| 主营产品构成（百万） | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 29.13% | 216.19 | -- | 125.27 | 42.06% | -- |
| 半导体专用温控设备 | 62.05% | 460.62 | -- | 279.99 | 39.21% | -- |
| 零配件及支持性设备 | 6.92% | 51.35 | -- | 41.30 | 19.57% | -- |
| 维护、维修等服务 | 1.90% | 14.13 | -- | 11.03 | 21.96% | -- |
| 总计 | 742.28 | |||||
| 行业收入构成（百万） | ||||||
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 半导体设备 | 100.00% | 742.28 | -- | 457.58 | 38.35% | -- |
| 总计 | 742.28 | |||||
| 地区收入构成（百万） | ||||||
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 中国大陆 | 100.00% | 742.28 | -- | 457.58 | 38.35% | -- |
| 总计 | 742.28 | |||||
