概况 .................... 6
二、评估目的 ............................................................................................ 13
三、评估对象和评估范围 ......................................................................... 13
四、价值类型 ............................................................................................ 16
五、评估基准日 ........................................................................................ 16
六、评估依据 ............................................................................................ 16
七、评估方法 ............................................................................................ 19
八、评估程序实施过程和情况 ................................................................. 23
九、评估假设 ............................................................................................ 25
十、评估结论 ............................................................................................ 28
十一、特别事项说明 ................................................................................ 29
十二、资产评估报告使用限制说明 ......................................................... 33
十三、资产评估报告日 ............................................................................. 35
十四、资产评估专业人员签名和资产评估机构印章 .............................. 35
附件 ............................................................................................................ 36
银信资产评估有限公司
地址：上海市九江路69号邮编：200002
电话：021-63391088传真：021-63391116
电子邮箱：valuer@yinxincpv.com
声明
一、本资产评估报告依据财政部发布的资产评估基本准则和中国资产评估协会发布
的资产评估执业准则和职业道德准则编制。
二、委托人、被评估单位或者其他资产评估报告使用人应当按照法律、行政法规规
定及本资产评估报告载明的使用范围使用资产评估报告；委托人、被评估单位或者其他
资产评估报告使用人违反前述规定使用资产评估报告的，本资产评估机构及资产评估师
不承担责任。
本资产评估报告仅供委托人、资产评估委托合同中约定的其他资产评估报告使用人
和法律、行政法规规定的资产评估报告使用人使用；除此之外，其他任何机构和个人不
能成为资产评估报告的使用人。
本资产评估机构及资产评估师提示资产评估报告使用人应当正确理解评估结论，评
估结论不等同于评估对象可实现价格，评估结论不应当被认为是对评估对象可实现价格
的保证。
三、本资产评估机构及资产评估师遵守法律、行政法规和资产评估准则，坚持独立、
客观和公正的原则，并对所出具的资产评估报告依法承担责任。
四、评估对象涉及的资产、负债清单及盈利预测数据由委托人、被评估单位申报并
经其采用签名、盖章或法律允许的其他方式确认；委托人、被评估单位和其他相关当事
人依法对其提供资料的真实性、完整性、合法性负责。
五、本资产评估机构及资产评估师与资产评估报告中的评估对象没有现存或者预期
的利益关系；与相关当事人没有现存或者预期的利益关系，对相关当事人不存在偏见。
六、资产评估师已经对资产评估报告中的评估对象及其所涉及资产进行现场调查；
已经对评估对象及其所涉及资产的法律权属状况给予必要的关注，对评估对象及其所涉
及资产的法律权属资料进行了查验，对已经发现的问题进行了如实披露，并且已提请委
托人及其他相关当事人完善产权以满足出具资产评估报告的要求。
七、本资产评估机构出具的资产评估报告中的分析、判断和结果受资产评估报告中
假设和限制条件的限制，资产评估报告使用人应当充分考虑资产评估报告中载明的假
设、限制条件、特别事项说明及其对评估结论的影响。
-1-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
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中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成
电路产业投资基金二期股份有限公司拟增资扩股所涉及的
至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值项目
资产评估报告
银信评报字（2021）沪第 1969 号
摘要
一、项目名称：中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投
资基金二期股份有限公司拟增资扩股所涉及的至微半导体（上海）有限公司股东全部权
益价值项目
二、委托人：诚通混改私募基金管理有限公司/中国国有企业混合所有制改革基金
有限公司、华芯投资管理有限责任公司/国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司、
三、被评估单位：至微半导体（上海）有限公司
四、其他资产评估报告使用人：
国家法律法规规定的其他评估报告使用者。
五、评估目的：增资扩股
六、经济行为：中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投
资基金二期股份有限公司拟对至微半导体（上海）有限公司增资扩股，需对至微半导体
（上海）有限公司股东全部权益价值进行评估，为其提供价值参考。
诚通混改股权投资基金管理有限公司关于开展至微半导体（上海）有限公司股权投
资的工作已经立项，立项文件为（立项）字【2021】A03 号
七、评估对象：至微半导体（上海）有限公司截至评估基准日 2021 年 3 月 31 日股
东全部权益价值
八、评估范围：至微半导体（上海）有限公司截至评估基准日 2021 年 3 月 31 日申
报的全部资产和负债
九、价值类型：市场价值
十、评估基准日：2021 年 3 月 31 日
-2-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
银信资产评估有限公司
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十一、评估方法：市场法、收益法
十二、评估结论：截止评估基准日，在本报告所列假设和限定条件下，经采用收益
法评估，被评估单位的股东全部权益价值评估值为 250,255.17 万元，较审计后被评估单
位合并口径下归属于母公司所有者权益 42,752.56 万元，增值 207,502.60 万元，增值率
485.36%，较审计后被评估单位母公司单体所有者权益 43,213.91 万元，增值 207,041.26
万元，增值率 479.11%。
十三、特别事项说明
（一）担保、租赁及其或有负债（或有资产）等事项的性质、金额及与评估对象的
关系；
金额单位:人民币元
放款银行（或机构）名称 借款方式 发生日期 到期日 年利率% 账面价值
中国银行合肥北城支行 信用担保 2020-08-28 2021-08-28 5.22% 40,000,000.00
中国银行合肥北城支行 信用担保 2020-10-29 2021-10-29 5.22% 40,000,000.00
中国工商银行股份有限公司合肥新站区支行 抵押/保证借款 2021-03-01 2026-12-20 4.90% 4,000,000.00
中国工商银行股份有限公司合肥新站区支行 抵押/保证借款 2021-03-02 2026-12-20 4.90% 47,351,000.00
芯鑫融资租赁有限责任公司 融资租赁 2021-03-31 2023-05-29 6.10% 151,036,386.90
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2019-06-06 2021-12-20 6.95% 2,000,000.00
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2019-06-06 2022-05-10 6.95% 23,500,000.00
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2020-06-28 2023-06-20 6.95% 66,500,000.00
合计 374,387,386.90
2020 年 08 月 27 日，合肥至微半导体有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司和
中国银行股份有限公司合肥分行签订了编号为“2020 年司委贷字 20W003 号”的对公委
托贷款合同，用于建设“晶圆再生基地项目”。受托人代理委托人向借款人发放贷款 4000
万元人民币，贷款期限在首个提款日起 12 个月，年利率为 5.22%。上海至纯洁净系统
科技股份有限公司为其提供担保，合肥至微半导体有限公司、上海至纯洁净系统科技股
份有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司签订了保证合同。
2020 年 10 月 29 日，合肥至微半导体有限公司（借款人）与合肥鑫诚国有资产经营
有限公司和中国银行股份有限公司合肥分行签订了编号为“2020 年司委贷字 20W004
号”的对公委托贷款合同，用于建设“晶圆再生基地项目”。受托人代理委托人向借款
人发放贷款 4000 万元人民币，贷款期限在首个提款日起 12 个月，年利率为 5.22%。上
海至纯洁净系统科技股份有限公司为其提供担保，合肥至微半导体有限公司、上海至纯
洁净系统科技股份有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司签订了保证合同。
2020 年 12 月 21 日，合肥至微半导体有限公司与中国工商银行股份有限公司合肥新
-3-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
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站区支行签订了编号为“0130200457-2020 年（站支）字 00600 号”的《固定资产借款
合同》，合同项下金额为人民币 8000 万元的贷款承诺额，贷款期限在首个提款日起 72
个月，年利率为 4.90%，同时签订合同编号为“0130200457-2020 年站支(抵)字 0059 号”
的《抵押合同》，抵押物为位于新站区梅冲湖路与大禹路交口西北角的一块土地，权证
编号为皖（2020）合肥市不动产权第 1109554 号，土地状况正常，价值为 1,530.00 万元。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司为其行为提供担保，并与中国工商银行股份有限公
司合肥新站区支行签订了编号为“0130200457-2020 年站支（保）字 0070 号”保证合同。
2019 年 06 月 06 日，江苏启微半导体设备有限公司（借款人）和江苏启东农村商业
银行股份有限公司科技支行（贷款人）签订了编号为“启农商行科技借字（2019）第 0606
号”的借款合同，用于支付工程款。贷款人向借款人发放固定资产贷款 2600 万元人民
币，贷款期限在实际提款日起 36 个月，年利率为 6.95%。由蒋渊、陈盛云提供连带责
任保证担保，保证合同编号为“启动商行科技保字（2019）第 0606 号”。
2020 年 06 月 28 日，江苏启微半导体设备有限公司（借款人）和江苏启东农村商业
银行股份有限公司科技支行（贷款人）签订了编号为“启农商行科技借字（2019）第 0107
号”的借款合同，用于在建工程款和其他固定资产设备款，借款金额为人民币 6750 万
元，贷款期限在实际提款日起 36 个月，年利率为 6.95%，,同时签订合同编号为“启农
商行科技抵字（2019）第 0107 号”的《抵押合同》，抵押物为位于启东市汇龙镇牡丹
江路的房地产，土地面积为 66629 平方米，房屋建筑面积为 55593.55 平方米，不动产权
证编号为苏 2020 启东市不动产权第 0015012 号，用途为工业用途，价值为 10,223.00 万
元。由蒋渊、陈盛云提供连带责任保证担保，保证合同编号为“启动商行科技保字（2019）
第 0107 号”
2020 年 6 月 合 肥 至 微 半 导 体 有 限 公 司 与 芯 鑫 融 资 租 赁 有 限 责 任 公 司 签 订
“SINOICL2020D08Y007-L-01”号融资租赁合同、2020 年 10 月合肥至微半导体有限公
司与芯鑫融资租赁有限责任公司签订“SINOICL2020D08Y019-L-01”号融资租赁合同、
2020 年 9 月 合 肥 至 微 半 导 体 有 限 公 司 与 芯 鑫 融 资 租 赁 有 限 责 任 公 司 签 订
“SINOICL2020D08Y016-L-01”号融资租赁合同主要用于采购晶圆再生及部件清洗生产
线上的设备。
本次评估未考虑上述抵押、担保对评估结论的影响，提请报告使用者引起关注。
（二）本次评估范围内包含 27 项专利，其中有 20 项处于正在申请中尚未授权，本
次评估是基于可以取得授权的前提下进行的，若最终无法取得授权，则会影响评估结论。
-4-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
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其他特别事项详见评估报告正文“十一、特别事项说明”。
十四、评估结论使用有效期：
本评估结论仅对中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投
资基金二期股份有限公司拟对至微半导体（上海）有限公司增资扩股之经济行为有效，
并仅在评估报告载明的评估基准日成立。资产评估结论使用有效期自评估基准日起一年
内（即 2021 年 3 月 31 日至 2022 年 3 月 30 日）有效。当评估基准日后的委估资产状况
和外部市场出现重大变化，致使原评估结论失效时，评估报告使用者应重新委托评估。
以上内容摘自资产评估报告正文，欲了解本评估业务的详细情况和正确理解评估结
论，应当阅读资产评估报告正文，同时提请评估报告使用者关注评估报告中的评估假设、
限制使用条件以及特别事项说明。
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中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、
国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司拟增资扩股
所涉及的至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值项目
资产评估报告
银信评报字（2021）沪第 1969 号
正文
诚通混改私募基金管理有限公司/中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、华芯投
资管理有限责任公司/国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司：
银信资产评估有限公司接受贵单位委托，按照法律、行政法规和资产评估准则的规
定，坚持独立、客观和公正的原则，采用收益法、市场法，按照必要的评估程序，对中
国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投资基金二期股份有限公
司拟对至微半导体（上海）有限公司增资扩股所涉及的至微半导体（上海）有限公司股
东全部权益在 2021 年 3 月 31 日的市场价值进行了评估。现将资产评估情况报告如下：
一、委托人、被评估单位和其他资产评估报告使用人概况
（一）委托人概况
1、委托人一概况
名称：诚通混改私募基金管理有限公司
注册号/ 诚通混改私募基金管
91310000MA1H3B1A9K 名称
统一社会信用代码 理有限公司
有限责任公司（非自然人投资
类型 法定代表人 李友生
或控股的法人独资）
注册资本 20000.0000 万元 成立日期 2020 年 10 月 27 日
住所 中国(上海)自由贸易试验区临港新片区业盛路 188 号国贸大厦 A-1058 室
营业期限自 2020 年 10 月 27 日 营业期限至 不约定期限
一般项目：私募股权投资基金管理、创业投资基金管理服务（须在中国证券
经营范围 投资基金业协会完成备案登记后方可从事经营活动）。（除依法须经批准的
项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
名称：中国国有企业混合所有制改革基金有限公司
-6-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
银信资产评估有限公司
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注册号/ 中国国有企业混合所有
91310000MA1FL7MC49 名称
统一社会信用代码 制改革基金有限公司
有限责任公司（港澳台投资、
类型 法定代表人 李洪凤
非独资）
注册资本 7070000 万元 成立日期 2020-12-24
住所 中国(上海)自由贸易试验区临港新片区环湖西二路 888 号 821 室
营业期限自 2020-12-24 营业期限至 2030-12-23
一般项目：股权投资；资产管理；投资咨询；企业管理咨询业务。（除依法
经营范围
须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、委托人二概况
名称：华芯投资管理有限责任公司
注册号/ 华芯投资管理有限责任
911103023067744718 名称
统一社会信用代码 公司
类型 其他有限责任公司 法定代表人 冯驭
注册资本 26423.0769 万元人民币 成立日期 2014 年 08 月 27 日
住所 北京市北京经济技术开发区景园北街 2 号 52 幢 7 层 707
营业期限自 2014-08-27 营业期限至 2034-08-26
投资；投资管理及投资咨询服务；财务顾问服务（不得开展审计、验资、查
帐、评估、会计咨询、代理记账等需经专项审批的业务，不得出具相应的审
计报告、验资报告、查帐报告、评估报告等文字材料）；投资与股权投资相
关的基金或企业及投资管理顾问机构；受托管理私募股权投资基金或企业。
（“1、未经有关部门批准，不得以公开方式募集资金；2、不得公开开展证
经营范围
券类产品和金融衍生品交易活动；3、不得发放贷款；4、不得对所投资企业
以外的其他企业提供担保；5、不得向投资者承诺投资本金不受损失或者承
诺最低收益”；企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准
的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业
政策禁止和限制类项目的经营活动。）
名称：国家集成电路产业投资基金二期股份有限公司
注册号/ 国家集成电路产业投资
91110000MA01N9JK2F 名称
统一社会信用代码 基金二期股份有限公司
类型 其他股份有限公司（非上市） 法定代表人 楼宇光
注册资本 20415000 万元 成立日期 2019-10-22
住所 北京市北京经济技术开发区景园北街 2 号 52 幢 7 层 701-6
营业期限自 2019-10-22 营业期限至 2029-10-21
项目投资、股权投资；投资管理、企业管理；投资咨询。（“1、未经有关
部门批准，不得以公开方式募集资金；2、不得公开开展证券类产品和金融
经营范围
衍生品交易活动；3、不得发放贷款；4、不得对所投资企业以外的其他企业
提供担保；5、不得向投资者承诺投资本金不受损失或者承诺最低收益”；
-7-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
银信资产评估有限公司
地址：上海市九江路69号邮编：200002
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依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动。
（二）被评估单位概况：
1、概况
名称：至微半导体（上海）有限公司
注册号/ 至微半导体（上海）有限
91310112MA1GBR541D 名称
统一社会信用代码 公司
有限责任公司（自然人投资或
类型 法定代表人 蒋渊
控股）
注册资本 45500 万元人民币 成立日期 2017 年 10 月 26 日
住所 上海市闵行区紫海路 170 号 1 幢 3 层 03 室
营业期限自 2017 年 10 月 26 日 营业期限至 不约定期限
一般项目：从事半导体科技、工业自动化科技、电子科技、网络科技、计算
机科技、光电科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，半
经营范围
导体设备、计算机软件及辅助设备的设计及销售，货物进出口，技术进出口。
（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
2、被评估单位历史沿革及股权结构
2017 年 10 月 26 日，至微半导体（上海）有限公司是由上海至纯洁净系统科技股份
有限公司全部以货币出资建立，注册资本为 3000 万元人民币。其股权结构如下：
金额单位：人民币万元
投资方名称 认缴出资额 持股比例（%）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司 3000 100
合计 3000 100
2018 年 4 月 3 日，根据至微半导体（上海）有限公司临时股东会议，上海至纯洁净
系统科技股份有限公司与北京天文集电科技有限公司签订了关于至微半导体（上海）有
限公司股权转让协议，协议规定上海至纯洁净系统科技股份有限公司将其持有至微半导
体（上海）有限公司 10%的股权转让给北京天文集电科技有限公司。
上述变动后，至微半导体（上海）有限公司的股东及股权结构如下：
金额单位：人民币万元
投资方名称 认缴出资额 持股比例（%）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2700 90
北京天文集电科技有限公司 300 10
合计 3000 100
2018 年 11 月 26 日，至微半导体（上海）有限公司召开股东会议，会议同意北京天
-8-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
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文集电科技有限公司将所持至微半导体（上海）有限公司 10%的股权作价 300 万元转让
给欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合伙）。
上述变动后，至微半导体（上海）有限公司的股东及股权结构如下：
金额单位：人民币万元
投资方名称 认缴出资额 持股比例（%）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司 2700 90
欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合伙） 300 10
合计 3000 100
2020 年 7 月 13 日，至微半导体（上海）有限公司召开股东会会议，会议决定至微
半导体（上海）有限公司注册资本由 3000 万元增至 20000 万元，全部由上海至纯洁净
系统科技股份有限公司增资，增资额为 17000 万元，出资方式为货币。
上述变动后，至微半导体（上海）有限公司的股东及股权结构如下：
金额单位：人民币万元
投资方名称 认缴出资额 持股比例（%）
上海至纯洁净系统科技股份有限公司 19700 98.5
欣铠电子科技（上海）合伙企业（有限合伙） 300 1.5
合计 20000 100
2021 年 1 月 15 日，至微半导体（上海）有限公司召开股东会会议，会议决议为同
意至微半导体（上海）有限公司注册资本由 20000 万元增至 45500 万元，全部由上海至
纯洁净系统科技股份有限公司增资，增资额为 25500 万元，出资方式为货币。上述变动
后，至微半导体（上海）有限公司的股东及股权结构如下：
金额单位：人民币万元
认缴持股比例 实缴持股比例
投资方名称 认缴出资额 实缴出资额
（%） （%）
上海至纯洁净系统科技股份有限公
45200 99.34 45200 99.34
司
欣铠电子科技（上海）合伙企业（有
300 0.66 300 0.66
限合伙）
合计 45500 100 45500 100
截止评估基准日被评估单位股权结构未发生变化。
3、被评估单位经营状况
至微半导体（上海）有限公司（以下简称至微公司）成立于2017年10月，主要为湿
法业务的运营平台，至微公司所有湿法清洗设备均为自主研发并申请了相关专利，同时
-9-至微半导体（上海）有限公司股东全部权益价值评估报告
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公司积极打造自主设备品牌“ULTRON”。至微公司已经达到28nm设备量产，14nm及
14nm以下规格包括前、后道各工艺的技术储备；化合物半导体制造以及其他泛半导体制
造环节所需的清洗设备制造能力。其中应用于清洗、去胶以及部分化合物半导体制造的
高端单片设备已于2020年完成客户认证。
至微公司目前的主要客户为中芯国际、合肥长鑫、上海集成电路创新中心和无锡华
润等，在高阶湿法清洗设备领域与国际一线厂商开展竞争。其全资子公司江苏启微半导
体设备有限公司于2017年3月成立，位于江苏启东，占地100亩，目前已建成6.6万平米制
造基地，主要负责湿法设备研发和制造。
全资子公司合肥至微半导体有限公司于2018年11月成立，主要从事12寸晶圆再生业
务。晶圆再生业务在国家一流高新技术产业开发区-安徽合肥新站高新技术产业开发区
落地，与零部件清洗工厂合计总占地超过130亩。一期产能规划为7万片/月，目前已建设
竣工。此项目为国内首家专业从事12寸半导体晶圆再生的业务。
全资子公司合肥至微微电子有限公司于2018年11月成立，负责零部件清洗业务。零
部件清洗项目一期产能规划为10万件/月，目前已建设竣工，研发团队技术可支持12寸晶
圆的部件清洗与表面处理的订单，线宽等级已达10纳米以上，7纳米产品也已处于认证
测试过程中，技术方面可完全达到目前市场上主流供应商的技术能力，同时结合地理位
置优势，使得公司可以提供良好的备件清洗品质、快速有效的服务反应以及更具竞争力
的价格优势。
由至微半导体（上海）有限公司控股的日本至纯株式会社成立于2019年6月，主要
负责高阶槽式湿法设备设计，2020年10月成立至微全资子公司台湾至微半导体有限公
司，主要负责设备设计、市场营销与供应链管理。
4、被评估单位历史财务资料
母公司资产负债状况见下表：
金额单位：人民币万元
项目 2020/12/31 2021/3/31
流动资产 19,121.55 23,608.54
非流动资产 24,938.68 58,547.18
资产总额 44,060.24 82,155.72
负债总额 25,489.48 38,941.81
所有权者权益 18,570.76 43,213.90
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银信资产评估有限公司
地址：上海市九江路69号邮编：200002
电话：021-63391088传真：021-63391116
电子邮箱：valuer@yinxincpv.com
母公司经营状况见下表：
金额单位：人民币万元
项目 2020 年度 2021 年 1-3 月
一、营业收入 8,497.27 2,372.89
减：营业成本 7,572.46 2,238.40
税金及附加 1.12 0.93
销售费用 251.68 341.86
管理费用 1,463.53 351.93
研发费用 598.45 538.26
财务费用（收益以“－”号填列） -110.45 -103.48
资产减值损失 1.16 -
信用减值损失 167.07 3.77
加：公允价值变动净收益（净损失以“－”号填列） - -
投资净收益（净损失以“－”号填列） - -
其他收益 - -
二、营业利润（亏损以“－”号填列） -1,447.76 -998.80
加：营业外收入 - -
减：营业外支出 - -
三、利润总额（亏损总额以“－”号填列） -1,447.76 -998.80
减：所得税费用 -65.78 -0.94
四、净利润（净亏损以“－”号填列） -1,381.98 -997.85
合并资产负债状况见下表：
金额单位：人民币万元
项目 2020/12/31 2021/3/31
流动资产 36,271.40 74,234.65
非流动资产 55,981.95 61,790.38
资产总额 92,253.35 136,025.02
负债总额 73,464.04 93,159.93
所有权者权益 18,789.30 42,865.09
合并经营状况见下表：
金额单位：人民币万元
项目 2020 年度 2021 年 1-3 月
一、营业收入 20,321.91 2,616.77
减：营业成本 15,527.30 2,128.61
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项目 2020 年度 2021 年 1-3 月
税金及附加 255.15 50.78
销售费用 369.14 414.20
管理费用 3,752.55 996.51
研发费用 855.48 598.24
财务费用（收益以“－”号填列） 810.59 -94.43
资产减值损失 1.16 -
信用减值损失 167.31 4.64
加：公允价值变动净收益（净损失以“－”号填列） - -
投资净收益（净损失以“－”号填列） - -
其他收益 - 13.14
二、营业利润（亏损以“－”号填列） -1,416.77 -1,468.63
加：营业外收入 165.19 0.10
减：营业外支出 18.52 -
三、利润总额（亏损总额以“－”号填列） -1,270.10 -1,468.53
减：所得税费用 85.24 33.83
四、净利润（净亏损以“－”号填列） -1,355.34 -1,502.36
2020 年以及基准日财务数据经众华会计师事务所(特殊普通合伙)审计并出具的标准
无保留意见审计报告（报告号为：众会字(2021)第 05984 号）。
5、会计制度和税收政策
（1）会计制度
至微半导体（上海）有限公司会计核算以持续经营为基础，根据实际发生的交易和
事项，按照财政部颁布的《企业会计准则—基本准则》和具体会计准则及其应用指南、
解释及其他有关规定（统称“企业会计准则”）编制。
（2）税收政策
适用的税种及税率情况如下：
序号 主体公司 层级 城市维护建设税 教育费附加 地方教育费附加 所得税率
1 至微半导体（上海）有限公司 母公司 7% 3% 2% 25%
2 合肥至微半导体有限公司 二级子公司 7% 3% 2% 25%
3 合肥至微微电子有限公司 二级子公司 7% 3% 2% 25%
4 江苏启微半导体设备有限公司 二级子公司 7% 3% 2% 25%
5 至纯株式会社（日本） 二级子公司 7% 3% 2% 23.20%
6 台湾至微半导体有限公司 二级子公司 7% 3% 2% 20%
根据财政部、税务总局及海关总署颁布的《关于深化增值税改革有关政策的公告》
(财政部税务总局海关总署公告[2019]39 号)的相关规定，自 2019 年 4 月 1 日起，销售商
品业务收入适用的增值税税率为 13%。咨询服务业务适用的增值税税率为 6%。
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（三）其他评估报告使用者
国家法律法规规定的其他评估报告使用者。
（四）委托人和被评估单位之间的关系
委托人与被评估单位无关联关系。
二、评估目的
中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投资基金二期股份
有限公司拟对至微半导体（上海）有限公司增资扩股，需对至微半导体（上海）有限公
司股东全部权益价值进行评估，为其提供价值参考。
诚通混改股权投资基金管理有限公司关于开展至微半导体（上海）有限公司股权投
资的工作已经立项，立项文件为（立项）字【2021】A03 号。
三、评估对象和评估范围
本次资产评估对象是至微半导体（上海）有限公司截至评估基准日 2021 年 3 月 31
日股东全部权益价值。
评估范围是至微半导体（上海）有限公司截至评估基准日 2021 年 3 月 31 日申报的
全部资产和负债。
截止评估基准日母公司账面具体情况为：
金额单位：人民币元
科目名称 账面价值
一、流动资产合计 236,085,386.15
货币资金 23,070,617.60
应收账款 21,207,671.95
预付款项 71,880,665.47
其他应收款 99,876,268.50
存货 4,886,582.93
其他流动资产 15,163,579.70
二、非流动资产合计 585,471,787.14
长期股权投资 584,355,263.63
固定资产 145,134.24
无形资产 265,901.69
递延所得税资产 437,135.58
其他非流动资产 268,352.00
三、资产总计 821,557,173.29
四、流动负债合计 389,418,128.13
应付账款 80,869,954.27
合同负债 2,448,672.57
应付职工薪酬 818,501.22
应交税费 35,765.10
其他应付款 293,848,011.73
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科目名称 账面价值
其他流动负债 11,397,223.24
五、非流动负债合计 -
六、负债总计 389,418,128.13
七、净资产（所有者权益） 432,139,045.16
上述资产、负债摘自众华会计师事务所(特殊普通合伙)审计并出具的标准无保留意
见审计报告（报告号为：众会字(2021)第 05984 号）。
（一） 被评估单位主要资产的账面记录情况如下：
（1）母公司账面记录的长期股权投资资产情况如下：
金额单位：人民币元
序号 被投资单位名称 投资日期 持股比例（%） 投资成本 账面价值
1 江苏启微半导体设备有限公司 2018-11-01 100.00% 346,414,582.23 346,414,582.23
2 合肥至微半导体有限公司 2018-11-01 100.00% 200,000,000.00 200,000,000.00
3 合肥至微微电子有限公司 2018-11-01 100.00% 30,000,000.00 30,000,000.00
4 台湾至微半导体有限公司 2020-10-01 100.00% 7,085,044.18 7,085,044.18
5 至纯株式会社 2019-06-01 90.00% 855,637.22 855,637.22
合计 584,355,263.63 584,355,263.63
（2）账面记录的存货情况如下：
评估范围内的存货为原材料和产成品（库存商品），账面价值为 4,886,582.93 元，
原材料主要为外购的夹钳式流量传感器、电磁阀、压力传送器及化学机械研磨机等配套
设备，库存商品主要为晶圆缺陷自动检测设备、清洗机和检测仪等等设备，经现场盘点
存货账实相符。
（3）账面记录的固定资产情况如下：
金额单位：人民币元
科目名称 账面原值 账面净值 数量（项） 分布地点 现状、特点
固定资产-电子设备 157,941.20 145,134.24 25 办公室 正常使用
（4）账面记录的无形资产为外购的鼎捷软件具体情况如下：
金额单位：人民币元
科目名称 无形资产名称 账面价值
无形资产-其他无形资产 鼎捷软件使用权 265,901.69
（二）被评估单位已费用化的无形资产情况如下：
纳入本次评估范围的已费用化的无形资产共27项，包括18项发明专利、9项实用新
型。具体情况如下表：
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序
申请日 专利名称 专利类型 法律状态 申请号
号
ZL 2018 2
1 2018/10/26 一种气相沉积设备用石英钟罩管清洗装置 实用新型 授权
1745852.3
ZL 2018 2
2 2018/10/26 一种气相沉积设备用石英钟罩清洗装置 实用新型 授权
1745834.5
一种实现可计量晶圆片数的晶圆载体联动传输 ZL 2019 2
3 2019/11/8 实用新型 授权
装置 1939816.5
ZL 2019 2
4 2019/11/15 一种用于湿法工艺的晶圆清洗槽 实用新型 授权
1982298.5
5 2019/11/12 一种半导体湿法设备及其隔离推门装置 实用新型 授权 2019219453904
6 2019/11/8 一种晶圆托篮托架 实用新型 授权 2019219220868
7 2019/11/18 一种避免晶圆前后偏移的导片夹持装置 实用新型 授权 2019220209145
审中-实质审
8 2019/11/8 一种双转动组合式曲柄 发明专利 2019110882491
查
一种芯片产品提篮后道高速传输且偏移自动复 审中-实质审
9 2019/11/12 发明专利 2019111016256
位的装置 查
一种晶圆导片机构及应用该晶圆导片机构的湿 审中-实质审
10 2019/11/8 发明专利 2019110882684
法设备 查
审中-公开发
11 2019/11/12 一种晶圆花篮更迭装置 发明专利 201911102815X
明
拿到受理通
12 2019/11/18 一种晶圆片传输及自动换篮设备 发明专利 2019111271762
知书
拿到受理通
13 2019/11/18 一种湿法工艺设备的晶圆顶片导片装置 发明专利 2019111279726
知书
审中-公开发
14 2019/11/20 具有限位功能的活动式多轴向连杆装置 发明专利 2019111429174
明
一种半导体湿法工艺中晶圆清洗液循环利用系 拿到受理通
15 2020/12/31 发明专利 202011631638.7
统及方法 知书
拿到受理通
16 2020/12/31 一种纳米晶圆产品氮气保护湿法清洗装置 实用新型 202023319502.0
知书
拿到受理通
17 2020/12/31 一种纳米晶圆产品氮气保护清洗方法 发明专利 202011635035.4
知书
拿到受理通
18 2020/12/31 一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载系统 实用新型 202023321081.5
知书
拿到受理通
19 2020/12/31 一种晶圆清洗设备晶圆片高速装载方法 发明专利 202011636157.5
知书
拿到受理通
20 2020/12/31 一种湿法清洗设备高效率晶圆盒输送装置 发明专利 202011632286.7
知书
拿到受理通
21 2020/12/31 一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒装载输送系统 发明专利 202011636179.1
知书
拿到受理通
22 2020/12/31 一种晶圆清洗设备推拉式晶圆盒输送方法 发明专利 202011636160.7
知书
拿到受理通
23 2020/12/31 一种晶圆片高速装卸输送系统 发明专利 202011632276.3
知书
拿到受理通
24 2020/12/31 一种晶圆片高速装载输送方法及卸载输送方法 发明专利 202011636187.6
知书
拿到受理通
25 2020/12/31 一种单片式湿法清洗设备 发明专利 202011631608.6
知书
拿到受理通
26 2020/12/31 一种晶圆清洗方法 发明专利 202011632162.9
知书
拿到受理通
27 2020/12/31 一种可将供酸效率化的单晶圆清洗设备 发明专利 202011635933.X
知书
上述无形资产主要应用于湿法清洗设备生产、研发等业务，为被评估单位自行使用，
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未经他人使用，截止评估基准日委估无形资产均实施产业化。
被评估单位目前主要办公场所地址位于上海市闵行区紫海路 170 号 1 幢 3 层 03 室，
办公场所为租赁所得，出租方为上海至纯洁净系统科技股份有限公司，不在本次评估范
围内。
除上述情况外，纳入评估范围资产均处于正常使用状态或受控状态。被评估单位未
申报评估人员亦未发现其他表外有形及无形资产，也不存在其他抵押、担保、诉讼情况。
上述列入评估范围的资产和负债与委托评估时确定的范围一致。
四、价值类型
依据本次评估目的，确定本次评估的价值类型为市场价值。
市场价值是指自愿买方和自愿卖方在各自理性行事且未受任何强迫的情况下，评估
对象在评估基准日进行正常公平交易的价值估计数额。
资产评估业务对市场条件和评估对象的使用等并无特别限制和要求，特别是不考虑
对特定市场参与者自身因素和偏好，评估目的是为正常的交易提供价值参考依据，故选
择市场价值作为价值类型。
五、评估基准日
根据资产评估委托合同的约定，本次评估的评估基准日为 2021 年 3 月 31 日。
选取上述日期为评估基准日的理由是：
（一）根据评估目的与委托人协商确定评估基准日。主要考虑使评估基准日尽可能
与评估目的实现日接近，使评估结论较合理地为评估目的服务。
（二）选择月末会计结算日作为评估基准日，能够较全面地反映被评估资产及负债
的总体情况，便于资产清查核实等工作的开展。
本次评估中所采用的取价标准是评估基准日有效的价格标准。
六、评估依据
（一）经济行为文件
诚通混改股权投资基金管理有限公司投委会纪要（立项）字【2021】A03 号。
（二）法律、法规依据
1、《中华人民共和国资产评估法》（2016 年 7 月 2 日第十二届全国人民代表大会
常务委员会第二十一次会议通过）；
2、《中华人民共和国公司法》（2018 年 10 月 26 日第十三届全国人民代表大会常
务委员会第六次会议第四次修正）；
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3、《国有资产评估管理办法》(国务院令第 91 号)；
4、《关于印发<国有资产评估管理办法施行细则>的通知》(国资办发[1992]36 号)；
5、国务院国有资产监督管理委员会国资委产权[2006]274 号《关于加强企业国有资
产评估管理工作有关问题的通知》；
6、《关于企业国有资产评估报告审核工作有关事项的通知》(国资产权[2009]941
号)；
7、《企业国有资产评估项目备案工作指引》(国资发产权[2013] 64 号)；
8、《企业国有资产交易监督管理办法》(国务院国资委 财政部令第 32 号)；
9、《企业国有资产评估管理暂行办法》(国务院国资委令第 12 号)；
10、《中华人民共和国企业国有资产法》(2008 年中华人民共和国主席令第 5 号)；
11、《中华人民共和国专利法》(2008 年修正)；
12、《中华人民共和国民法典》（2020 年 5 月 28 日，十三届全国人大三次会议表
决通过）；
13、《中华人民共和国土地管理法》(2019 年 8 月 26 日第十三届全国人民代表大会
常务委员会第十二次会议通过)；
14、《中华人民共和国城市房地产管理法》(2019 年 8 月 26 日第十三届全国人民代
表大会常务委员会第十二次会议通过)；
15、《中华人民共和国企业所得税法实施条例》(2019 年 4 月 23 日中华人民共和国
国务院令第 714 号修订)；
16、《企业会计准则》(财政部令第 33 号)、《财政部关于修改的决定》（财政部令
第 76 号）；
17、《中华人民共和国增值税暂行条例》（财政部、国家税务总局令第 65 号）；
18、《关于全面推开营业税改征增值税试点的通知》(财政部、国家税务总局财税
〔2016〕36 号)；
19、《国家税务总局关于深化增值税改革有关事项的公告》国家税务总局公告 2019
年 14 号）；
20、《关于调整增值税税率的通知》财税 2018 年 32 号；
21、《关于深化增值税改革有关政策的公告》（财政部税务总局海关总署公告 2019
年第 39 号）；
22、《财政部税务总局科技部关于提高研究开发费用税前加计扣除比例的通知》财
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税〔2018〕99 号）；
23、《财政部税务总局关于延长部分税收优惠政策执行期限的公告》（2021 年第 6
号）；
24、《资产评估行业财政监督管理办法》（中华人民共和国财政部令第 86 号）；
25、《企业会计准则第 2 号—长期股权投资》（财会〔2014〕14 号）；
26、《监管规则适用指引——评估类第 1 号》；
27、其他有关的法律、法规和规章制度。
（三）评估准则依据
1、《资产评估基本准则》（财资[2017]43 号）；
2、《资产评估职业道德准则》（中评协[2017]30 号）；
3、《企业国有资产评估报告指南》(中评协[2017]42 号)；
4、《资产评估执业准则——资产评估程序》（中评协〔2018〕36 号）；
5、《资产评估执业准则——资产评估报告》（中评协〔2018〕35 号）；
6、《资产评估执业准则——资产评估方法》（中评协〔2019〕35 号）
7、《资产评估执业准则——资产评估委托合同》(中评协〔2017〕33 号)；
8、《资产评估执业准则——资产评估档案》（中评协〔2018〕37 号）；
9、《资产评估执业准则——企业价值》（中评协[2018]38 号）；
10、《资产评估执业准则—利用专家工作及相关报告》(中评协[2017]35 号)；
11、《资产评估执业准则——无形资产》中评协〔2017〕37 号（2017 年 10 月 1 日）；
12、《专利资产评估指导意见》（中评协[2017]49 号）；
13、《资产评估执业准则——机器设备》（中评协[2017]39 号）；
14、《资产评估机构业务质量控制指南》（中评协[2017]46 号）；
15、《资产评估价值类型指导意见》（中评协[2017]47 号）；
16、《资产评估对象法律权属指导意见》(中评协[2017]48 号)；
17、《资产评估专家指引第 8 号——资产评估中的核查验证》（中评协〔2019〕39
号）；
18、《资产评估专家指引第 12 号——收益法评估企业价值中折现率的测算》（中
评协〔2020〕38 号）；
19、《知识产权资产评估指南》中评协〔2017〕46 号（2017 年 9 月 13 日修订）。
（三）产权依据
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1、被评估单位及其子公司营业执照；
2、不动产权证；
3、设备购置发票及购置合同；
4、专利证书复印件；
5、其他有关产权证明。
（四）取价依据
1、《资产评估常用数据手册》北京科学技术出版社；
2、基准日审计报告；
3、企业提供的以前年度的财务报表；
4、被评估单位提供的《盈利预测申报明细表》；
5、经实地盘点核实后填写的委估资产清单；
6、评估基准日市场其他有关价格信息资料；
7、与被评估单位资产的取得、使用等有关的各项合同、会计凭证、账册及其他会
计资料；
8、评估基准日银行贷款基准利率；
9、被评估单位提供的各类资产和负债评估明细表；
10、评估人员收集的各类与评估相关的佐证资料；
11、同花顺金融软件终端。
七、评估方法
进行股东全部权益价值评估，要根据评估目的、评估对象、价值类型、评估时的市
场状况及在评估过程中资料收集情况等相关条件，分析资产评估基本方法的适用性，恰
当选择一种或多种资产评估基本方法。
资产评估基本方法包括资产基础法、收益法和市场法。
资产基础法：是指以被评估单位评估基准日的资产负债表为基础，合理评估企业表
内及可识别的表外各项资产、负债价值，确定评估对象价值的评估方法。
收益法：是指将预期收益资本化或者折现，确定评估对象价值的评估方法。收益法
常用的具体方法包括股利折现法和现金流量折现法。股利折现法是将预期股利进行折现
以确定评估对象价值的具体方法，通常适用于缺乏控制权的股东部分权益价值的评估。
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现金流量折现法是对企业未来的现金流量及其风险进行预期，然后选择合理的折现率，
将未来的现金流量折合成现值以确定评估对象价值的具体方法，通常适用于股东全部权
益价值或具有控制权的股东部分权益价值的评估。
市场法，是指将评估对象与可比上市公司或者可比交易案例进行比较，确定评估对
象价值的评估方法。市场法常用的两种具体方法是上市公司比较法和交易案例比较法。
上市公司比较法是指获取并分析可比上市公司的经营和财务数据，计算适当的价值比
率，在与标的公司比较分析的基础上，确定评估对象价值的方法。交易案例比较法是指
获取并分析可比企业的买卖、收购及合并案例资料，计算适当的价值比率，在与标的公
司比较分析的基础上，确定评估对象价值的方法。
（一）评估方法的选择
市场法是指通过与市场参照物比较获得评估对象的价值，常用的是上市公司比较法
和交易案例比较法。本次评估中，由于受信息收集的限制而不能找到适当数量的可比交
易案例，且不能充分量化评估对象与交易案例的差异对评估价值的影响，因此交易案例
比较法并不适用；但在证券市场上能找到一定数量的与被评估单位类似的上市公司，且
交易活跃，交易及财务数据公开，信息充分，故本次市场法评估采用上市公司比较法，
即将被评估单位及其合并范围内的下属子公司作为统一业务整体与可比上市公司进行
比较，本次评估采用市场法进行评估。
资产基础法的基本思路是重建或重置被评估资产，潜在的投资者在决定投资某项资
产时，所愿意支付的价格不会超过购建该项资产的现行购建成本。本评估项目由至微半
导体（上海）有限公司及其控股子公司业务相互关联，整体构成了一个集自主研发、生
产、销售服务于一体的湿法清洗设备供应公司。我们认为资产基础法是对各个实体公司
的资产负债进行评估加总，未能体现客户资源、组织管理、研发实力等因素对至微半导
体（上海）有限公司整体贡献值。因此，本次评估不采用资产基础法。
收益法是从决定资产现行公平市场价值的基本依据——资产的预期获利能力的角
度评价资产，能完整体现企业的整体价值，其评估结论具有较好的可靠性和说服力。同
时，被评估单位具备了应用收益法评估的前提条件：将持续经营、未来收益期限可以确
定、股东权益与企业经营收益之间存在稳定的关系、未来的经营收益可以正确预测计量、
与企业预期收益相关的风险报酬能被估算计量，因此本次评估选用收益法进行评估。
通过以上分析，本次评估采用收益法和市场法对至微半导体（上海）有限公司截止
评估基准日的股东全部权益价值进行评估，在比较两种评估方法所得出的评估结果的基
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础上，分析差异产生的原因，最终确认评估值。
（二）收益法介绍及本次评估技术思路
1、收益法的定义
收益现值法是指通过估算被评估资产的未来预期收益并折算成现值，借以确定被评
估资产价格的一种资产评估方法。
所谓收益现值，是指企业在未来特定时期内的预期收益按适当的折现率折算成当前
价值（简称折现）的总金额。
收益现值法的基本原理是资产的购买者为购买资产而愿意支付的货币量不会超过
该项资产未来所能带来的期望收益的折现值。
收益现值法的适用前提条件为：
（1）被评估资产必须是能够用货币衡量其未来期望收益的单项或整体资产。
（2）产权所有者所承担的风险也必须是能用货币来衡量的。
本次收益法评估选用企业自由现金流模型，即预期收益是公司全部投资资本（所有
者权益和有息债务）产生的现金流。以未来若干年度内的企业自由净现金流量作为依据，
采用适当折现率折现后加总计算得出经营性资产价值，然后加上溢余资产价值、非经营
性资产价值，减去有息债务、非经营性负债，得出所有者权益价值。计算公式：
E = BD （1）
式中：
E：被评估单位的所有者权益价值
B：被评估单位的企业价值
D：评估对象的付息债务价值
B = P + Ci （2）
P：被评估单位的经营性资产价值
n
Ri Rn +1
P= + （3）
i =1 (1 + r ) r (1 + r ) n
i
式中：
Ri：被评估单位未来第 i 年的预期收益（自由现金流量）
r：折现率
折现率，又称期望投资回报率，是基于收益法确定评估价值的重要参数。因此本次
评估采用选取对比公司进行分析计算的方法估算被评估单位期望投资回报率。
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n：收益年期。
ΣCi：被评估单位基准日存在的非经营性资产及负债或溢余性资产的价值
溢余资产是指与企业经营收益无直接关系的，超过企业经营所需的多余资产。
经营性资产主要指企业因盈利目的而持有、且实际也具有盈利能力的资产；对企业
盈利能力的形成没有做出贡献，甚至削弱了企业的盈利能力的资产属于非经营性资产。
所谓非经营性负债是指企业承担的债务不是由于主营业务的经营活动产生的负债而是
由于与主营业务没有关系或没有直接关系的其他业务活动如对外投资，基本建设投资等
活动所形成的负债。
2、本次收益法评估的技术思路
至微半导体（上海）有限公司及其控股子公司是集研发、制造半导体湿法清洗设备
的公司。其全资子公司江苏启微半导体设备有限公司主要负责湿法设备研发和制造；合
肥至微半导体有限公司，从事 12 寸晶圆再生业务；合肥至微微电子有限公司，负责零
部件清洗业务；由至微半导体（上海）有限公司控股的日本至纯株式会社主要负责高阶
槽式湿法设备设计；台湾至微半导体有限公司，主要负责设备设计、市场营销与供应链
管理。基于上述业务模式，本次评估采用合并口径下的收益法对至微半导体（上海）有
限公司的股东全部权益价值进行预测。
（三）市场法介绍
1、企业价值评估中市场法定义
市场法是根据与被评估单位相同或相似的对比公司近期交易的成交价格，通过分析
对比公司与被评估单位各自特点分析确定被评估单位的股权评估价值，市场法的理论基
础是同类、同经营规模并具有相同获利能力的企业其市场价值是相同的（或相似的）。
市场法中常用的两种方法是上市公司比较方法和交易案例比较法。
上市公司比较法是指通过对资本市场上与被评估单位处于同一或类似行业的上市
公司的经营和财务数据进行分析，计算适当的价值比率或经济指标，在与被评估单位比
较分析的基础上，得出评估对象价值的方法。
交易案例比较法是指通过分析与被评估单位处于同一或类似行业的公司的买卖、收
购及合并案例，获取并分析这些交易案例的数据资料，计算适当的价值比率或经济指标，
在与被评估单位比较分析的基础上，得出评估对象价值的方法。
2、本次市场法评估的技术思路
由于受信息收集的限制而不能找到适当数量的可比交易案例，且不能充分量化评估
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对象与交易案例的差异对评估价值的影响，因此交易案例比较法并不适用；但在证券市
场上能找到一定数量的与被评估单位类似的上市公司，且交易活跃，交易及财务数据公
开，信息充分，故本次市场法评估采用上市公司比较法，即将被评估单位及其合并范围
内的下属子公司作为统一业务整体与可比上市公司进行比较。
市场比较法要求通过分析对比公司股权（所有者权益）或全部投资资本市场价值与
收益性参数、资产类参数或现金流比率参数之间的比率乘数来确定被评估单位的比率乘
数，然后根据委估企业的收益能力、资产类参数来估算其股权或全投资资本的价值。因
此采用市场法评估的一个重要步骤是分析确定、计算比率乘数。比率乘数一般可以分为
三类，分别为收益类比率乘数、资产类比率乘数和现金流比率乘数。根据本次被评估单
位的特点以及参考行业惯例，本次评估我们选用如下资产类比率乘数。
市净率（PB）数据容易取得，且较为稳定，不易人为操控，适用于大多数企业。如
企业的会计标准合理且一致，市净率的变化则可以反映企业价值的变化，因此该价值比
率适用于拥有大量资产且净资产为正的企业。根据本次评估取得的资料，结合被评估单
位提供的财务数据，公司经营情况、行业特点、价值比率波动情况，以及获取的可比上
市公司财务数据，选取 PB 作为比较参数。
评估公式为：
股东全部权益价值=（全投资市场价值-付息负债）×（1-不可流通折扣率）＋非经营
性资产净值及溢余资产-少数股东权益
根据综合分析本次评估选取 PB 价值比率计算结果的平均值作为本次市场法评估
值。
八、评估程序实施过程和情况
本公司选派资产评估人员，组成评估项目小组，历经评估前期准备工作、正式进驻
企业，开始评估工作、完成现场工作、出具评估报告书，具体过程如下：
（一）明确评估业务基本事项
2021 年 5 月 20 日我公司接到委托人的通知后，即安排有关负责人与委托人联系，
通过与委托人沟通、查阅资料或初步调查等方式，明确委托人、被评估单位、其他资产
评估报告使用人等相关当事方、评估目的、评估对象和评估范围、价值类型、评估基准
日、评估假设和限制条件等评估业务基本事项。
（二）签订资产评估委托合同
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2021 年 5 月 22 日根据评估业务具体情况，综合分析专业胜任能力和独立性，评价
项目风险，确定承接评估业务后，与委托人签订资产评估委托合同。
（三）编制资产评估计划
2021 年 5 月 23 日根据本评估项目的特点、规模和复杂程度，编制合理的资产评估
计划，并根据执行资产评估业务过程中的具体情况及时修改、补充资产评估计划。
（四）现场调查
2021 年 5 月 24 日至 2021 年 6 月 15 日，评估人员根据评估业务的具体情况对评估
对象进行必要的勘查，指导被评估单位清查资产、准备评估资料，核实资产与验证资料，
包括将资产评估申报表与被评估单位有关财务报表、总账、明细账进行核对，并对相关
资料进行验证，采取必要措施确信资料来源的可靠性，对实物资产进行必要的现场勘查，
了解资产的使用状况及性能。
（五）确定评估方法并收集资产评估资料
2021 年 6 月 16 日至 2021 年 6 月 20 日，评估人员通过对评估对象和评估范围内资
产的调查了解，确定适当的评估方法，同时收集与资产评估有关的市场资料及信息，根
据评估项目的进展情况及时补充收集所需要的评估资料。
（六）财务经营状况分析及盈利预测的复核
2021 年 6 月 21 日至 2021 年 6 月 30 日，评估人员分析被评估单位的历史经营情况，
分析收入、成本和费用的构成及其变化原因，分析其商业模式、获利能力及发展趋势，
分析被评估单位的综合实力、管理水平、盈利能力、发展能力、竞争优势等因素。根据
被评估单位财务计划和发展规划，结合经济环境和市场发展状况分析，对企业编制的盈
利预测进行复核。
（七）评定估算及内部复核
2021 年 7 月 1 日至 2021 年 7 月 15 日整理被评估单位提供的资料、收集到的市场资
料及信息，在对被评估单位财务经营状况分析的基础上，根据评估基本原理和规范要求
恰当运用评估方法进行评估形成初步评估结论，对信息资料、参数数量、质量和选取的
合理性等进行综合分析形成资产评估结论，按评估准则的要求撰写资产评估报告，资产
评估机构进行必要的内部复核工作。
（八）出具资产评估报告
2021 年 10 月 12 日，评估人员与委托人及资产评估相关当事人进行必要的沟通，听
取各方对资产评估结论的反馈意见并引导委托人及其他资产评估报告使用人合理理解
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资产评估结论，出具资产评估报告并以恰当的方式提交给委托人。
九、评估假设
（一）基础性假设
1、交易假设：假设评估对象处于交易过程中，评估师根据评估对象的交易条件等
模拟市场进行估价，评估结果是对评估对象最可能达成交易价格的估计。
2、公开市场假设：假设评估对象及其所涉及资产是在公开市场上进行交易的，在
该市场上，买者与卖者的地位平等，彼此都有获取足够市场信息的机会和时间，买卖双
方的交易行为都是在自愿的、理智的、非强制条件下进行的。
3、企业持续经营假设：是将企业整体资产作为评估对象而做出的评估假定，即企
业作为经营主体，在所处的外部环境下，企业目前及未来的经营管理班子尽职尽责，不
会出现影响公司发展和收益实现的重大违规事项，并继续保持现有的湿法业务全部在至
微半导体（上海）有限公司的层面经营管理模式持续经营下去。
（二）宏观经济环境假设
1、国家现行的经济政策方针无重大变化；
2、银行信贷利率、汇率、税率无重大变化；
3、被评估单位所占地区的社会经济环境无重大变化；
4、被评估单位所属行业的发展态势稳定，与被评估单位生产经营有关的现行法律、
法规、经济政策保持稳定。
（三）评估对象于评估基准日状态假设
1、除评估人员所知范围之外，假设评估对象及其所涉及资产的购置、取得或开发
过程均符合国家有关法律法规规定。
2、除评估人员所知范围之外，假设评估对象及其所涉及资产均无附带影响其价值
的权利瑕疵、负债和限制，假设评估对象及其所涉及资产之价款、税费、各种应付款项
均已付清。
3、除评估人员所知范围之外，假设评估对象及其所涉及建筑物、设备等有形资产
无影响其持续使用的重大技术故障，该等资产中不存在对其价值有不利影响的有害物
质，该等资产所在地无危险物及其他有害环境条件对该等资产价值产生不利影响。
（四）收益法预测假设
1、一般假设
（1）被评估单位和可比公司所处地区的政治、经济和社会环境无重大变化，无其
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他不可预测和不可抗力因素造成的重大不利影响；
（2）在预测年份内央行公布的基准利率和准备金率保持近十年来的波动水平，税
率假设按目前已公布的税收政策保持不变；
（3）被评估单位所属行业的发展态势稳定，与被评估单位经营有关的现行法律、
法规、经济政策保持稳定；
（4）被评估单位与其关联方的所有交易均以市场价格为基础，不存在任何形式的
利润转移情况；
（5）被评估单位的经营者是负责的，且企业管理层有能力担当其责任，不考虑经
营者个人的特殊行为对企业经营的影响；
（6）被评估单位完全遵守有关的法律和法规进行生产经营；
（7）委托人与被评估单位提供的评估资料和资产权属资料真实、合法、完整，评
估人员在能力范围内收集到的评估资料真实、可信；
（8）假设评估对象所涉及企业在评估目的经济行为实现后，仍将按照原有的经营
目的、经营方式持续经营下去，其收益可以预测；
（9）假设评估对象所涉及企业按评估基准日现有（或一般市场参与者）的管理水
平继续经营，不考虑该等企业将来的所有者管理水平优劣对企业未来收益的影响；
（10）被评估单位经营合作商的成本无不可预见的重大变化；被评估单位运营的产
品或服务价格无不可预见的重大变化；
（11）本次评估进行收益预测时所采用的会计政策与会计核算方法与公司提供的历
史财务资料所采用的会计政策和会计核算方法在重要方面基本一致；
（12）被评估单位在未来的经营期限内的财务结构、资本规模未发生重大变化；
（13）收益的计算以中国会计年度为准，本次预测假设现金流量均为均匀发生，采
用中期折现；
（14）本次评估中，我们以被评估单位基准日或现场勘察日已取得的各项资格证书
认证期满后仍可继续获相关资质为前提；
（15）假设被评估单位未来收益期不发生对其经营业绩产生重大影响的诉讼、抵押、
担保等事项；
（16）无其他不可预测和不可抗力因素对被评估单位经营造成重大影响。
2、特殊假设及主要参数
（1）假设被评估单位能够按照管理层提供的整体业务模式进行预测；
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（2）假设被评估单位制定的各项经营计划、资金筹集计划等能够顺利执行；
（3）假设被评估单位能够按照企业管理层规划的经营规模和能力、经营条件、经
营范围、经营方针进行正常且持续的生产经营；
（4）假设被评估单位目前及未来的经营管理班子尽职，不会出现影响公司发展和
收益实现的重大违规事项，并继续保持现有的经营管理模式持续经营；
（5）假设被评估单位以前年度及当年签订的合同有效，并能得到执行；
（6）假设被评估单位未来研发团队能保持稳定，有序进行被评估单位各项研发工
作；
（7）假设被评估单位在评估基准日可能存在的不良、不实的资产和物权、债权纠
纷均得到妥善处理，不影响预测收益期的正常经营；
（8）假设半导体湿法业务保持现有的良性发展态势，国家宏观货币政策在长期来
看处于均衡状态；
（9）假设被评估单位经营管理所需资金均能通过股东投入或对外借款解决，不存
在因资金紧张造成的经营停滞情况。
（10）假设评估基准日后被评估单位的研发能力和技术先进性能够满足公司预期发
展需求。
评估人员根据运用收益法对被评估单位进行评估的要求，认定管理层提供的假设条
件在评估基准日时成立，并根据这些假设推论出相应的评估结论。如果未来经济环境发
生较大变化或其它假设条件不成立时，评估人员将不承担由于假设条件的改变而可能推
导出不同评估结果的责任。
（五）限制性假设
1、本评估报告假设由委托人提供的法律文件、技术资料、经营资料等评估相关资
料均真实可信。我们亦不承担与评估对象涉及资产产权有关的任何法律事宜。
2、除非另有说明，本评估报告假设通过可见实体外表对评估范围内有形资产视察
的现场调查结果，与其实际经济使用寿命基本相符。本次评估未对该等资产的技术数据、
技术状态、结构、附属物等进行专项技术检测。
（六）针对本项目的特别假设
1、假设无形资产中 20 项处于正在申请中尚未授权的专利权能顺利授权；
2、被评估单位 2020 年底已提交高新企业的申请，截止评估基准日尚未取得高新企
业证书，假设 2022 年被评估单位能够拿到高新企业证书，且未来一直能够取得高新企
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业证书。
十、评估结论
（一）两种评估方法的评估结果
1、收益法评估结果
截止评估基准日，在本报告所列假设和限定条件下，经采用收益法评估，被评估单
位的股东全部权益价值评估值为 250,255.17 万元，较审计后被评估单位合并口径下归属
于母公司所有者权益 42,752.56 万元，增值 207,502.60 万元，增值率 485.36%，较审计
后被评估单位母公司单体所有者权益 43,213.91 万元，增值 207,041.26 万元，增值率
479.11%。
2、市场法评估结果
于评估基准日，在本报告所列假设和限定条件下，采用市场法评估至微半导体（上
海）有限公司的股东全部权益价值为 259,500.00 万元，较审计后被评估单位合并口径下
归属于母公司的所有者权益账面值 42,752.56 万元，增值 216,747.44 万元，增值率
506.98%，较审计后被评估单位母公司单体所有者权益 43,213.91 万元，增值 216,286.09
万元，增值率 500.50%。
（二）评估结果的选取与分析
本次评估，我们分别采用收益法和市场法两种方法，通过不同途径对委估对象进行
评估，两种方法的评估结果差异为 9,244.83 万元。
收益法是从未来收益的角度出发，以被评估单位现实资产未来可以产生的收益折
现，并考虑风险性决策的期望值后作为被评估单位股权的评估价值，因此收益法对企业
未来的预期发展因素产生的影响考虑比较充分。市场法是将评估对象与可比上市公司交
易案例进行比较，确定评估对象价值的评估方法。市场法直观、灵活，可以根据市场信
息的及时变化，改变相应的价值比率，得到及时、变更的评估结果。
市场法基于市场总体能有效确定合理价格的假设，但是市场有时整体上对某类企业
价值低估或高估，同时，评估对象和可比上市公司所面临的风险和不确定性往往不尽相
同。由于评估标的公司处于半导体湿法清洗设备领域，因此市场法的运用有其局限性。
由于被评估单位与可比上市公司在清洗设备品种、营销模式、研发水平上的不同，使得
被评估单位与其相比较具有差异性。所以我们认为收益法的结果应该更切合公司的实际
情况。
因此，从客观价值来看，收益法的评估结果更能反映被评估单位的真实价值，综上，
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本次评估选择收益法评估结果作为最终结果。即：至微半导体（上海）有限公司股东全
部权益价值评估结果为 250,255.17 万元。
（四）评估结论成立的条件
1、本评估结论系根据评估报告中描述的原则、依据、假设、方法、程序得出的，
只有在上述原则、依据、假设存在的条件下成立；
2、本评估结论仅为本评估目的服务；
3、本评估结论未考虑国家宏观经济政策发生重大变化以及遇有自然力和其他不可
抗力的影响；
4、本评估结论未考虑特殊交易方式对评估结论的影响；
5、本报告评估结论是由本评估机构出具的，受本机构评估人员的职业水平和能力
的影响。
十一、特别事项说明
（一）引用其他机构出具报告结论的情况，并说明承担引用不当的相关责任；
委托人就本次经济行为聘请众华会计师事务所(特殊普通合伙)出具的标准无保留意
见审计报告（报告号为：众会字(2021)第 05984 号）。本次评估基于审计师审定的基础
上进行的，并利用了上述审计报告的相关信息和数据。本公司承担引用数据正确的法津
责任，但不承担审计的法律责任。
（二）权属资料不全面或者存在瑕疵的情形；
无
（三）评估程序受到限制的情形；
无
（四）评估资料不完整的情形；
无
（五）评估基准日存在的法律、经济等未决事项；
无
（六）担保、租赁及其或有负债（或有资产）等事项的性质、金额及与评估对象的
关系；
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放款银行（或机构）名称 借款方式 发生日期 到期日 年利率% 账面价值
中国银行合肥北城支行 信用担保 2020-08-28 2021-08-28 5.22% 40,000,000.00
中国银行合肥北城支行 信用担保 2020-10-29 2021-10-29 5.22% 40,000,000.00
中国工商银行股份有限公司合肥新站区支行 抵押/保证借款 2021-03-01 2026-12-20 4.90% 4,000,000.00
中国工商银行股份有限公司合肥新站区支行 抵押/保证借款 2021-03-02 2026-12-20 4.90% 47,351,000.00
芯鑫融资租赁有限责任公司 融资租赁 2021-03-31 2023-05-29 6.10% 151,036,386.90
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2019-06-06 2021-12-20 6.95% 2,000,000.00
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2019-06-06 2022-05-10 6.95% 23,500,000.00
江苏启东农村商业银行股份有限公司科技支行 固定资产贷款 2020-06-28 2023-06-20 6.95% 66,500,000.00
合计 374,387,386.90
2020 年 08 月 27 日，合肥至微半导体有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司和
中国银行股份有限公司合肥分行签订了编号为“2020 年司委贷字 20W003 号”的对公委
托贷款合同，用于建设“晶圆再生基地项目”。受托人代理委托人向借款人发放贷款 4000
万元人民币，贷款期限在首个提款日起 12 个月，年利率为 5.22%。上海至纯洁净系统
科技股份有限公司为其提供担保，合肥至微半导体有限公司、上海至纯洁净系统科技股
份有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司签订了保证合同。
2020 年 10 月 29 日，合肥至微半导体有限公司（借款人）与合肥鑫诚国有资产经营
有限公司和中国银行股份有限公司合肥分行签订了编号为“2020 年司委贷字 20W004
号”的对公委托贷款合同，用于建设“晶圆再生基地项目”。受托人代理委托人向借款
人发放贷款 4000 万元人民币，贷款期限在首个提款日起 12 个月，年利率为 5.22%。上
海至纯洁净系统科技股份有限公司为其提供担保，合肥至微半导体有限公司、上海至纯
洁净系统科技股份有限公司与合肥鑫诚国有资产经营有限公司签订了保证合同。
2020 年 12 月 21 日，合肥至微半导体有限公司与中国工商银行股份有限公司合肥新
站区支行签订了编号为“0130200457-2020 年（站支）字 00600 号”的《固定资产借款
合同》，合同项下金额为人民币 8000 万元的贷款承诺额，贷款期限在首个提款日起 72
个月，年利率为 4.90%，同时签订合同编号为“0130200457-2020 年站支(抵)字 0059 号”
的《抵押合同》，抵押物为位于新站区梅冲湖路与大禹路交口西北角的一块土地，权证
编号为皖（2020）合肥市不动产权第 1109554 号，土地状况正常，价值为 1,530.00 万元。
上海至纯洁净系统科技股份有限公司为其行为提供担保，并与中国工商银行股份有限公
司合肥新站区支行签订了编号为“0130200457-2020 年站支（保）字 0070 号”保证合同。
2019 年 06 月 06 日，江苏启微半导体设备有限公司（借款人）和江苏启东农村商业
银行股份有限公司科技支行（贷款人）签订了编号为“启农商行科技借字（2019）第 0606
号”的借款合同，用于支付工程款。贷款人向借款人发放固定资产贷款 2600 万元人民
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币，贷款期限在实际提款日起 36 个月，年利率为 6.95%。由蒋渊、陈盛云提供连带责
任保证担保，保证合同编号为“启动商行科技保字（2019）第 0606 号”。
2020 年 06 月 28 日，江苏启微半导体设备有限公司（借款人）和江苏启东农村商业
银行股份有限公司科技支行（贷款人）签订了编号为“启农商行科技借字（2019）第 0107
号”的借款合同，用于在建工程款和其他固定资产设备款，借款金额为人民币 6750 万
元，贷款期限在实际提款日起 36 个月，年利率为 6.95%，,同时签订合同编号为“启农
商行科技抵字（2019）第 0107 号”的《抵押合同》，抵押物为位于启东市汇龙镇牡丹
江路的房地产，土地面积为 66629 平方米，房屋建筑面积为 55593.55 平方米，不动产权
证编号为苏 2020 启东市不动产权第 0015012 号，用途为工业用途，价值为 10,223.00 万
元。由蒋渊、陈盛云提供连带责任保证担保，保证合同编号为“启动商行科技保字（2019）
第 0107 号”
2020 年 6 月 合 肥 至 微 半 导 体 有 限 公 司 与 芯 鑫 融 资 租 赁 有 限 责 任 公 司 签 订
“SINOICL2020D08Y007-L-01”号融资租赁合同、2020 年 10 月合肥至微半导体有限公
司与芯鑫融资租赁有限责任公司签订“SINOICL2020D08Y019-L-01”号融资租赁合同、
2020 年 9 月 合 肥 至 微 半 导 体 有 限 公 司 与 芯 鑫 融 资 租 赁 有 限 责 任 公 司 签 订
“SINOICL2020D08Y016-L-01”号融资租赁合同主要用于采购晶圆再生及部件清洗生产
线上的设备。
本次评估未考虑上述抵押、担保对评估结论的影响，提请报告使用者引起关注。
（七）评估基准日至资产评估报告日之间可能对评估结论产生影响的事项；
无
（八）本次资产评估对应的经济行为中，可能对评估结论产生重大影响的瑕疵情
形；
无
（九）其他需要说明的事项。
1、资产评估师已经对资产评估报告中的评估对象及其所涉及资产进行现场调查；
已经对评估对象及其所涉及资产的法律权属状况给予必要的关注，对评估对象及其所涉
及资产的法律权属资料进行了查验；
2、企业存在的可能影响股东全部权益市场价值评估的瑕疵事项，在委托人和被评
估单位未作特殊说明而评估人员根据专业经验一般不能获悉的情况下，评估机构及评估
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人员不承担相关责任；
3、评估师执行资产评估业务的目的是对评估对象价值进行估算并发表专业意见，
并不承担相关当事人决策的责任。评估结论不应当被认为是对评估对象可实现价格的保
证；
4、评估机构获得的被评估单位盈利预测是本报告收益法评估的基础，评估师对被
评估单位盈利预测进行了必要的调查、分析、判断，经过与被评估单位管理层讨论，被
评估单位进一步修正、完善后，评估机构采信了被评估单位盈利预测的相关数据。但我
们无法保证将来盈利指标能按预期实现，如果发生实际投产运营与上述企业提供的盈利
预测情况不符的情形，本评估报告结果将失效。因此，评估报告使用者必须在对被评估
单位业务合法性充分认可、运营能力充分相信并认为其可行性研究报告及盈利预测数据
具备合理性的情况下方能使用本评估报告的评估结论；
5、评估结论是建立在被评估单位对未来宏观经济及行业发展趋势判断、被评估单
位对其经营规划有效执行的基础上。若未来出现经济环境变化以及行业发展障碍，被评
估单位未能采取切实有效措施对其规划执行予以调整，使之能够满足现有经营规划的执
行，盈利预测数据可能会发生较大变化，因而本评估结论会与企业实际产生较大偏差，
委托人应据实际情况重新委托评估机构对企业价值评估，提请委托人及报告使用人关
注；
6、评估师和评估机构的法律责任是对本报告所述评估目的下的资产价值量做出专
业判断，不涉及到评估师和评估机构对评估目的所对应经济行为的可行性做出任何判
断。评估工作不可避免地在一定程度上依赖于委托人、被评估单位和其他关联方提供的
关于评估对象的信息资料，因此，评估工作是以委托人、被评估单位提供的有关经济行
为文件、资产所有权文件、证件及会计凭证，以及技术参数、经营数据等评估相关文件、
资料的真实合法为前提；
7、本评估结果对与企业价值的评估增值可能存在的相关联的税赋未作考虑；
8、本次评估在确定至微半导体（上海）有限公司的股东全部权益价值时，未考虑
控股权的溢价，亦未考虑少数股权的折价以及股权流动性等特殊交易对股权价值的影
响；
9、本报告仅为本次评估目的提供参考价值。一般来说，由于评估目的不同、价值
类型不同、评估基准日不同，同样的资产会表现出不同的价值，我们对因评估报告使用
不当而造成的后果不承担责任；
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10、本次评估范围内包含 27 项专利，其中有 20 项处于正在申请中尚未授权，本次
评估是基于可以取得授权的前提下进行的，若最终无法取得授权，则会影响评估结论。
本报告签字评估师提请报告使用者在使用本报告时，应关注以上特别事项说明及
期后重大事项对评估结论以及本次经济行为可能产生的影响。
十二、资产评估报告使用限制说明
（一）资产评估报告使用说明
1、若按规定资产评估报告需经国有资产监督管理部门核准或备案，本资产评估
报告应在完成核准和备案手续后方可正式使用。
2、本资产评估报告仅供资产评估报告使用人在资产评估报告载明的评估目的和
有效期限内使用。
3、委托人或者其他资产评估报告使用人未按照法律、行政法规规定和资产评估
报告载明的使用范围使用资产评估报告的，资产评估机构及其资产评估师不承担责任。
4、本报告是关于价值方面的专业意见，尽管我们对评估范围内有关资产的权属
及财务状况进行了披露，但评估师并不具备对该等法律及财务事项表达意见的能力，
也没有相应的资格。因此，若资产评估报告使用人认为这些法律及财务事项对实现经
济行为较为重要，应当聘请律师或会计师等专业人士提供相应服务。
（二）限制说明
1、除委托人、资产评估委托合同中约定的其他资产评估报告使用人和法律、行政
法规规定的资产评估报告使用人之外，其他任何机构和个人不能成为资产评估报告的使
用人。
2、除法律、法规规定以及相关当事方另有约定外，未征得本公司同意，评估报告
的内容不得被摘抄、引用或披露于公开媒体。
3、资产评估报告使用人应当正确理解评估结论，评估结论不等同于评估对象可实
现价格，评估结论不应当被认为是对评估对象可实现价格的保证。
（三）评估结论的使用有效期
本评估结论仅对中国国有企业混合所有制改革基金有限公司、国家集成电路产业投
资基金二期股份有限公司拟增资扩股之经济行为有效，并仅在评估报告载明的评估基准
日成立。资产评估结论使用有效期自评估基准日起一年内（即 2021 年 3 月 31 日至 2022
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年 3 月 30 日）有效。当评估基准日后的委估资产状况和外部市场出现重大变化，致使
原评估结论失效时，评估报告使用者应重新委托评估。
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