中微半导体设备（上海）股份有限公司 第二轮审核问询函的回复
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2. 关于资本性支出
请发行人结合同行业可比公司情况，说明预备费用作为资本性支出的原因，
是否符合行业惯例。
请会计师对发行人资本化研发支出的依据及非资本性支出的金额是否准确
核查并出具专项核查意见。
回复：
二、资本化研发支出的依据及非资本性支出的金额是否准确
（一）资本化研发支出的依据
公司本次募投项目中仅项目二“中微临港总部和研发中心项目”存在研发
支出资本化，该研发项目投入包括 7 项研发项目的支出，计划总投资
257,153.00 万元，拟使用募集资金 256,600.00 万元。公司根据以往项目经验和
各项支出的情况形成项目预算明细，具体如下：
拟投入募集资金
序号 类型 项目名称 预算明细 投资金额（万元）
（万元）
设备费 12,268.20 12,268.20
材料费 38,371.00 38,371.00
UD-RIE 刻 测试化验加工费 680.00 680.00
1 CCP 蚀设备的开
发及应用 差旅费 1,000.00 1,000.00
人工费 6,000.00 6,000.00
小计 58,319.20 58,319.20
设备费 11,770.44 11,770.44
材料费 31,788.00 31,788.00
SD-RIE 刻 测试化验加工费 680.00 680.00
2 CCP 蚀设备的开
发及应用 差旅费 960.00 960.00
人工费 5,100.00 5,100.00
小计 50,298.44 50,298.44
下一代单台 设备费 15,818.00 15,818.00
反 应器 ICP 材料费 26,822.00 26,822.00
3 ICP 刻 蚀 设 备
Nanova+ 的 测试化验加工费 1,410.00 1,410.00
开发及应用 差旅费 810.00 810.00
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拟投入募集资金
序号 类型 项目名称 预算明细 投资金额（万元）
（万元）
人工费 4,400.00 4,400.00
小计 49,260.00 49,260.00
设备费 3,050.30 3,050.30
下一代双台 材料费 9,780.00 9,780.00
反 应器 ICP
刻 蚀 设 备 测试化验加工费 720.00 720.00
4 ICP
Twin-Star+ 差旅费 850.00 850.00
的开发及应
用 人工费 3,070.00 3,070.00
小计 17,470.30 17,470.30
设备费 3,342.70 3,342.70
材料费 10,419.00 10,419.00
ALE 原子层 测试化验加工费 670.00 670.00
5 ICP 刻蚀设备的
研发 差旅费 640.00 640.00
人工费 3,000.00 3,000.00
小计 18,071.70 18,071.70
设备费 13,616.00 13,616.00
材料费 13,964.36 13,411.36
HPCVD 等
6 CVD 设备的研发 项目基础工程 1,000.00 1,000.00
及应用
人工费 8,000.00 8,000.00
小计 36,580.36 36,027.36
设备费 4,448.00 4,448.00
宽禁带功率 材料费 18,736.00 18,736.00
器件外延生 测试、联合开发等
7 MOCVD 1,850.00 1,850.00
长设备的研 费用
发 人工费 2,119.00 2,119.00
小计 27,153.00 27,153.00
合计 257,153.00 256,600.00
公司已建立和实施了一系列与研发投入相关的内控制度和流程，以此来保
证研发费用资本化会计政策的有效实施及一贯使用，具体的内控制度包括公司
的研发投入归集、核算政策、研发项目的跟踪管理系统、研发支出的人财物管
理机制、开支范围和标准、据实列支研发支出、研发支出的审批程序等。
同时，公司确认项目二“中微临港总部和研发中心项目”中资本化研发项
目投入金额时，将 2017 年至 2019 年期间的历史研发费用资本化率（三年累计
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研发费用资本化金额除以三年累计研发投入）45.68%作为预计未来资本化研发
支出的依据。
公司研发费用资本化的会计政策为：将研发内部研究开发项目支出分为研
究阶段支出和开发阶段支出。试制样机初步完成研制之前，为研究生产工艺而
进行的有计划的调查、评价和选择阶段的支出为研究阶段的支出，于发生时计
入当期损益；试制样机初步完成研制至大规模生产之前，针对生产工艺最终应
用的相关设计、测试阶段的支出为开发阶段的支出，予以资本化。开发阶段的
起点为 Alpha 机初步试制成功，机台的技术测试基本完成，取得“模拟生产线
寿命测试”报告。上述政策符合《企业会计准则第 6 号——无形资产》有关研
发费用资本化的规定。
于报告期内每期，中微公司与同行业公司北方华创研发投入资本化金额及
占比对比如下：
单位：万元
最近三年累
公司 项目 2019 年 2018 年 2017 年
计
资本化的研发投入 70,623.80 52,212.93 37,958.81 160,795.53
北方
研发投入 113,744.01 87,337.07 73,638.23 274,719.31
华创
研发投入资本化比例 62.09% 59.78% 51.55% 58.53%
资本化的研发投入 17,534.80 19,249.79 16,158.08 52,942.67
中微
研发投入 42,457.24 40,408.78 33,043.57 115,909.58
公司
研发投入资本化比例 41.30% 47.64% 48.90% 45.68%
如上表所示，随着公司研发投入项目数量及规模不断扩大，公司研发投入
资本化比例保持平稳，横向对比来看，公司研发投入资本化比例低于同行业公
司北方华创。
会计师执行了以下核查程序：
1、了解并测试了报告期内研究与开发管理相关内部控制流程；
2、访谈了公司管理层及研发负责人，获取了公司研发项目投入预算明细金
额及相关资料并核对一致，复核了历史研发费用资本化率计算是否准确。
经核查，会计师认为：
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报告期内，2017 年至 2019 年公司开发支出资本化项目分阶段费用化及资
本化金额归集准确、合理，本次募投项目研发费用资本化比例参考公司历史研
发费用资本化率确定，与历史费用资本化率一致。
（二）非资本性支出的金额
1、本次募投项目非资本性支出金额合计 487,474.95 万元，具体如下：
序号 项目 项目预算（万元） 非资本性支出金额（万元）
1 中微产业化基地建设项目 317,000.00 75,025.00
中微临港总部和研发中心
2 375,000.00 104,449.95
项目
3 科技储备资金 308,000.00 308,000.00
2、项目一“中微产业化基地建设项目”
中微产业化基地建设项目拟使用募集资金 317,000.00 万元。其中，以募集
资金投入的非资本性支出的金额合计 75,025.00 万元，为项目铺底流动资金，占
本次募集资金投资总额的比例为 7.50%。
本项目的非资本性支出为公司根据项目预测的应收账款、存货等经营性流
动资产以及应付账款等经营性流动负债进行测算项目运营期各年的流动资金，
运营期各年流动资金增加额合计的 12%至 13%估算铺底流动资金。
3、项目二“中微临港总部和研发中心项目”
中微临港总部和研发中心项目拟使用募集资金 375,000.00 万元。其中，以
募集资金投入的非资本性支出的金额合计 104,449.95 万元，占本次募集资金投
资总额的比例为 10.44%。
本项目的非资本性支出为费用化的研发投入，公司根据以往项目经验和各
项支出的情况形成项目预算明细以及历史研发费用资本化率估算费用化的研发
投入金额。
3、项目三“科技储备资金”
科技储备资金项目拟使用募集资金 308,000.00 万元，全部计入非资本性支
出。本项目的非资本性支出为用于未来新产品的协作研发投入以及投资并购储
备。具体项目情况请见本回复问题 1。
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会计师执行了以下核查程序：
1、与公司募投项目相关负责人进行了访谈，了解募投项目资金使用计划。
2、获得并查阅了经管理层批准的本次募投项目的投资明细构成、公司的可
行性分析等文件。
经核查，会计师认为：
公司本次拟使用募集资金用于非资本性支出的金额准确，公司本次募投项
目相关文件与已披露的信息相一致。
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