| 公告日期 | 备忘事项 | 事件类型 | 详细 |
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| 2025-02-18 | 关于向全资子公司增资并参与设立北京集成电路装备产业投资并购二期基金暨关联交易的进展公告 | 深交所公告，关联交易,投资设立(参股)公司,投资项目 |
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| 2025-01-28 | 关于高级管理人员减持计划期限届满暨实施结果的公告 | 深交所公告，股本变动 |
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| 2025-01-14 | 2024年度业绩预告 | 深交所公告，业绩预测 |
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| 2024-12-31 | 拟披露年报 ，2025-04-26 | 拟披露年报 |
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| 2024-12-27 | 第八届董事会第十九次会议决议公告 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-12-17 | 第八届董事会第十八次会议决议公告 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-12-04 | 关于被美国商务部列入实体清单的公告 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-11-22 | 2024年第二次临时股东大会决议公告 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-11-07 | 关于控股股东国有股权无偿划转终止的公告 | 深交所公告，股东名单,股权转让 |
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| 2024-11-06 | 召开2024年度第2次临时股东大会 ，2024-11-21 | 召开股东大会，临时股东大会 |
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| 2024-11-06 | 关于召开2024年第二次临时股东大会的通知 | 深交所公告，日期变动 |
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| 2024-11-05 | 关于2024年股票期权激励计划授予登记完成公告 | 深交所公告，股本变动 |
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| 2024-10-30 | 2024年三季度报告 | 刊登季报 |
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| 2024-10-15 | 2024年前三季度业绩预告 | 深交所公告，业绩预测 |
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| 2024-10-12 | 关于公司部分高级管理人员减持股份的预披露公告 | 深交所公告，股本变动 |
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| 2024-10-10 | 关于归还暂时补充流动资金的闲置募集资金的公告 | 深交所公告，投资项目,委托理财 |
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| 2024-10-08 | 关于控股股东拟发生变更暨国有股权无偿划转的后续进展公告 | 深交所公告，股东名单,股权转让 |
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| 2024-09-30 | 拟披露季报 ，2024-10-30 | 拟披露季报 |
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| 2024-09-20 | 2024年度第一次临时股东大会决议公告 | 深交所公告 |
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| 2024-09-13 | 监事会关于2024年股票期权激励计划激励对象名单的审核意见及公示情况说明 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-09-05 | 关于控股股东拟发生变更暨国有股权无偿划转的后续进展公告 | 深交所公告，股东名单,股权转让 |
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| 2024-08-31 | 召开2024年度第1次临时股东大会 ，2024-09-19 | 召开股东大会，临时股东大会 |
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| 2024-08-31 | 关于召开2024年度第一次临时股东大会的通知 | 深交所公告，日期变动 |
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| 2024-08-28 | 2024年半年度报告摘要 | 刊登中报，其它 |
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| 2024-08-14 | 关于公司职工监事辞职及补选职工监事的公告 | 深交所公告，高管变动 |
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| 2024-08-06 | 第八届董事会第十三次会议决议公告 | 深交所公告，基本资料变动 |
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| 2024-07-16 | 关于2022年股票期权激励计划首次授予部分第一个行权期采用自主行权模式的提示性公告 | 深交所公告，股本变动 |
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| 2024-07-12 | 2024年半年度业绩预告 | 深交所公告，业绩预测 |
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| 2024-07-06 | 第八届董事会第十二次会议决议公告 | 深交所公告，其它 |
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| 2024-06-28 | 拟披露中报 ，2024-08-28 | 拟披露中报 |
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| 2024-06-27 | 2023年年度分红，10派7.800000000(含税)，税后10派7.800000登记日 ，2024-07-03 | 登记日，分配方案 |
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| 2024-06-27 | 2023年年度分红，10派7.800000000(含税)，税后10派7.800000除权日 ，2024-07-04 | 除权除息日，分配方案 |
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| 2024-06-27 | 2023年年度分红，10派7.800000000(含税)，税后10派7.800000红利发放日 ，2024-07-04 | 红利发放日，分配方案 |
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| 2024-06-27 | 2023年度权益分派实施公告 | 深交所公告，分配方案,股本变动 |
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