海通证券股份有限公司

          关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

  首次公开发行股票部分限售股解禁上市流通的核查意见

    海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”、“保荐机构”）作为中微半导
体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”）首次公开发行股票的持续
督导机构，根据《科创板首次公开发行股票注册管理办法（试行）》、《证券发行
上市保荐业务管理办法》以及《上海证券交易所科创板股票上市规则》等有关规
定，对中微公司首次公开发行股票部分限售股份解禁上市流通事项进行了核查，
发表核查意见如下：

一、首次公开发行股票和股本情况

    经上海证券交易所科创板股票上市委员会委员审议通过，并已经中国证券监
督管理委员会（以下简称“证监会”）同意注册（证监许可〔2019〕1168 号），中
微公司首次公开发行人民币普通股（A 股）53,486,224 股，并于 2019 年 7 月 22
日在上海证券交易所挂牌上市。公司首次公开发行前股本为 481,376,013 股，首
次公开发行后总股本为 534,862,237 股，其中无限售条件流通股为 48,426,573 股，
有限售条件流通股为 486,435,664 股。

二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

    限售股形成后，中微公司分别于 2020 年 1 月 22 日一般法人配售上市，于
2020 年 7 月 22 日首发原股东限售上市，有限售条件流通股相应减少，总股本仍
保持不变。

    2021 年 3 月 9 日，公司收到中国证监会出具的《关于同意中微半导体设备
（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》 证监许可[2021]645 号），
同意公司向特定对象发行 A 股股票的注册申请。

    2021 年 6 月 30 日，公司在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理
完毕本次发行新增股份登记托管及股份限售手续，公司总股本由 534,862,237 股
变更为 615,091,572 股。

三、本次限售股份申请上市流通的基本情况

      本次上市流通的限售股为中微公司首次公开发行限售股份，共计 2,068,252
股，占中微公司总股本的 0.3363%，涉及 1 名股东，锁定期为自中微公司股票上
市之日起 24 个月，该部分限售股将于 2021 年 7 月 22 日锁定期届满并上市流通。
本次股份解除限售及上市流通情况如下：

                                 持有限售     持有限售股   本次上市     剩余限售
 序
              股东名称           股数量       占公司总股   流通数量     股数量
 号
                                 （股）         本比例     （股）       （股）
 1    海通创新证券投资有限公司    2,068,252      0.3363%    2,068,252          -
             合 计                2,068,252     0.3363%     2,068,252          -


四、本次申请解除股份限售股东的相关承诺及履行情况

      （一）申请解除股份限售股东的承诺

      本次申请解除股份限售的股东承诺：自中微公司股票上市之日起 24 个月内，
不转让本企业及本企业的一致行动人（如有）所持有的中微公司本次发行上市前
已发行的股份。

      （二）股份锁定承诺的履行情况

      截至本核查意见出具之日，本次申请上市的限售股持有人不存在相关承诺未
履行而影响本次限售股上市流通的情况。

五、本次解除限售股份的上市流通安排

      本次限售股上市流通数量：2,068,252 股；

      本次限售股上市流通日期：2021 年 7 月 22 日。

六、股本变动结构表
                                                                单位：股
         项目              本次上市前       变动数         本次上市后
有限售条件股份                369,689,037     -2,068,252      367,620,785
无限售条件股份                245,402,535     2,068,252       247,470,787
       股份总数               615,091,572              -      615,091,572


七、保荐机构核查意见

    经核查，海通证券认为：中微公司本次限售股份上市流通符合《上海证券交
易所科创板股票上市规则》等相关法律法规和规范性文件的要求；本次限售股份
解除限售数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规
则和股东承诺；截至本核查意见出具之日，中微公司关于本次限售股份相关的信
息披露真实、准确、完整。

    海通证券对中微公司本次限售股份解禁上市流通事项无异议。

    （以下无正文）
（此页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有
限公司首次公开发行股票部分限售股解禁上市流通的核查意见》之签字盖章页）




保荐代表人：


                            吴志君                孙剑峰




                                                 海通证券股份有限公司




                                                 年        月       日