海通证券股份有限公司
关于中微半导体设备（上海）股份有限公司
2019 年度持续督导跟踪报告
保荐机构名称：海通证券股份有限公司 被保荐公司简称：中微公司
保荐代表人姓名：吴志君、姜诚君 被保荐公司代码：688012
经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备（上海）股份有限公
司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]1168 号）核准，中微半导体
设备（上海）股份有限公司（以下简称“上市公司”、“公司”或“中微公司”）首次
公开发行股票 5,348.62 万股，每股面值人民币 1 元，每股发行价格人民币 29.01
元，募集资金总额为人民币 155,163.54 万元，扣除发行费用人民币 10,593.26 万
元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币 144,570.28 万元。本次发行证
券已于 2019 年 7 月 22 日在上海证券交易所科创板上市，海通证券股份有限公司
（以下简称“保荐机构”或“海通证券”）担任其持续督导保荐机构。
在 2019 年 7 月 22 日至 2019 年 12 月 31 日持续督导期内（以下简称“本持续
督导期间”），保荐机构及保荐代表人按照《证券发行上市保荐业务管理办法》（以
下简称“保荐办法”）《科创板上市公司持续监管办法（试行）》《上海证券交易所
科创板股票上市规则（2019 年 4 月修订）》以及《上海证券交易所上市公司持续
督导工作指引》等相关规定，通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等
方式进行持续督导，现就 2019 年度持续督导情况报告如下：
一、2019 年保荐机构持续督导工作情况
项 目 工作内容
1、建立健全并有效执行持续督导工作制度， 保荐机构已建立健全并有效执行持续督导
并针对具体的持续督导工作制定相应的工 工作制度，并针对具体的持续督导工作制定
作计划。 相应的工作计划。
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项 目 工作内容
2、根据中国证监会相关规定，在持续督导
工作开始前，与上市公司或相关当事人签署
持续督导协议，明确双方在持续督导期间的 保荐机构已与上市公司签署了保荐协议，协
权利义务，并报上海证券交易所备案。持续 议明确了双方在持续督导期间的权利和义
督导期间，协议相关方对协议内容做出修改 务，并已报上海证券交易所备案。本持续督
的，应于修改后五个工作日内报上海证券交 导期间，未发生对协议内容做出修改或终止
易所备案。终止协议的，协议相关方应自终 协议的情况。
止之日起五个工作日内向上海证券交易所
报告，并说明原因。
3、持续督导期间，按照有关规定对上市公
司违法违规事项公开发表声明的，应于披露 本持续督导期间，上市公司未发生需公开发
前向上海证券交易所报告，并经审核后在指 表声明的违法违规事项。
定媒体上公告。
4、持续督导期间，上市公司或相关当事人
出现违法违规、违背承诺等事项的，应自发 本持续督导期间，上市公司及相关当事人未
现或应当发现之日起五个工作日内向上海 出现需报告的违法违规、违背承诺等事项。
证券交易所报告。
本持续督导期间，保荐机构通过日常沟通、
定期或不定期回访、现场检查、尽职调查等
5、通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽
方式，对上市公司开展持续督导工作。其中，
职调查等方式开展持续督导工作。
保荐机构于 2019 年 12 月 26 日对上市公司
进行了现场检查。
保荐机构持续督促、指导上市公司及其董
6、督导上市公司及其董事、监事、高级管理
事、监事、高级管理人员，本持续督导期间，
人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券
上市公司及其董事、监事、高级管理人员能
交易所发布的业务规则及其他规范性文件，
够遵守相关法律法规的要求，并切实履行其
并切实履行其所做出的各项承诺。
所做出的各项承诺。
7、督导上市公司建立健全并有效执行公司 核查了上市公司治理制度建立与执行情况，
治理制度，包括但不限于股东大会、董事会、 上市公司《公司章程》、三会议事规则等制
监事会议事规则以及董事、监事和高级管理 度符合相关法规要求，本持续督导期间，上
人员的行为规范等。 市公司有效执行了相关治理制度。
8、督导上市公司建立健全并有效执行内控
制度，包括但不限于财务管理制度、会计核 核查了上市公司内控制度建立与执行情况，
算制度和内部审计制度，以及募集资金使 上市公司内控制度符合相关法规要求，本持
用、关联交易、对外担保、对外投资、衍生 续督导期间，上市公司有效执行了相关内控
品交易、对子公司的控制等重大经营决策的 制度。
程序与规则等。
9、督导上市公司建立健全并有效执行信息
保荐机构督促上市公司严格执行信息披露
披露制度，审阅信息披露文件及其他相关文
制度，审阅信息披露文件及其他相关文件，
件，并有充分理由确信上市公司向上海证券
详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审
交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性
阅的情况”。
陈述或重大遗漏。
2
项 目 工作内容
10、对上市公司的信息披露文件及向中国证
监会、上海证券交易所提交的其他文件进行
事前审阅，对存在问题的信息披露文件应及 详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审
时督促上市公司予以更正或补充，上市公司 阅的情况”。
不予更正或补充的，应及时向上海证券交易
所报告。
11、对上市公司的信息披露文件未进行事前
审阅的，应在上市公司履行信息披露义务后
五个交易日内，完成对有关文件的审阅工 详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审
作，对存在问题的信息披露文件应及时督促 阅的情况”。
上市公司更正或补充，上市公司不予更正或
补充的，应及时向上海证券交易所报告。
12、关注上市公司或其控股股东、实际控制
本持续督导期间，上市公司或其控股股东、
人、董事、监事、高级管理人员受到中国证
实际控制人、董事、监事、高级管理人员未
监会行政处罚、上海证券交易所纪律处分或
受到中国证监会行政处罚、上海证券交易所
者被上海证券交易所出具监管关注函的情
纪律处分或者被上海证券交易所出具监管
况，并督促其完善内部控制制度，采取措施
关注函的情况。
予以纠正。
13、关注上市公司及控股股东、实际控制人
等履行承诺的情况，上市公司及控股股东、 本持续督导期间，上市公司及控股股东、实
实际控制人等未履行承诺事项的，保荐人应 际控制人等不存在未履行承诺的情况。
及时向上海证券交易所报告。
14、关注公共传媒关于上市公司的报道，及
时针对市场传闻进行核查。经核查后发现上
市公司存在应披露未披露的重大事项或与
本持续督导期间，上市公司未出现该等事
披露的信息与事实不符的，保荐人应及时督
项。
促上市公司如实披露或予以澄清；上市公司
不予披露或澄清的，应及时向上海证券交易
所报告。
15、在持续督导期间发现以下情形之一的，
保荐人应督促上市公司做出说明并限期改
正，同时向上海证券交易所报告：
（一）上市公司涉嫌违反《上市规则》等上
海证券交易所相关业务规则；
（二）证券服务机构及其签名人员出具的专
本持续督导期间，上市公司及相关主体未出
业意见可能存在虚假记载、误导性陈述或重
现该等事项。
大遗漏等违法违规情形或其他不当情形；
（三）上市公司出现《保荐办法》第六十七
条、第六十八条规定的情形；
（四）上市公司不配合保荐人持续督导工
作；
（五）上海证券交易所或保荐人认为需要报
3
项 目 工作内容
告的其他情形。
16、制定对上市公司的现场检查工作计划， 保荐机构制定了对上市公司的现场检查工
明确现场检查工作要求，确保现场检查工作 作计划，明确现场检查工作要求。保荐机构
质量。保荐人对上市公司的定期现场检查每 于 2019 年 12 月 26 日对上市公司进行了现
年不应少于一次，负责该项目的两名保荐代 场检查，负责该项目的两名保荐代表人有一
表人至少应有一人参加现场检查。 人参加了现场检查。
17、上市公司出现以下情形之一的，保荐人
应自知道或应当知道之日起十五日内或上
海证券交易所要求的期限内，对上市公司进
行专项现场检查：（一）控股股东、实际控制
人或其他关联方非经营性占用上市公司资
金；（二）违规为他人提供担保；（三）违规 本持续督导期间，上市公司未出现该等事
使用募集资金；（四）违规进行证券投资、套 项。
期保值业务等；（五）关联交易显失公允或
未履行审批程序和信息披露义务；（六）业
绩 出 现 亏损 或 营业 利 润比 上 年 同期 下 降
50%以上；（七）上海证券交易所要求的其他
情形。
保荐机构对上市公司募集资金的专户存储、
募集资金的使用以及投资项目的实施等承
18、持续关注上市公司建立募集资金专户存
诺事项进行了持续关注，督导公司执行募集
储制度与执行情况、募集资金使用情况、投
资金专户存储制度及募集资金监管协议，并
资项目的实施等承诺事项。
出具关于募集资金存放与使用情况的专项
核查报告。
2019 年度，保荐机构发表核查意见具体情
况如下：
2019 年 12 月 26 日，保荐机构发表《海通
证券股份有限公司关于中微半导体设备（上
海）股份有限公司 2019 年度持续督导工作
现场检查报告》；
2019 年 12 月 3 日，保荐机构发表《海通证
券股份有限公司关于中微半导体设备（上
海）股份有限公司使用募集资金置换预先投
19、保荐机构发表核查意见情况。
入的自筹资金的核查意见》；
2019 年 8 月 21 日，保荐机构发表《海通证
券股份有限公司关于中微半导体设备（上
海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现
金管理的核查意见》；
2019 年 8 月 21 日，保荐机构发表《海通证
券股份有限公司关于中微半导体设备（上
海）股份有限公司对外投资暨关联交易的核
查意见》；
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项 目 工作内容
2019 年 8 月 21 日，保荐机构发表《海通证
券股份有限公司关于中微半导体设备（上
海）股份有限公司 2019 年度预计日常关联
交易的核查意见》。
二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的情况
海通证券持续督导人员对上市公司本持续督导期间的信息披露文件进行了
事先或事后审阅，包括股东大会会议决议及公告、董事会会议决议及公告、监事
会会议决议及公告、募集资金使用和管理的相关报告和其他临时公告等文件，对
信息披露文件的内容及格式、履行的相关程序进行了检查。
经核查，保荐机构认为，上市公司严格按照证券监督部门的相关规定进行信
息披露，依法公开对外发布各类定期报告或临时报告，确保各项重大信息的披露
真实、准确、完整、及时，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
三、保荐机构和保荐代表人发现的问题及整改情况
无。
四、重大风险事项
公司目前面临的风险因素主要如下：
（一）研发投入不足导致技术被赶超或替代的风险
公司所处的半导体设备行业属于技术密集型行业，半导体关键设备的研发涉
及等离子体物理、射频及微波学、结构化学、微观分子动力学、光谱及能谱学、
真空机械传输等多种科学技术及工程领域学科知识的综合应用，具有产品技术升
级快、研发投入大、研发周期长、研发风险高等特点。
国外领先的半导体设备公司均存在大额研发投入，根据海外公司公告的
2019 年年度报告，应用材料研发投入超 20 亿美元，泛林半导体研发投入超 10 亿
美元，维易科研发投入近 1 亿美元。
2019 年公司研发投入 4.25 亿元，约占营业收入 21.81%。虽然占比较高，但
总额仍与国外领先的半导体公司有很大差距。如果公司未来研发资金投入不足，
5
不能满足技术升级需要，可能导致公司技术被赶超或替代的风险，对当期及未来
的经营业绩产生不利影响。
（二）关键技术人员流失、顶尖技术人才不足的风险
关键技术人员是公司生存和发展的关键，也是公司获得持续竞争优势的基础。
公司已经通过全员持股方式，有效提高了关键技术人员和研发团队的忠诚度和凝
聚力，但随着半导体设备行业对专业技术人才的需求与日俱增，人才竞争不断加
剧，若公司不能提供更好的发展平台、更有竞争力的薪酬待遇及良好的研发条件，
存在关键技术人员流失的风险。
公司通过员工持股安排等措施保证核心技术人员的稳定性，但公司仍存在核
心技术人员流失的风险。公司核心技术人员的流失将可能对公司研发项目的实施
和进程等方面造成一定的影响。
公司拥有大量技术和管理资深专家，集聚并培养了一大批行业内顶尖的技术
人才。但如果未能持续引进、培养、激励顶尖技术人才，公司将面临顶尖技术人
才不足的风险，进而可能导致在技术突破、产品创新方面有所落后。
除此外，尹志尧及其团队作为公司的创始人团队，对公司日常生产经营及技
术研发具有重要作用，公司十分注重保障创始人团队的稳定性，创始人团队在可
预期的未来发生变动的可能性较低，但如公司创始人团队出现重大变动，将可能
对公司的在研项目进程、客户关系维护、日常经营管理等方面造成一定的影响。
（三）下游客户资本性支出波动较大及行业周期性特点带来的经营风险
近年来，全球半导体设备市场持续周期性波动态势给公司带来相应的经营风
险。在行业景气度提升过程中，产业往往加大资本性支出，快速提升对相关设备
的需求；在行业景气度下降过程中，半导体产业则可能削减资本支出，进而对半
导体设备的需求产生不利影响。
公司的销售和盈利情况也会受到上述影响发生相应波动，造成相应的经营风
险。
（四）下游客户扩产不及预期的风险
6
近年来，在持续旺盛的下游市场需求的推动下，晶圆厂和 LED 芯片制造商
扩产积极，景气程度向设备类公司传导，刻蚀设备、MOCVD 设备行业整体呈现
快速增长态势。但不能排除下游个别晶圆厂和 LED 芯片制造商的后续投资不及
预期，对相关设备的采购需求减弱，这将影响公司的订单量，进而对公司的业绩
产生不利影响。
（五）公司规模扩张带来的管理和内控风险
公司在发展过程中建立了符合公司自身业务特点的经营模式以及较为完善
的法人治理结构，培养了具有先进理念、开阔视野和丰富管理经验的管理团队，
建立了较为完整的管理制度。随着公司资产、业务、机构和人员的规模扩张，研
发、采购、生产、销售等环节的资源配置和内控管理的复杂度不断上升，对公司
的组织架构和经营管理能力提出了更高要求，不排除公司内控体系和管理水平不
能适应公司规模快速扩张的可能性。因此，公司存在规模扩张导致的管理和内部
控制风险。
（六）知识产权争议风险
半导体设备行业是典型的技术密集型行业，为了保持技术优势和竞争力，防
止技术外泄风险，已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式
设置较高的进入壁垒。公司一贯重视自主知识产权的研发，建立了科学的研发体
系及知识产权保护体系，但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷，亦不能排
除公司的知识产权被侵权，此类知识产权争端将对公司的正常经营活动产生不利
影响。
公司在全球范围内销售产品，在多个国家或地区注册知识产权，但不同国别、
不同的法律体系对知识产权的权利范围的解释和认定存在差异，若引发争议甚至
诉讼将影响业务经营。
此外，产业链上下游供应商与客户的经营也可能受知识产权争议、诉讼等因
素影响，进而间接影响公司正常的生产经营。
（七）市场竞争风险
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目前国内半导体设备市场主要由欧美、日本等国家和地区的国际知名企业所
占据。近年来随着我国对集成电路及装备业的重视程度和支持力度的持续增加，
我国半导体设备行业技术水平不断提高，国产设备在产品性价比、售后服务、地
缘等方面的优势逐渐显现。我国半导体设备厂商的逐步崛起，可能引起竞争对手
的重视，使得竞争加剧。半导体设备市场的快速增长以及我国市场的进口替代预
期，还将吸引更多的潜在进入者。因此，公司面临市场竞争加剧的风险。
（八）疫情风险
受疫情影响，全球经济面临较大下行压力，国内行业的健康发展也受到严重
影响；疫情爆发对半导体行业上下游的影响仍在持续，市场对公司所处行业上下
游的影响也传递至公司，对公司的经营造成一定影响。
除上述事项外，公司不存在其他重大风险事项。
五、重大违规事项
2019 年度，公司不存在重大违规事项。
六、主要财务指标的变动原因及合理性
2019 年度，公司主要财务数据及指标如下所示:
增减变动幅度
主要会计数据 2019 年度 2018 年度
（%)
营业收入（万元） 194,694.93 163,928.83 18.77%
归属于上市公司股东的净利润（万元） 18,856.42 9,086.92 107.51%
归属于上市公司股东的扣除非经常性损益
14,753.93 10,428.31 41.48%
的净利润（万元）
经营活动产生的现金流量净额（万元） 13,327.10 26,110.71 -48.96%
增减变动幅度
主要会计数据 2019 年度 2018 年度
（%)
归属于上市公司股东的净资产（万元） 375,107.70 211,640.58 77.24%
总资产（万元） 477,405.43 353,267.90 35.14%
增减变动幅度
主要财务指标 2019 年度 2018 年度
（%）
8
基本每股收益（元/股） 0.37 0.20 85.00%
稀释每股收益（元/股） 0.37 0.20 85.00%
扣除非经常性损益后的基本每股收益（元/
0.29 0.23 26.09%
股）
减少 0.77 个百
加权平均净资产收益率（%） 6.71 7.48
分点
扣除非经常性损益后的加权平均净资产收 减少 3.33 个百
5.25 8.58
益率（%） 分点
减少 2.84 个百
研发投入占营业收入的比例（%） 21.81 24.65
分点
上述主要财务指标的变动原因如下：
公司主要为集成电路、LED 芯片、MEMS 等半导体产品的制造企业提供刻
蚀设备、MOCVD 设备及其他设备。2019 年，公司整体发展态势良好，依托公司
在上述设备领域领先的技术优势以及良好的客户基础，公司业务规模不断扩大，
销售收入稳定增长。
归属于母公司所有者的净利润较上年同期增长 107.51%，归属于母公司所有
者的扣除非经常性损益的净利润较上年同期增长 41.48%，主要原因为本期营业
收入的增长和股份支付费用的减少，以及本期研发费用加计扣除增加等因素导致
本期所得税费用减少。
七、核心竞争力的变化情况
公司主要从事半导体设备的研发、生产和销售，通过向全球集成电路和 LED
芯片制造商提供极具竞争力的高端设备和高质量服务，为全球半导体制造商及其
相关的高科技新兴产业公司提供加工设备和工艺技术解决方案，助力他们提升技
术水平、提高生产效率、降低生产成本。公司基于在半导体制造设备产业多年积
累的专业技术，涉足半导体集成电路制造、先进封装、LED 生产、MEMS 制造
以及其他微观工艺的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新。
公司的等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和
5 纳米的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。公司的 MOCVD 设备在行
业领先客户的生产线上大规模投入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先
地位的氮化镓基 LED 设备制造商。
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经过多年的发展，公司形成了较强的创始人及技术团队优势、研发优势、客
户认证及服务优势、全球化采购体系优势、产品性价比优势、产品覆盖优势、公
司运营成本优势等核心竞争优势，构成公司核心竞争力。
2019 年度，公司继续深耕半导体微观加工领域，在该领域持续开展技术研
发和产品开发，持续保持原有竞争优势。此外，公司 2019 年首次公开发行股票
并在科创板上市，进一步增强了公司在资本实力及融资渠道方面的优势。
综上，2019 年度，公司核心竞争力未发生不利变化。
八、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出及变化情况
公司自成立以来，一直专注于刻蚀设备和 MOCVD 设备的自主研发和创新。
2019 年度，公司研发投入为 42,457.24 万元，占营业收入的比重达到 21.81%，持
续保持高研发投入，但总额仍与国外领先的半导体公司仍有较大差距。如果公司
未来研发资金投入不足，不能满足技术升级需要，可能导致公司技术被赶超或替
代的风险，对当期及未来的经营业绩产生不利影响。
（二）研发进展
2019 年度，公司各在研项目如期开展，进展正常，并取得相应的研发成果。
1、重要奖项
2019 年，在美国领先的半导体产业咨询公司 VLSI Research 对全球半导体设
备公司的“客户满意度”调查和评比中，中微公司综合评分保持全球第三，并在芯
片制造设备专业型供应商和专用芯片制造设备供应商评比中均名列第二，同时，
全球晶圆制造设备商评级为五星级公司仅有五家，中微公司是其中之一。
2019 年公司还获得的主要奖项明细如下：
序
时间 奖项名称 授予方
号
集成电路产业技术创新战略
1 2019 年 2 月 第二届集成电路产业技术创新奖
联盟
2018 年度中国半导体设备行业十强单
2 2019 年 5 月 中国电子专用设备协会
位
10
序
时间 奖项名称 授予方
号
2018 年度中国电子专用设备行业十强
3 2019 年 5 月 中国电子专用设备协会
单位
全国工业机械电气系统行业标准化先 全国工业机械电气系统标准
4 2019 年 7 月
进集体 化委员会
2019 年 10 上海市人民政府和世界知识
5 上海市知识产权创新奖
月 产权组织
2019 年 11 工业和信息化部、中国工业
6 制造业单项冠军产品
月 经济联合会
2019 年 11 国家半导体照明工程研发及
7 品牌力量奖
月 产业联盟组委会
2019 年 12
8 2019 年度品牌奖（设备类） 高工产业研究院
月
2、承担的重大科研项目
公司研发实力突出，承担了多项国家科技重大专项及其他多项重大科研项目，
公司主要的研发项目情况如下：
序 项目负
项目类别 重大科研项目名称 项目时间
号 责人
65-45nm 介质刻蚀机研发与产
1 国家科技重大专项 尹志尧 2009.1-2012.7
业化
上海市高新技术产业 高端 MOCVD 设备研发及产业
2 杜志游 2010.8-2013.12
化重大项目计划 化
32-22nm 介质刻蚀机研发与产
3 国家科技重大专项 倪图强 2011.1-2014.9
业化
2012 年度上海市战
4 450mm 大尺寸刻蚀机研发 麦仕义 2013.1-2015.12
略性新兴产业项目
22-14 纳米介质刻蚀机开发及关
5 国家科技重大专项 麦仕义 2013.1-2016.12
键零部件国产化
14-7 纳米介质刻蚀机研发及产
6 国家科技重大专项 倪图强 2016.1-至今
业化
7 国家科技重大专项 刻蚀工艺零部件验证与应用 雷仲礼 2017.1-至今
上海市战略性新兴产 等离子体刻蚀、MOCVD 等高
8 尹志尧 2019.1-至今
业重大项目 端半导体装备的研发和产业化
公司拥有多项自主知识产权和核心技术，截至 2019 年 12 月 31 日，公司已
申请 1,468 项专利，其中发明专利 1,297 项；已获授权专利 1,015 项，其中发明
专利 859 项。
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九、新増业务进展是否与前期信息披露一致
不适用。
十、募集资金的使用情况及是否合规
截至 2019 年 12 月 31 日，公司本年度使用募集资金金额为人民币 32,807.01
万元，累计已使用募集资金金额为人民币 32,807.01 万元，本年度收到募集资金
利息扣除手续费净额为 618.01 万元，累计收到募集资金利息收入扣减手续费净
额为人民币 618.01 万元，募集资金余额为人民币 114,191.69 万元，其中用于现
金管理金额为 100,000.00 万元。
截至 2019 年 12 月 31 日，公司募集资金专户余额为人民币 14,191.69 万元
（含募集资金利息收入扣减手续费净额），具体情况如下：
项目 金额（万元）
本期收到净募集资金金额 146,380.69
减：本年度直接投入募投项目 -30,376.60
本年度支付发行费用及增值税税金 -2,430.41
加：募集资金利息收入扣减手续费净额 618.01
减：用于现金管理金额 100,000.00
募集资金专户期末余额 14,191.69
2019 年 8 月 20 日，公司第一届董事会第五次会议及第一届监事会第二次会
议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意在不影响募集资
金项目建设和募集资金使用的情况下，拟使用额度不超过 100,000 万元闲置募集
资金进行现金管理，通过结构性存款等存款方式或购买安全性高、流动性好、一
年以内的短期保本型理财产品等方式进行现金管理，投资产品的期限不超过 12
个月，使用期限为自董事会审议通过之日起不超过 12 个月，在决议有效期内本
公司可在不超过上述额度及决议有效期内循环滚动使用。
针对上述事项，海通证券出具了《海通证券股份有限公司关于中微半导体设
备（上海）股份有限公司使用闲置募集资金进行现金管理的核查意见》。
2019 年 12 月 3 日，公司第一届董事会第七次会议和第一届监事会第四次会
议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司
12
使用本次发行募集资金置换预先投入的自筹资金合计人民币 11,058.94 万元，其
中预先投入到募投项目的自筹资金为 9,037.74 万元，预先支付发行费用的自筹资
金为 2,021.20 万元。
针对上述事项，普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）出具了《中微
半导体设备（上海）股份有限公司截至 2019 年 9 月 30 日止以自筹资金预先投入
募集资金投资项目情况报告及鉴证报告》普华永道中天特审字[2019]第 3116 号），
海通证券出具了《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有限
公司使用募集资金置换预先投入的自筹资金的核查意见》。
经核查，公司 2019 年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科
创板股票上市规则（2019 年 4 月修订）》、《上海证券交易所上市公司募集资金管
理办法（2013 年修订）》、公司《募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规
定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，
募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和
损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。
十一、控股股东、实际控制人、董事、监事、高级管理人员和核心技术人员
的持股、质押、冻结及减持情况
截至 2019 年 12 月 31 日，公司无控股股东、实际控制人，公司董事、监事、
高级管理人员和核心技术人员直接持有公司股份的情况如下：
姓名 职务 持股数（股） 持股比例
尹志尧 董事长、总经理 6,200,266 1.29%
杜志游 董事、副总经理 2,331,436 0.48%
倪图强 副总经理 1,274,358 0.26%
陈伟文 副总经理、财务负责人 1,162,842 0.24%
麦仕义 副总裁 2,341,106 0.49%
杨伟 副总裁 1,116,033 0.23%
李天笑 副总裁 2,076,657 0.43%
截至 2019 年 12 月 31 日，公司董事、监事、高级管理人员和核心技术人员
通过持有南昌智微、中微亚洲、Grenade、Bootes、Futago、励微投资及悦橙投资、
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创橙投资、亮橙投资、橙色海岸出资额而间接持有公司股份，具体情况如下：
姓名 身份 间接持股平台 持股情况
董事长、总经 持有 Grenade 174,277 股股份，持有
尹志尧 理、 Grenade、Futago Futago 6,875 股股份，对中微公司间接持
核心技术人员 股比例合计 0.0411%
悦橙投资、创橙投 兴橙投资为悦橙投资、创橙投资、亮橙
张亮 董事 资、亮橙投资、橙色 投资、橙色海岸的普通合伙人，张亮对
海岸 兴橙投资出资比例为 49%
持有南昌智微 222,636 元出资额及励微
王志军 监事 南昌智微、励微投资 投资 3,000 元出资额，对中微公司间接
持股比例合计 0.0525%
中微开曼对中微亚洲出资比例为
100%，朱新萍持有中微开曼 1,574,258
朱新萍 副总经理 中微亚洲
股股份。对中微公司间接持股比例为
0.3709%
刘晓宇持有南昌智微 592,275 元出资额
刘晓宇 董事会秘书 南昌智微 及励微投资 9,000 元出资额，对中微公
司间接持股比例合计 0.1417%
麦仕义家族通过 The Steve and Yvonne
Mak Family Trust Dated March 29, 1996
麦仕义 核心技术人员 Futago
持有 Futago 125,000 股股份，对中微公
司间接持股比例为 0.0294%
除上述人员外，公司其他董事、监事、高级管理人员和核心技术人员未直接
或者间接持有公司股份。2019 年度，上述人员的持股数量未发生增减变化，公司
董事、监事、高级管理人员和核心技术人员持有的股份均不存在质押、冻结及减
持的情形。
十二、上市公司是否存在《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应向
中国证监会和上海证券交易所报告的事项
经核查，上市公司不存在《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应向
中国证监会和上海证券交易所报告的事项。
（以下无正文）
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（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于中微半导体设备（上海）股份有
限公司 2019 年度持续督导跟踪报告》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
吴志君 姜诚君
海通证券股份有限公司
年 月 日
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