海通证券股份有限公司 关于中微半导体设备(上海)股份有限公司 非公开发行股票限售股上市流通的核查意见 海通证券股份有限公司(以下简称“海通证券”、“保荐机构”)作为中微半导 体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”、“公司”)2020 年度向特 定对象发行 A 股股票项目的持续督导机构,根据《科创板首次公开发行股票注 册管理办法(试行)》、《证券发行上市保荐业务管理办法》以及《上海证券交易 所科创板股票上市规则》等有关规定,对中微公司非公开发行股票限售股上市流 通事项进行了核查,发表核查意见如下: 一、向特定对象发行股票和股本情况 本次限售股上市类型为非公开发行限售股,情况如下: 2021 年 3 月 9 日,公司收到中国证券监督管理委员会出具的《关于同意中 微半导体设备(上海)股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》(证监许 可[2021]645 号),同意公司向特定对象发行 A 股股票的注册申请。 2021 年 6 月 30 日,公司在中国证券登记结算有限责任公司上海分公司办理 完毕本次发行新增股份登记托管及股份限售手续,公司总股本由 534,862,237 股 变更为 615,091,572 股。 本次上市流通的限售股股东数量为 20 名,解除限售的股份数量为 80,229,335 股,占公司目前股份总数的比例为 13.02%,限售期截止日为 2021 年 12 月 31 日, 上市流通日为 2022 年 1 月 4 日。 二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况 本次非公开发行后,公司总股本为 615,091,572 股。 1、战略投资者配售上市 限售股形成后,公司于 2021 年 7 月 22 日首发战略投资者配售上市(锁定期 为自上市之日起 24 个月),有限售条件流通股相应减少,总股本仍保持不变。 2、股权激励 公司于 2021 年 8 月 18 日收到中国证券登记结算有限责任公司上海分公司出 具的《证券变更登记证明》,公司于 2021 年 8 月 17 日完成了 2020 年限制性股票 激励计划首次授予部分第一个归属期的股份登记工作,本次归属股票数量为 115.2908 万股,本次限制性股票归属后,公司总股本由 615,091,572 股增加至 616,244,480 股。 三、本次限售股份申请上市流通的基本情况 本次上市流通的限售股为中微公司非公开发行限售股份,共计 80,229,335 股,占中微公司总股本的 13.02%,涉及 20 名股东,锁定期为股份发行结束之日 起 6 个月,该部分限售股将于 2022 年 1 月 4 日锁定期届满并上市流通。本次股 份解除限售及上市流通情况如下: 持有限售股占 剩余限售 序 持有限售股数 本次上市流 股东名称 公司总股本比 股数量 号 量(股) 通数量(股) 例(%) (股) 国家集成电路产业投资 1 24,440,316 3.97 24,440,316 0 基金二期股份有限公司 工银瑞信基金管理有限 2 9,082,020 1.47 9,082,020 0 公司 3 GIC Private Limited 7,615,602 1.24 7,615,602 0 国泰君安证券股份有限 4 5,386,645 0.87 5,386,645 0 公司 中国国际金融股份有限 5 3,969,107 0.64 3,969,107 0 公司 6 高毅晓峰 2 号致信基金 3,799,586 0.62 3,799,586 0 法国巴黎银行-自有资 7 2,639,553 0.43 2,639,553 0 金 南方基金管理股份有限 8 2,395,151 0.39 2,395,151 0 公司 9 河南资产管理有限公司 2,365,822 0.38 2,365,822 0 10 UBS AG 2,326,717 0.38 2,326,717 0 持有限售股占 剩余限售 序 持有限售股数 本次上市流 股东名称 公司总股本比 股数量 号 量(股) 通数量(股) 例(%) (股) 11 国泰基金管理有限公司 2,043,210 0.33 2,043,210 0 济南江山投资合伙企业 12 1,955,225 0.32 1,955,225 0 (有限合伙) 13 诺德基金管理有限公司 1,945,448 0.32 1,945,448 0 高毅-晓峰 1 号睿远证 14 1,466,419 0.24 1,466,419 0 券投资基金 新华人寿保险股份有限 公司-新华人寿保险股 15 1,466,419 0.24 1,466,419 0 份有限公司稳得盈两全 保险(分红型) 新华人寿保险股份有限 16 公司-传统-普通保险产 1,466,419 0.24 1,466,419 0 品-018L-CT001 沪 新华人寿保险股份有限 17 公司-分红-团体分红 1,466,419 0.24 1,466,419 0 -018L-FH002 沪 北京时间投资管理有限 18 公司-时间方舟 1 号私 1,466,419 0.24 1,466,419 0 募证券投资基金 19 广发基金管理有限公司 1,466,419 0.24 1,466,419 0 上海浦东新兴产业投资 20 1,466,419 0.24 1,466,419 0 有限公司 合 计 80,229,335 13.02 80,229,335 - 限售股上市流通情况表: 序号 限售股类型 本次上市流通数量(股) 限售期(月) 1 非公开发行 80,229,335 6 合计 - 80,229,335 - 四、本次申请解除股份限售股东的相关承诺及履行情况 本次申请解除股份限售的全部 20 名股东承诺所认购的股份自发行结束之日 起 6 个月不得转让。 除上述承诺外,本次申请上市流通的限售股股东无其他特别承诺。 截至本公告发布之日,本次申请上市流通的限售股持有人不存在相关承诺未 履行而影响本次限售股上市流通的情况。 五、本次解除限售股份的上市流通安排 本次限售股上市流通数量:80,229,335 股; 本次限售股上市流通日期:2022 年 1 月 4 日。 六、股本变动结构表 单位:股 项目 本次上市前 变动数 本次上市后 有限售条件股份 367,620,785 -80,229,335 287,391,450 无限售条件股份 248,623,695 80,229,335 328,853,030 股份总数 616,244,480 - 616,244,480 七、保荐机构核查意见 经核查,海通证券认为: 中微公司本次限售股份上市流通符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》 等相关法律法规和规范性文件的要求;本次限售股份解除限售数量、上市流通时 间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股东承诺;截至本核查 意见出具之日,中微公司关于本次限售股份相关的信息披露真实、准确、完整。 海通证券对中微公司本次限售股份解禁上市流通事项无异议。 (以下无正文) (此页无正文,为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股份有 限公司非公开发行股票限售股上市流通的核查意见》之签字盖章页) 保荐代表人: 吴志君 孙剑峰 海通证券股份有限公司 年 月 日