北方华创科技集团股份有限公司

             2022 年股票期权激励计划实施考核管理办法

    为保证北方华创科技集团股份有限公司（以下简称“公司”）2022 年股票期
权激励计划的顺利进行，进一步完善公司法人治理结构，形成良好均衡的价值分
配体系，激励公司（含所属子公司）任职的核心技术人才和管理骨干诚信勤勉地
开展工作，保证公司业绩稳步提升，确保公司发展战略和经营目标的实现，根据
国家有关规定和公司实际，特制定本办法。

    一、考核目的
    进一步完善公司法人治理结构，建立和完善公司激励约束机制，保证股权激
励计划的顺利实施，并在最大程度上发挥股权激励的作用，进而确保公司发展战
略和经营目标的实现。

    二、考核原则
    考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的
业绩进行评价，以实现股权激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而
提高管理绩效，实现公司与全体股东利益最大化。

    三、考核范围
    本办法适用于参与公司 2022 年股票期权激励计划的所有激励对象，包括公
司（含所属子公司）任职的核心技术人才和管理骨干。

    四、考核机构
    公司董事会薪酬与考核委员会负责领导和组织考核工作并审核考核结果，同
时负责对激励对象的考核工作。

    五、绩效考评评价指标及标准
    （一）股票期权的授予业绩考核条件：
    首次授予公司股票期权业绩考核条件：公司 2019 年股票期权与限制性股票
计划规定的第一个行权期/解除限售期公司业绩考核要求达成。
    预留股票期权授予业绩考核条件：公司 2019 年股票期权与限制性股票计划
规定的第一个行权期/解除限售期公司业绩考核要求达成。
     （二）股票期权的行权业绩考核条件
     1. 公司业绩考核要求
     本次授予的股票期权，在行权期的 4 个会计年度中，分年度进行业绩考核并
行权，以达到业绩考核目标作为激励对象的行权条件。
     首次授予的股票期权的行权业绩考核目标如下表所示：
      行权期         行权比例                           业绩考核目标
                                公司2023年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2023年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2023年专利
   第一个行权期        25%
                                申请量≥500件；公司2021-2023年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2021-2023年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2024年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2024年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2024年专利
   第二个行权期        25%
                                申请量≥500件；公司2022-2024年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2022-2024年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2025年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2025年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2025年专利
   第三个行权期        25%
                                申请量≥500件；公司2023-2025年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2023-2025年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2026年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2026年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2026年专利
   第四个行权期        25%
                                申请量≥500件；公司2024-2026年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2024-2026年利润率算数平均值不低于8%。

    注：1.对标企业来自 VLSI Research（如果 VLSI Research 未公布或未及时公布，可采用其他权威机构
数据）公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司；
    2.如对标企业年度报告财务报表日在 1-9 月内或对标企业考核年度的年度报告在北方华创董事会审议
行权条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业能够覆盖考核年度最多日期的四个季度数据之
和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在 10-12 月且对标企业考核年度的年度报
告在北方华创董事会审议行权条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据
视为考核年度数据；
    3.EOE 为净资产现金回报率，计算公式为 EBITDA 除以平均净资产，EBITDA 为扣除所得税、利息支
出、折旧和摊销（包括激励成本摊销）之前的净利润，平均净资产为期初与期末所有者权益的平均数。若
本激励计划有效期内公司进行发行证券募集资金的，计算发行当年和募投项目达到可研达产预期收益或研
发目标前期间的 EOE 指标时，可剔除因发行证券募集资金对指标的影响；
    4.利润率为利润总额占营业收入的比例，计算公式为利润总额除以营业收入。


     若预留股票期权在 2022 年度报告披露日前授出，则预留部分业绩考核目标
与首次授予部分一致；若预留部分在 2022 年度报告披露日后（含）授出，则预
留部分各年度业绩考核目标如下表所示：
     行权期          行权比例                          业绩考核目标
                                公司2024年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2024年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2024年专利
  第一个行权期         25%
                                申请量≥500件；公司2022-2024年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2022-2024年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2025年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2025年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2025年专利
  第二个行权期         25%
                                申请量≥500件；公司2023-2025年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2023-2025年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2026年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2026年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2026年专利
  第三个行权期         25%
                                申请量≥500件；公司2024-2026年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2024-2026年利润率算数平均值不低于8%。
                                公司2027年营业收入增长率不低于对标企业算术平均增长率；2027年
                                研发投入占营业收入比例不低于对标企业算术平均比例；2027年专利
  第四个行权期         25%
                                申请量≥500件；公司2025-2027年EOE算数平均值不低于16%；公司
                                2025-2027年利润率算数平均值不低于8%。

    注：1.对标企业来自 VLSI Research（如果 VLSI Research 未公布或未及时公布，可采用其他权威机构
数据）公布的相应年度全球半导体设备厂商销售额排名前五位的公司；
    2.如对标企业年度报告财务报表日在 1-9 月内或对标企业考核年度的年度报告在北方华创董事会审议
行权条件是否成就议案的前一日尚未披露，则选取对标企业能够覆盖考核年度最多日期的四个季度数据之
和作为考核年度数据用于比较。如对标企业年度报告财务报表日在 10-12 月且对标企业考核年度的年度报
告在北方华创董事会审议行权条件是否成就议案的前一日已披露，则将对标企业考核年度的年度报告数据
视为考核年度数据；
    3.EOE 为净资产现金回报率，计算公式为 EBITDA 除以平均净资产，EBITDA 为扣除所得税、利息支
出、折旧和摊销（包括激励成本摊销）之前的净利润，平均净资产为期初与期末所有者权益的平均数。若
本激励计划有效期内公司进行发行证券募集资金的，计算发行当年和募投项目达到可研达产预期收益或研
发目标前期间的 EOE 指标时，可剔除因发行证券募集资金对指标的影响；
    4.利润率为利润总额占营业收入的比例，计算公式为利润总额除以营业收入。


     在年度考核过程中对标企业样本若出现分立、并购、重组等重大变化、因非
正常原因及特殊因素出现财务指标异常或明显不可比、或出现偏离幅度过大的样
本极值，可由公司董事会适当调整对标样本。当外部产业环境、国际政治局势等
因素出现重大变化时，公司董事会有权对上述业绩考核指标进行调整和修改。
     2.个人绩效考核要求
     薪酬与考核委员会根据公司《绩效考核制度》对激励对象进行业绩考核并确
定考核结果，根据个人的绩效考评评价指标确定考评结果，原则上绩效评价结果
划分为 S、A、B、C、D 五个档次。考核评价表适用于考核对象。
                                   考核评价表
  考评结果         S           A           B        C           D
  标准系数      1.0         1.0            1.0      0.5         0

    个人当年实际行权额度＝标准系数×个人当年计划行权额度。
    若激励对象上一年度个人绩效考核评级为 S/A/B/C，则上一年度激励对象个
人绩效考核“合格”，激励对象可按照本激励计划规定的标准系数行权，当期未
行权部分由公司注销；若激励对象上一年度个人绩效考核结果为 D，则上一年度
激励对象个人绩效考核“不合格”，公司将按照本激励计划的规定，取消该激励
对象当期行权额度，由公司注销。

    六、考核期间与次数
    （一）考核期间
    授予考核期间为激励对象股票期权获授的前一会计年度及公司授予业绩考
核相应年度；行权考核期间为激励对象股票期权行权的前一会计年度及公司行权
业绩考核相应会计年度。
    （二）考核次数
    本次激励计划考核期间每年度一次。

    七、考核程序
    公司人力资源部在董事会薪酬与考核委员会的指导下负责具体的考核工作，
并出具绩效考核报告上交董事会薪酬与考核委员会。

    八、考核结果管理
    （一）考核结果反馈与申诉
    考核对象有权了解自己的考核结果，员工直接主管应在考核工作结束后 5
个工作日内将考核结果通知被考核对象。
    如果考核对象对自己的考核结果有异议，可与人力资源部沟通解决。如无法
沟通解决，被考核对象可向薪酬与考核委员会申诉，薪酬与考核委员会需在 10
个工作日内进行复核并确定最终考核结果或等级。
    （二）考核结果归档
    考核结束后，考核结果作为保密资料归档保存。

    九、附则
    （一）本办法由董事会负责制订、解释及修订。
（二）本办法经公司股东大会审议通过并自股权激励计划生效后实施。




                                  北方华创科技集团股份有限公司
                                              董事会
                                         2022 年 6 月 12 日