证券代码：688056          证券简称：莱伯泰科         公告编号：2023-009



             北京莱伯泰科仪器股份有限公司
          关于自愿披露公司发布新产品的公告


    本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述
或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。



    重要内容提示：

     2023 年 3 月 10 日，北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯
泰科”或“公司”）正式公开发布针对半导体行业研发生产的电感耦合等离子体
三重四极杆质谱仪 LabMS 5000 ICP-MS/MS。
     LabMS 5000 ICP-MS/MS 采用工业标准 27MHz 固态发生器，具有极高的
系统稳定性；使用 MS/MS 模式实现受控且可靠的干扰去除，精准去除质量干扰
离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕量分析结果；低背景惰性进样系统集
成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用范围；智能软件平台 HiMass，适用
于实验室的各种分析需求，极大提高工作效率。
     新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来的
发展将产生积极的影响。
     公司新产品已取得订单并实现发货。

    一、新产品基本情况

    莱伯泰科于 2023 年 3 月 10 日正式公开发布针对半导体行业研发生产的电
感耦合等离子体三重四极杆质谱仪 LabMS 5000 ICP-MS/MS。该产品采用工业标
准 27MHz 固态发生器，具有极高的系统稳定性；使用 MS/MS 模式实现受控且
可靠的干扰去除，精准去除质量干扰离子，从而获得更低的检出限和准确的超痕
量分析结果；低背景惰性进样系统集成气体稀释和加氧功能，极大扩展检测应用
范围；智能软件平台 HiMass，适用于实验室的各种分析需求，极大提高工作效

                                   1
率。

    LabMS 5000 ICP-MS/MS 可用于监控半导体硅材料、第三代半导体材料、湿
电子化学品、电子特气、制程溶剂/光刻胶等的无机元素污染，已通过半导体行业
SEMI S2、SEMI E78 认证，助力半导体芯片企业制造商控制产品质量，提升良
率。

    二、新产品对公司的影响

    2021 年 5 月 20 日，莱伯泰科正式对外发布了电感耦合等离子体质谱仪
LabMS 3000 ICP-MS 并在多个领域实现了产品销售，首次实现了国产 ICP-MS 在
半导体行业芯片生产线上的应用，打破了国外产品的长期垄断。LabMS 5000 ICP-
MS/MS 是在 LabMS 3000 ICP-MS 产品的基础上推出的全新一代三重四极杆质谱
仪，主要用于无机元素检测。目前国内半导体行业用于无机元素检测的三重四极
杆质谱仪以进口产品为主，公司自主研发的该产品能够实现国产替代。LabMS
5000 ICP-MS/MS 产品的成功研发，体现了莱伯泰科在高端科学仪器领域的自主
研发创新能力，进一步丰富了公司分析测试仪器产品线，拓宽了公司产品的应用
领域。本次新产品的发布，将有助于巩固和提升公司的核心竞争力，对公司未来
的发展将产生积极的影响。目前该产品已取得订单并实现发货。

    三、相关风险提示

    公司本次发布的新产品要实现大规模销售，尚需通过更多客户对该产品进行
试用和评估，存在未来市场推广及客户开拓不及预期的风险。敬请广大投资者注
意投资风险，理性投资。



    特此公告。



                                       北京莱伯泰科仪器股份有限公司董事会
                                                         2023 年 3 月 13 日




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