中微半导体设备（上海）股份有限公司
      2020 年限制性股票激励计划预留授予激励对象名单
                                   （截止至授予日）


一、限制性股票激励计划预留授予部分激励对象人员情况及授予情况
                                                                                占本激励
                                                 获授限制性      占授予限制
                                                                                计划公告
                   激励对象                      股票数量        性股票总数
                                                                                日股本总
                                                   (万股)          比例
                                                                                  额比例

  董事会认为需要激励的其他人员（188 人）             103.989      12.9986%       0.1944%

                      合计                           103.989      12.9986%       0.1944%

注：1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票均未超过公司总股本
的 1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不超过股权激励计划提交股东大会时公
司股本总额的 20%；
    2、本计划激励对象不包括独立董事、监事、单独或合计持有上市公司 5%以上股份的股东、上市公司
实际控制人及其配偶、父母、子女。

二、董事会认为需要激励的其他人员情况
                                                                              占本激励计
      激励对象                         获授限制性股票      占授予限制性
                     激励对象人数                                             划公告日股
          职务                          数量（万股）       股票总数比例
                                                                              本总额比例

   中层管理人员               7             25.1110            3.1389%         0.0469%

   技术骨干                   83            42.0443            5.2555%         0.0786%

   业务骨干                   27            11.6580            1.4573%         0.0218%

   专业人员                   25            16.0302            2.0038%         0.0300%

   优秀基层员工               46            9.1455             1.1432%         0.0171%

   小计                      188           103.9890            12.9987%        0.1944%




                                       中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                                    2020 年 11 月 6 日