中微半导体设备（上海）股份有限公司
   2020 年限制性股票激励计划激励对象名单（调整后）


一、限制性股票激励计划的分配情况表
                                                                     占本激励
                                              获授限制   占授予限
                                                                     计划公告
      姓名           国籍          职务       性股票数   制性股票
                                                                     日股本总
                                              量(万股)   总数比例
                                                                       额比例

  一、董事、高级管理人员

         /            /             /            /           /           /

  二、核心技术人员

   James Wei
                     美国      核心技术人员    4.6000     0.575%      0.009%
  Yang（杨伟）
     Steven
  Tianxiao Lee       美国      核心技术人员    3.6000     0.450%      0.007%
  （李天笑）
     Steve
  Sze-Yee Mak        美国      核心技术人员    1.8000     0.225%      0.003%
  （麦仕义）

                     小计                      10.0000    1.250%      0.019%

  三、其他激励对象

  董事会认为需要激励的其他人员（697 人）      660.0000    82.500%     1.234%

  首次授予限制性股票数量合计                     670      83.750%     1.253%

  三、预留部分                                   130      16.250%     0.243%

  合计                                          800        100%       1.496%

   注：1.预留部分激励对象名单将在 2020 年限制性股票激励计划经公司股东大会审议通

过后一年内确定。

         2.上表中部分合计数与各明细数直接相加之和在尾数上如有差异，是由于四舍五入

所造成。
二、董事会认为需要激励的其他人员情况
                                                                占本激励计
    激励对象                    获授限制性股票   占授予限制性
                 激励对象人数                                   划公告日股
         职务                    数量（万股）    股票总数比例
                                                                本总额比例

  中层管理人员       115           257.4172        32.177%        0.481%

  技术骨干           239           167.9424        20.993%        0.314%

  业务骨干           187           138.4605        17.308%        0.259%

  专业人员           120            86.0795        10.760%        0.161%

  优秀基层员工        36            10.1004         1.263%        0.019%

  小计               697           660.0000        82.500%        1.234%




                                中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                         2020 年 6 月 5 日