2021 年第一季度报告
公司代码：688012 公司简称：中微公司
中微半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年第一季度报告
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目录
一、 重要提示 ............................................................ 3
二、 公司基本情况 ........................................................ 3
三、 重要事项 ............................................................ 6
四、 附录 ................................................................ 9
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2021 年第一季度报告
一、 重要提示
1.1 公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证季度报告内容的真实、准确、完整，
不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
1.2 公司全体董事出席董事会审议季度报告。
1.3 公司负责人 GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧）、主管会计工作负责人陈伟文及会计机构负
责人（会计主管人员）陈伟文保证季度报告中财务报表的真实、准确、完整。
1.4 本公司第一季度报告未经审计。
二、 公司基本情况
2.1 主要财务数据
单位：元 币种：人民币
本报告期末比上年
本报告期末 上年度末
度末增减(%)
总资产 5,903,769,115.42 5,800,876,895.94 1.77%
归属于上市公司 4,560,409,861.49 4,369,057,694.76 4.38%
股东的净资产
年初至报告期末 上年初至上年报告期末 比上年同期增减(%)
经营活动产生的 -77,394,097.18 248,652,463.03 -131.13%
现金流量净额
年初至报告期末 上年初至上年报告期末 比上年同期增减
（%）
营业收入 603,346,870.60 412,585,985.95 46.24%
归属于上市公司 137,774,007.33 26,224,930.68 425.36%
股东的净利润
归属于上市公司 11,108,458.59 -6,193,811.95 不适用
股东的扣除非经
常性损益的净利
润
加权平均净资产 3.09% 0.70% 增加 2.39 个百分点
收益率（%）
基本每股收益 0.26 0.05 420.00%
（元/股）
稀释每股收益 0.26 0.05 420.00%
（元/股）
研发投入占营业 23.31% 17.52% 增加 5.79 个百分点
收入的比例（%）
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2021 年一季度营业收入较上年同期增长 46.24%，主要系：受益于市场行情及公司产品的竞
争优势，刻蚀设备和 MOCVD 设备收入分别为 3.48 亿元和 1.33 亿元，较上年同期分别增长
63.75%和 76.85%。
2021 年一季度归属于上市公司股东的扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约 0.17
亿元，由亏损转为盈利，主要系：（1）公司本期营业收入增长 46.24%，同时本期毛利率为
40.92%，较上年同期的 33.86%增长约 7.06 个百分点，公司本期毛利较上年同期增加约 1.07 亿
元；（2）本期股份支付费用较上年同期增加约 0.51 亿元；（3）由于员工人数和员工薪酬的增
长，以及研发消耗材料的增加，本期不含股份支付费用的销售费用、管理费用和研发费用合计较
上年同期增加约 0.37 亿元。
2021 年一季度归属于上市公司股东的净利润较上年同期增加约 1.12 亿元，增长约
425.36%，主要系：（1）扣除非经常性损益后的净利润较上年同期增加约 0.17 亿元；（2）本期
计入当期损益的政府补助较上年同期增加约 1.43 亿元；（3）公司 2020 年投资青岛聚源芯星股
权投资合伙企业（有限合伙）3 亿元而间接持有中芯国际集成电路制造有限公司（以下简称“中
芯国际”）科创板股票，因本期中芯国际股价变动导致公司产生公允价值变动损失约 0.24 亿元。
非经常性损益项目和金额
√适用 □不适用
单位：元 币种：人民币
项目 本期金额 说明
非流动资产处置损益 -48,633.60
计入当期损益的政府补助，但与公司正常经营业务密切相 168,498,672.11
关，符合国家政策规定、按照一定标准定额或定量持续享受
的政府补助除外
委托他人投资或管理资产的损益 5,904,965.76
除同公司正常经营业务相关的有效套期保值业务外，持有交 -23,149,230.59
易性金融资产、衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融
负债产生的公允价值变动损益，以及处置交易性金融资产、
衍生金融资产、交易性金融负债、衍生金融负债和其他债权
投资取得的投资收益
除上述各项之外的其他营业外收入和支出 -563,182.51
少数股东权益影响额（税后） -147.68
所得税影响额 -23,976,894.75
合计 126,665,548.74
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2.2 截止报告期末的股东总数、前十名股东、前十名无限售条件股东持股情况表
单位：股
股东总数（户） 37,098
前十名股东持股情况
包含转融通 质押或
持有有限售 借出股份的 冻结情
期末持股数 比例 股东
股东名称（全称） 条件股份数 限售股份数 况
量 (%) 性质
量 量 股份 数
状态 量
上海创业投资有限公 国有
96,383,533 18.02 96,383,533 96,383,533 无 -
司 法人
巽鑫（上海）投资有 国有
93,337,887 17.45 93,337,887 93,337,887 无 -
限公司 法人
境内
南昌智微企业管理合 非国
30,644,454 5.73 30,644,454 30,644,454 无 -
伙企业（有限合伙） 有法
人
Advanced Micro－
境外
Fabrication 24,821,537 4.64 24,821,537 24,821,537 无 -
法人
Equipment Inc. Asia
境内
嘉兴悦橙投资合伙企 非国
15,082,377 2.82 0 0 无 -
业（有限合伙） 有法
人
中国工商银行股份有
限公司－诺安成长股 14,718,741 2.75 0 0 无 - 其他
票型证券投资基金
国开创新资本投资有 国有
14,142,561 2.64 0 0 无 -
限责任公司 法人
境外
GRENADE PTE. LTD. 11,442,746 2.14 11,442,746 11,442,746 无 -
法人
境外
BOOTES PTE. LTD. 11,119,580 2.08 11,119,580 11,119,580 无 -
法人
境内
嘉兴创橙投资合伙企 非国
9,419,124 1.76 0 0 无 -
业（有限合伙） 有法
人
前十名无限售条件股东持股情况
股东名称 持有无限售条件流通 股份种类及数量
股的数量 种类 数量
嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合 人民币普通
15,082,377 15,082,377
伙） 股
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中国工商银行股份有限公司－诺安 人民币普通
14,718,741 14,718,741
成长股票型证券投资基金 股
人民币普通
国开创新资本投资有限责任公司 14,142,561 14,142,561
股
嘉兴创橙投资合伙企业（有限合 人民币普通
9,419,124 9,419,124
伙） 股
招商银行股份有限公司－华夏上证
人民币普通
科创板 50 成份交易型开放式指数证 8,590,448 8,590,448
股
券投资基金
置都（上海）投资中心（有限合 人民币普通
8,055,963 8,055,963
伙） 股
国投（上海）科技成果转化创业投 人民币普通
7,755,297 7,755,297
资基金企业（有限合伙） 股
嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合 人民币普通
6,602,963 6,602,963
伙） 股
交通银行股份有限公司－万家行业 人民币普通
6,300,000 6,300,000
优选混合型证券投资基金（LOF） 股
人民币普通
PRIMROSE CAPITAL LIMITED 5,497,974 5,497,974
股
上述股东关联关系或一致行动的说 嘉兴悦橙投资合伙企业（有限合伙）、嘉兴创橙投资合
明 伙企业（有限合伙）和嘉兴亮橙投资合伙企业（有限合
伙）的普通合伙人均为共青城兴橙投资合伙企业（有限
合伙）。
表决权恢复的优先股股东及持股数 无。
量的说明
2.3 截止报告期末的优先股股东总数、前十名优先股股东、前十名优先股无限售条件股东持股情
况表
□适用 √不适用
三、 重要事项
3.1 公司主要会计报表项目、财务指标重大变动的情况及原因
√适用 □不适用
(1) 资产负债表主要科目：
单位：元 币种：人民币
项目名称 2021年03月31 2020年12月31 变动比例 变动主要原因
日 日
长期股权投资 519,310,834.63 424,269,937.29 22.40% 本期新增对睿励科学仪器
（上海）有限公司股权投资
1.05亿元
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使用权资产 20,175,994.02 - 不适用 根据新租赁准则，公司确认
租赁相关的使用权资产
其他非流动资产 190,962,000.00 144,162,000.00 32.46% 本期新增临港预付土地款
0.52亿元
应付职工薪酬 73,311,043.62 106,560,316.11 -31.20% 本期支付了员工2020年度的
奖金
应交税费 30,761,836.83 18,933,391.30 62.47% 本期末应交所得税增加
（2）利润表主要科目：
单位：元 币种：人民币
项目名称 2021 年一季度 2020 年一季度 变动比例 变动主要原因
（1-3 月） （1-3 月）
营业收入 603,346,870.60 412,585,985.95 46.24% 本期刻蚀设备和MOCVD设
备较上年同期分别增长
63.75%和76.85%
毛利率 40.92% 33.86% 增加7.06个 本期部分专用设备的毛利率
百分点 较上年同期有较大提升
销售费用 69,143,674.00 49,334,175.77 40.15% 本期股份支付费用和职工薪
酬增加
管理费用 45,117,459.42 24,763,469.29 82.19% 本期股份支付费用和职工薪
酬增加
研发费用 85,971,958.13 43,421,352.80 97.99% 本期股份支付费用和原材料
研发消耗增加
其他收益 137,546,647.34 4,808,902.23 2760.25% 本期政府补助结转进利润表
金额增加
投资收益 -4,384,846.69 7,395,594.31 -159.29% 本期对联营公司的投资损失
增加
公允价值变动收 -23,149,230.59 492,903.25 -4796.51% 因本期中芯国际股价变动导
益 致公司产生公允价值变动损
失约 0.24 亿元
所得税费用 24,644,514.43 6,035,343.74 308.34% 本期税前利润增加导致所得
税费用增加
（3）现金流量表主要科目：
单位：元 币种：人民币
项目名称 2021 年一季度 2020 年一季度 变动比例 变动主要原因
（1-3 月） （1-3 月）
经营活动产生的 -77,394,097.18 248,652,463.03 -131.13% 本期购买商品、接受劳务支
现金流量净额 付的现金较上年同期增加，
以及销售商品、提供劳务收
到的现金较上年同期减少
投资活动产生的 69,169,816.07 104,592,085.05 -33.87% 本期股权投资和支付临港土
现金流量净额 地款较上年同期增加
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3.2 重要事项进展情况及其影响和解决方案的分析说明
√适用 □不适用
事项概述 查询索引
2021 年 1 月 15 日 ， Advanced Micro-Fabrication 公 司 于 上 海 证 券 交 易 所 网 站
Equipment Inc.(AMEC)被美国国防部列入“中国涉 （www.sse.com.cn）披露了《关注到相关事
军企业清单”，美国人士对公司发行的有价证券及 项的公告》（公告编号：2021-001）
其相关的衍生品的交易受到限制。
该事项对公司生产经营没有实质影响。公司一直坚
持合法合规经营，并严格遵守各经营地包括出口管
制在内的相关法律法规。
公司持续关注相关信息，并积极与相关各方沟通，
并将严格按照相关法律法规履行信息披露义务。
2021年1月29日，公司收到上海证券交易所科创板 公 司 于 上 海 证 券 交 易 所 网 站
上市审核中心《关于中微半导体设备（上海）股份 （www.sse.com.cn）披露了《关于收到向特
有限公司向特定对象发行股票审核意见的通知》。 定对象发行股票审核意见的通知公告》 公
2021年3月9日，公司收到中国证监监督管理委员会 告编号：2021-007）、《关于向特定对象发
出具的《关于同意中微半导体设备（上海）股份有 行股票申请获得中国证券监督管理委员会
限公司向特定对象发行股票注册的批复》（证监许 同意注册批复的公告》（公告编号：2021-
可[2021]645号）。 015）
3.3 报告期内超期未履行完毕的承诺事项
□适用 √不适用
3.4 预测年初至下一报告期期末的累计净利润可能为亏损或者与上年同期相比发生重大变动的警
示及原因说明
□适用 √不适用
中微半导体设备（上海）
公司名称
股份有限公司
GERALD ZHEYAO YIN（尹志
法定代表人
尧）
日期 2021 年 4 月 27 日
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四、 附录
4.1 财务报表
合并资产负债表
2021 年 3 月 31 日
编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计
项目 2021 年 3 月 31 日 2020 年 12 月 31 日
流动资产：
货币资金 1,138,705,012.23 1,131,669,784.82
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产 1,222,050,889.03 1,505,200,119.62
衍生金融资产
应收票据 80,322,290.74 105,477,921.32
应收账款 340,013,451.71 278,869,785.15
应收款项融资
预付款项 6,787,584.12 9,102,717.62
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款 26,005,571.80 32,808,408.70
其中：应收利息
应收股利
买入返售金融资产
存货 1,225,268,148.78 1,063,864,875.83
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产 73,726,665.23 70,641,210.02
流动资产合计 4,112,879,613.64 4,197,634,823.08
非流动资产：
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款 32,411,595.04 32,208,048.56
长期股权投资 519,310,834.63 424,269,937.29
其他权益工具投资
其他非流动金融资产 235,055,000.00 235,055,000.00
投资性房地产 7,344,042.29 7,447,415.65
固定资产 191,842,277.75 182,946,651.32
在建工程 20,219,177.02 13,944,386.94
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生产性生物资产
油气资产
使用权资产 20,175,994.02 -
无形资产 276,787,742.04 289,266,460.84
开发支出 295,459,949.60 271,208,056.35
商誉
长期待摊费用 1,320,889.39 2,734,115.91
递延所得税资产
其他非流动资产 190,962,000.00 144,162,000.00
非流动资产合计 1,790,889,501.78 1,603,242,072.86
资产总计 5,903,769,115.42 5,800,876,895.94
流动负债：
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款 471,114,712.74 422,217,875.80
预收款项
合同负债 457,979,274.54 592,139,816.14
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放
代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬 73,311,043.62 106,560,316.11
应交税费 30,761,836.83 18,933,391.30
其他应付款 36,104,295.89 29,998,179.58
其中：应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债 9,580,245.94 -
其他流动负债 56,751,175.50 62,781,288.38
流动负债合计 1,135,602,585.06 1,232,630,867.31
非流动负债：
保险合同准备金
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
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租赁负债 10,595,748.08 -
长期应付款
长期应付职工薪酬 2,066,106.47 3,385,625.20
预计负债 18,167,681.29 16,067,280.23
递延收益 165,543,137.23 173,156,162.00
递延所得税负债 11,162,751.21 6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计 207,535,424.28 198,939,044.21
负债合计 1,343,138,009.34 1,431,569,911.52
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本） 534,862,237.00 534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积 3,873,372,639.03 3,819,339,882.51
减：库存股
其他综合收益 -22,442,523.48 -21,987,926.37
专项储备
盈余公积 69,631,992.01 69,631,992.01
一般风险准备
未分配利润 104,985,516.93 -32,788,490.39
归属于母公司所有者权益（或 4,560,409,861.49 4,369,057,694.76
股东权益）合计
少数股东权益 221,244.59 249,289.66
所有者权益（或股东权益） 4,560,631,106.08 4,369,306,984.42
合计
负债和所有者权益（或股 5,903,769,115.42 5,800,876,895.94
东权益）总计
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
母公司资产负债表
2021 年 3 月 31 日
编制单位:中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位:元 币种:人民币 审计类型：未经审计
项目 2021 年 3 月 31 日 2020 年 12 月 31 日
流动资产：
货币资金 944,566,941.22 964,659,736.16
交易性金融资产 1,222,050,889.03 1,445,200,119.62
衍生金融资产
应收票据
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2021 年第一季度报告
应收账款 452,346,136.47 409,482,811.02
应收款项融资
预付款项 5,868,660.02 6,899,490.72
其他应收款 5,945,312.98 6,279,653.00
其中：应收利息 456,252.61 17,892.41
应收股利
存货 1,124,492,917.61 950,886,971.84
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产 41,461,140.07 41,460,058.52
流动资产合计 3,796,731,997.40 3,824,868,840.88
非流动资产：
债权投资
其他债权投资
长期应收款 4,536,648.24 4,536,488.24
长期股权投资 932,755,203.71 763,146,972.07
其他权益工具投资
其他非流动金融资产 235,055,000.00 235,055,000.00
投资性房地产
固定资产 186,693,052.08 177,424,743.45
在建工程 6,270,117.95 4,734,684.69
生产性生物资产
油气资产
使用权资产 8,831,276.86 -
无形资产 276,723,997.03 289,185,330.67
开发支出 295,613,607.33 271,208,056.35
商誉
长期待摊费用
递延所得税资产
其他非流动资产 - 5,000,000.00
非流动资产合计 1,946,478,903.20 1,750,291,275.47
资产总计 5,743,210,900.60 5,575,160,116.35
流动负债：
短期借款
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款 455,433,050.32 405,478,403.03
预收款项
合同负债 333,718,139.66 400,756,163.11
应付职工薪酬 51,226,818.83 80,936,842.93
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2021 年第一季度报告
应交税费 12,984,646.37 7,266,212.34
其他应付款 101,985,460.13 82,660,006.51
其中：应付利息
应付股利
持有待售负债
一年内到期的非流动负债 3,623,186.65 -
其他流动负债 22,796,709.06 28,085,346.58
流动负债合计 981,768,011.02 1,005,182,974.50
非流动负债：
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债 5,208,090.21 -
长期应付款
长期应付职工薪酬 2,066,106.47 3,385,625.20
预计负债 1,619,336.20 837,310.04
递延收益 165,543,137.23 173,156,162.00
递延所得税负债 11,162,751.20 6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计 185,599,421.31 183,709,074.02
负债合计 1,167,367,432.33 1,188,892,048.52
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本） 534,862,237.00 534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积 3,199,217,235.71 3,145,117,623.30
减：库存股
其他综合收益 30,514.31 -300,195.48
专项储备
盈余公积 69,631,992.01 69,631,992.01
未分配利润 772,101,489.24 636,956,411.00
所有者权益（或股东权益） 4,575,843,468.27 4,386,268,067.83
合计
负债和所有者权益（或股 5,743,210,900.60 5,575,160,116.35
东权益）总计
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
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2021 年第一季度报告
合并利润表
2021 年 1—3 月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种:人民币 审计类型：未经审计
项目 2021 年第一季度 2020 年第一季度
一、营业总收入 603,346,870.60 412,585,985.95
其中：营业收入 603,346,870.60 412,585,985.95
利息收入
已赚保费
手续费及佣金收入
二、营业总成本 555,297,888.85 387,555,027.89
其中：营业成本 356,478,578.62 272,866,485.59
利息支出
手续费及佣金支出
退保金
赔付支出净额
提取保险责任准备金净额
保单红利支出
分保费用
税金及附加 1,512,251.86 3,768,464.21
销售费用 69,143,674.00 49,334,175.77
管理费用 45,117,459.42 24,763,469.29
研发费用 85,971,958.13 43,421,352.80
财务费用 -2,926,033.18 -6,598,919.77
其中：利息费用
利息收入 2,680,176.86 3,386,617.68
加：其他收益 137,546,647.34 4,808,902.23
投资收益（损失以“－”号填列） -4,384,846.69 7,395,594.31
其中：对联营企业和合营企业的 -10,289,812.45 -4,594,804.47
投资收益
以摊余成本计量的金融资产
终止确认收益
汇兑收益（损失以“－”号填列）
净敞口套期收益（损失以“-”号填
列）
公允价值变动收益（损失以“－” -23,149,230.59 492,903.25
号填列）
信用减值损失（损失以“-”号填 3,885,310.98 -4,447,591.56
列）
资产减值损失（损失以“-”号填 1,045,784.71 -798,581.01
列）
资产处置收益（损失以“－”号填 -48,633.60 -
列）
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2021 年第一季度报告
三、营业利润（亏损以“－”号填列） 162,944,013.90 32,482,185.28
加：营业外收入 99,757.18 36,407.91
减：营业外支出 662,939.69 302,062.07
四、利润总额（亏损总额以“－”号填 162,380,831.39 32,216,531.12
列）
减：所得税费用 24,644,514.43 6,035,343.74
五、净利润（净亏损以“－”号填列） 137,736,316.96 26,181,187.38
（一）按经营持续性分类
1.持续经营净利润（净亏损以“－” 137,736,316.96 26,181,187.38
号填列）
2.终止经营净利润（净亏损以“－”
号填列）
（二）按所有权归属分类
1.归属于母公司股东的净利润（净 137,774,007.33 26,224,930.68
亏损以“-”号填列）
2.少数股东损益（净亏损以“-”号填 -37,690.37 -43,743.30
列）
六、其他综合收益的税后净额 -454,597.10 98,565.15
（一）归属母公司所有者的其他综合 -454,597.10 98,565.15
收益的税后净额
1．不能重分类进损益的其他综合收
益
（1）重新计量设定受益计划变动额
（2）权益法下不能转损益的其他综合
收益
（3）其他权益工具投资公允价值变动
（4）企业自身信用风险公允价值变动
2．将重分类进损益的其他综合收益 -454,597.10 98,565.15
（1）权益法下可转损益的其他综合收 330,709.79 -
益
（2）其他债权投资公允价值变动
（3）金融资产重分类计入其他综合收
益的金额
（4）其他债权投资信用减值准备
（5）现金流量套期储备
（6）外币财务报表折算差额 -785,306.89 98,565.15
（7）其他
（二）归属于少数股东的其他综合收
益的税后净额
七、综合收益总额 137,281,719.86 26,279,752.53
（一）归属于母公司所有者的综合收 137,319,410.23 26,323,495.83
益总额
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2021 年第一季度报告
（二）归属于少数股东的综合收益总 -37,690.37 -43,743.30
额
八、每股收益：
（一）基本每股收益(元/股) 0.26 0.05
（二）稀释每股收益(元/股) 0.26 0.05
本期发生同一控制下企业合并的，被合并方在合并前实现的净利润为：0 元，上期被合并方实现
的净利润为：0 元。
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
母公司利润表
2021 年 1—3 月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计
项目 2021 年第一季度 2020 年第一季度
一、营业收入 519,449,586.57 368,038,661.53
减：营业成本 324,153,420.68 243,294,690.09
税金及附加 305,344.36 243,636.82
销售费用 26,719,068.65 19,824,849.40
管理费用 34,904,664.81 19,500,141.61
研发费用 79,883,509.25 40,743,773.77
财务费用 -3,240,865.36 -8,531,384.74
其中：利息费用
利息收入 2,140,180.31 2,809,616.58
加：其他收益 123,252,923.34 4,808,410.20
投资收益（损失以“－”号填列） -4,384,846.69 6,763,073.76
其中：对联营企业和合营企业的 -10,289,812.45 -4,594,804.47
投资收益
以摊余成本计量的金融资产
终止确认收益
净敞口套期收益（损失以“-”号填
列）
公允价值变动收益（损失以“－” -23,149,230.59 208,010.09
号填列）
信用减值损失（损失以“-”号填 -1,843,720.78 -1,046,237.71
列）
资产减值损失（损失以“-”号填 963,424.99 -1,084,658.51
列）
资产处置收益（损失以“－”号填 -48,633.60 -
列）
二、营业利润（亏损以“－”号填列） 151,514,360.85 62,611,552.41
加：营业外收入 72,861.59 0.07
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2021 年第一季度报告
减：营业外支出 654,301.88 294,362.00
三、利润总额（亏损总额以“－”号填 150,932,920.56 62,317,190.48
列）
减：所得税费用 15,787,842.32 6,012,055.96
四、净利润（净亏损以“－”号填列） 135,145,078.24 56,305,134.52
（一）持续经营净利润（净亏损以 135,145,078.24 56,305,134.52
“－”号填列）
（二）终止经营净利润（净亏损以
“－”号填列）
五、其他综合收益的税后净额 330,709.79 -
（一）不能重分类进损益的其他综合
收益
1.重新计量设定受益计划变动额
2.权益法下不能转损益的其他综合
收益
3.其他权益工具投资公允价值变动
4.企业自身信用风险公允价值变动
（二）将重分类进损益的其他综合收 330,709.79 -
益
1.权益法下可转损益的其他综合收 330,709.79 -
益
2.其他债权投资公允价值变动
3.金融资产重分类计入其他综合收
益的金额
4.其他债权投资信用减值准备
5.现金流量套期储备
6.外币财务报表折算差额 -
7.其他
六、综合收益总额 135,475,788.03 56,305,134.52
七、每股收益：
（一）基本每股收益(元/股)
（二）稀释每股收益(元/股)
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
合并现金流量表
2021 年 1—3 月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计
项目 2021年第一季度 2020年第一季度
一、经营活动产生的现金流量：
销售商品、提供劳务收到的现金 447,029,920.35 492,657,687.47
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2021 年第一季度报告
客户存款和同业存放款项净增加
额
向中央银行借款净增加额
向其他金融机构拆入资金净增加
额
收到原保险合同保费取得的现金
收到再保业务现金净额
保户储金及投资款净增加额
收取利息、手续费及佣金的现金
拆入资金净增加额
回购业务资金净增加额
代理买卖证券收到的现金净额
收到的税费返还
收到其他与经营活动有关的现金 169,575,059.08 190,230,334.87
经营活动现金流入小计 616,604,979.43 682,888,022.34
购买商品、接受劳务支付的现金 493,484,652.43 259,818,880.12
客户贷款及垫款净增加额
存放中央银行和同业款项净增加
额
支付原保险合同赔付款项的现金
拆出资金净增加额
支付利息、手续费及佣金的现金
支付保单红利的现金
支付给职工及为职工支付的现金 151,601,561.37 137,362,201.75
支付的各项税费 15,147,552.40 19,135,083.47
支付其他与经营活动有关的现金 33,765,310.41 17,919,393.97
经营活动现金流出小计 693,999,076.61 434,235,559.31
经营活动产生的现金流量净 -77,394,097.18 248,652,463.03
额
二、投资活动产生的现金流量：
收回投资收到的现金 610,000,000.00 1,210,000,000.00
取得投资收益收到的现金 5,904,965.76 13,304,403.61
处置固定资产、无形资产和其他
长期资产收回的现金净额
处置子公司及其他营业单位收到
的现金净额
收到其他与投资活动有关的现金 6,480,000.00 -
投资活动现金流入小计 622,384,965.76 1,223,304,403.61
购建固定资产、无形资产和其他 82,740,213.75 6,155,508.01
长期资产支付的现金
投资支付的现金 450,000,000.00 1,105,382,326.12
与满足资本化条件开发支出直接 20,474,935.94 7,174,484.43
相关项目所支付的现金
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2021 年第一季度报告
质押贷款净增加额
取得子公司及其他营业单位支付
的现金净额
支付其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流出小计 553,215,149.69 1,118,712,318.56
投资活动产生的现金流量净 69,169,816.07 104,592,085.05
额
三、筹资活动产生的现金流量：
吸收投资收到的现金
其中：子公司吸收少数股东投资
收到的现金
取得借款收到的现金
收到其他与筹资活动有关的现金
筹资活动现金流入小计 - -
偿还债务支付的现金
分配股利、利润或偿付利息支付
的现金
其中：子公司支付给少数股东的
股利、利润
支付其他与筹资活动有关的现金 1,403,382.58 -
筹资活动现金流出小计 1,403,382.58 -
筹资活动产生的现金流量净 -1,403,382.58 -
额
四、汇率变动对现金及现金等价物 2,756,123.99 4,826,337.59
的影响
五、现金及现金等价物净增加额 -6,871,539.70 358,070,885.67
加：期初现金及现金等价物余额 1,113,426,614.20 828,619,907.81
六、期末现金及现金等价物余额 1,106,555,074.50 1,186,690,793.48
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
母公司现金流量表
2021 年 1—3 月
编制单位：中微半导体设备（上海）股份有限公司
单位：元 币种：人民币 审计类型：未经审计
项目 2021年第一季度 2020年第一季度
一、经营活动产生的现金流量：
销售商品、提供劳务收到的现金 407,834,643.51 454,475,068.60
收到的税费返还
收到其他与经营活动有关的现金 151,284,977.90 186,341,727.12
经营活动现金流入小计 559,119,621.41 640,816,795.72
购买商品、接受劳务支付的现金 446,829,434.56 237,042,955.15
19 / 26
2021 年第一季度报告
支付给职工及为职工支付的现金 119,809,229.65 102,304,746.34
支付的各项税费 5,663,662.10 16,822,735.69
支付其他与经营活动有关的现金 14,128,364.47 10,137,664.11
经营活动现金流出小计 586,430,690.78 366,308,101.29
经营活动产生的现金流量净额 -27,311,069.37 274,508,694.43
二、投资活动产生的现金流量：
收回投资收到的现金 550,000,000.00 1,110,000,000.00
取得投资收益收到的现金 5,904,965.76 12,375,239.23
处置固定资产、无形资产和其他长
期资产收回的现金净额
处置子公司及其他营业单位收到的
现金净额
收到其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流入小计 555,904,965.76 1,122,375,239.23
购建固定资产、无形资产和其他长 22,717,876.82 6,055,321.55
期资产支付的现金
与满足资本化条件开发支出直接相 20,628,593.67 7,174,484.43
关项目所支付的现金
投资支付的现金 511,000,000.00 1,064,632,278.00
取得子公司及其他营业单位支付的
现金净额
支付其他与投资活动有关的现金
投资活动现金流出小计 554,346,470.49 1,077,862,083.98
投资活动产生的现金流量净额 1,558,495.27 44,513,155.25
三、筹资活动产生的现金流量：
吸收投资收到的现金
取得借款收到的现金
收到其他与筹资活动有关的现金
筹资活动现金流入小计 - -
偿还债务支付的现金
分配股利、利润或偿付利息支付的
现金
支付其他与筹资活动有关的现金 167,494.50 -
筹资活动现金流出小计 167,494.50 -
筹资活动产生的现金流量净额 -167,494.50 -
四、汇率变动对现金及现金等价物 2,264,138.84 2,939,147.08
的影响
五、现金及现金等价物净增加额 -23,655,929.76 321,960,996.76
加：期初现金及现金等价物余额 956,801,440.38 560,450,481.76
六、期末现金及现金等价物余额 933,145,510.62 882,411,478.52
公司负责人：GERALD ZHEYAO YIN（尹志尧） 主管会计工作负责人：陈伟文 会计机构负责
人：陈伟文
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2021 年第一季度报告
4.2 2021 年起首次执行新租赁准则调整首次执行当年年初财务报表相关情况
√适用 □不适用
合并资产负债表
单位:元 币种:人民币
项目 2020 年 12 月 31 日 2021 年 1 月 1 日 调整数
流动资产：
货币资金 1,131,669,784.82 1,131,669,784.82
结算备付金
拆出资金
交易性金融资产 1,505,200,119.62 1,505,200,119.62
衍生金融资产
应收票据 105,477,921.32 105,477,921.32
应收账款 278,869,785.15 278,869,785.15
应收款项融资
预付款项 9,102,717.62 9,102,717.62
应收保费
应收分保账款
应收分保合同准备金
其他应收款 32,808,408.70 32,808,408.70
其中：应收利息 17,892.41 17,892.41
应收股利
买入返售金融资产
存货 1,063,864,875.83 1,063,864,875.83
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产 70,641,210.02 70,641,210.02
流动资产合计 4,197,634,823.08 4,197,634,823.08
非流动资产：
发放贷款和垫款
债权投资
其他债权投资
长期应收款 32,208,048.56 32,208,048.56
长期股权投资 424,269,937.29 424,269,937.29
其他权益工具投资
其他非流动金融资产 235,055,000.00 235,055,000.00
投资性房地产 7,447,415.65 7,447,415.65
固定资产 182,946,651.32 182,946,651.32
在建工程 13,944,386.94 13,944,386.94
生产性生物资产
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2021 年第一季度报告
油气资产
使用权资产 10,486,018.51 10,486,018.51
无形资产 289,266,460.84 289,266,460.84
开发支出 271,208,056.35 271,208,056.35
商誉
长期待摊费用 2,734,115.91 2,734,115.91
递延所得税资产
其他非流动资产 144,162,000.00 144,162,000.00
非流动资产合计 1,603,242,072.86 1,613,728,091.37 10,486,018.51
资产总计 5,800,876,895.94 5,811,362,914.45 10,486,018.51
流动负债：
短期借款
向中央银行借款
拆入资金
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款 422,217,875.80 422,217,875.80
预收款项
合同负债 592,139,816.14 592,139,816.14
卖出回购金融资产款
吸收存款及同业存放
代理买卖证券款
代理承销证券款
应付职工薪酬 106,560,316.11 106,560,316.11
应交税费 18,933,391.30 18,933,391.30
其他应付款 29,998,179.58 29,998,179.58
其中：应付利息
应付股利
应付手续费及佣金
应付分保账款
持有待售负债
一年内到期的非流动负债 4,504,713.12 4,504,713.12
其他流动负债 62,781,288.38 62,781,288.38
流动负债合计 1,232,630,867.31 1,237,135,580.43 4,504,713.12
非流动负债：
保险合同准备金
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债 5,981,305.39 5,981,305.39
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2021 年第一季度报告
长期应付款
长期应付职工薪酬 3,385,625.20 3,385,625.20
预计负债 16,067,280.23 16,067,280.23
递延收益 173,156,162.00 173,156,162.00
递延所得税负债 6,329,976.78 6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计 198,939,044.21 204,920,349.60 5,981,305.39
负债合计 1,431,569,911.52 1,442,055,930.03 10,486,018.51
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本） 534,862,237.00 534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积 3,819,339,882.51 3,819,339,882.51
减：库存股
其他综合收益 -21,987,926.37 -21,987,926.37
专项储备
盈余公积 69,631,992.01 69,631,992.01
一般风险准备
未分配利润 -32,788,490.39 -32,788,490.39
归属于母公司所有者权益 4,369,057,694.76 4,369,057,694.76
（或股东权益）合计
少数股东权益 249,289.66 249,289.66
所有者权益（或股东权 4,369,306,984.42 4,369,306,984.42
益）合计
负债和所有者权益（或 5,800,876,895.94 5,811,362,914.45 10,486,018.51
股东权益）总计
各项目调整情况的说明：
√适用 □不适用
财政部于 2018 年发布了《企业会计准则第 21 号-租赁》（财会 2018[35]号），本公司自
2021 年 1 月 1 日起执行上述新租赁准则。具体影响科目及金额见上述调整表格。
母公司资产负债表
单位:元 币种:人民币
项目 2020 年 12 月 31 日 2021 年 1 月 1 日 调整数
流动资产：
货币资金 964,659,736.16 964,659,736.16
交易性金融资产 1,445,200,119.62 1,445,200,119.62
衍生金融资产
应收票据
应收账款 409,482,811.02 409,482,811.02
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2021 年第一季度报告
应收款项融资
预付款项 6,899,490.72 6,899,490.72
其他应收款 6,279,653.00 6,279,653.00
其中：应收利息 17,892.41 17,892.41
应收股利
存货 950,886,971.84 950,886,971.84
合同资产
持有待售资产
一年内到期的非流动资产
其他流动资产 41,460,058.52 41,460,058.52
流动资产合计 3,824,868,840.88 3,824,868,840.88
非流动资产：
债权投资
其他债权投资
长期应收款 4,536,488.24 4,536,488.24
长期股权投资 763,146,972.07 763,146,972.07
其他权益工具投资
其他非流动金融资产 235,055,000.00 235,055,000.00
投资性房地产
固定资产 177,424,743.45 177,424,743.45
在建工程 4,734,684.69 4,734,684.69
生产性生物资产
油气资产
使用权资产 1,248,123.36 1,248,123.36
无形资产 289,185,330.67 289,185,330.67
开发支出 271,208,056.35 271,208,056.35
商誉
长期待摊费用
递延所得税资产
其他非流动资产 5,000,000.00 5,000,000.00
非流动资产合计 1,750,291,275.47 1,751,539,398.83 1,248,123.36
资产总计 5,575,160,116.35 5,576,408,239.71 1,248,123.36
流动负债：
短期借款
交易性金融负债
衍生金融负债
应付票据
应付账款 405,478,403.03 405,478,403.03
预收款项 - -
合同负债 400,756,163.11 400,756,163.11
应付职工薪酬 80,936,842.93 80,936,842.93
应交税费 7,266,212.34 7,266,212.34
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2021 年第一季度报告
其他应付款 82,660,006.51 82,660,006.51
其中：应付利息
应付股利
持有待售负债
一年内到期的非流动负债 622,352.99 622,352.99
其他流动负债 28,085,346.58 28,085,346.58
流动负债合计 1,005,182,974.50 1,005,805,327.49 622,352.99
非流动负债：
长期借款
应付债券
其中：优先股
永续债
租赁负债 625,770.37 625,770.37
长期应付款
长期应付职工薪酬 3,385,625.20 3,385,625.20
预计负债 837,310.04 837,310.04
递延收益 173,156,162.00 173,156,162.00
递延所得税负债 6,329,976.78 6,329,976.78
其他非流动负债
非流动负债合计 183,709,074.02 184,334,844.39 625,770.37
负债合计 1,188,892,048.52 1,190,140,171.88 1,248,123.36
所有者权益（或股东权益）：
实收资本（或股本） 534,862,237.00 534,862,237.00
其他权益工具
其中：优先股
永续债
资本公积 3,145,117,623.30 3,145,117,623.30
减：库存股
其他综合收益 -300,195.48 -300,195.48
专项储备
盈余公积 69,631,992.01 69,631,992.01
未分配利润 636,956,411.00 636,956,411.00
所有者权益（或股东权 4,386,268,067.83 4,386,268,067.83
益）合计
负债和所有者权益（或 5,575,160,116.35 5,576,408,239.71 1,248,123.36
股东权益）总计
各项目调整情况的说明：
√适用 □不适用
财政部于 2018 年发布了《企业会计准则第 21 号-租赁》（财会 2018[35]号），本公司自
2021 年 1 月 1 日起执行上述新租赁准则。具体影响科目及金额见上述调整表格。
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2021 年第一季度报告
4.3 2021 年起首次执行新租赁准则追溯调整前期比较数据的说明
□适用 √不适用
4.4 审计报告
□适用 √不适用
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