中信证券股份有限公司

                   关于沈阳富创精密设备股份有限公司

     使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度

                              的核查意见



    中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”、“保荐机构”）作为沈阳
富创精密设备股份有限公司（以下简称“富创精密”、“公司”）首次公开发行
股票并在科创板上市的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上
海证券交易所科创板股票上市规则》、《科创板上市公司持续监管办法（试行）》、
《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及《上
海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号—规范运作》等法律法规、规
章制度的有关规定，对富创精密使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项
目实施进度的事项进行了核查，并出具本核查意见。核查情况如下：

    一、募集资金基本情况

    经中国证券监督管理委员会出具的《关于同意沈阳富创精密设备股份有限公
司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2022]1746 号）同意注册，公司首
次向社会公开发行人民币普通股（A 股）5,226.3334 万股，每股发行价格 69.99
元，本次募集资金总额为人民币 365,791.07 万元，实际募集资金净额为人民币
339,481.12 万元。上述募集资金已全部到位，并由立信会计师事务所（特殊普通
合伙）于 2022 年 9 月 28 日对本次发行的资金到账情况进行了审验，出具了《验
资报告》（信会师报字[2022]第 ZA15937 号）。公司依照规定对上述募集资金进
行专户存储管理，并与保荐机构、存放募集资金的开户银行签署了募集资金专户
存储监管协议。

    具 体内容详见公司于 2022 年 9 月 30 日刊登在上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）的《沈阳富创精密设备股份有限公司首次公开发行股票科创
板上市公告书》。

                                    1
    二、募集资金投资项目的基本情况

    （一）募集资金使用情况

    根据《沈阳富创精密设备股份有限公司首次公开发行股票并在科创板上市招
股说明书》，公司首次公开发行股票募集资金使用计划如下：

                                                                 (一) 单位：万元

                 项目名称                  总投资额          拟投入募集资金金额

集成电路装备零部件全工艺智能制造生产基地        100,000.00           100,000.00

补充流动资金                                     60,000.00            60,000.00

                   合计                         160,000.00           160,000.00

    （二）超募资金使用情况

    公司首次公开发行后募集资金净额 339,481.12 万元，超募资金总额为人民币
179,481.12 万元。2022 年 10 月 27 日，公司召开第一届董事会第十六次会议和
第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久补充流动资
金的议案》，拟使用超募资金人民币 50,000.00 万元进行永久补充流动资金，占
超募资金总额的比例为 27.86%。

    2022 年 11 月 15 日，公司召开 2022 年第二次临时股东大会审议通过了前述
议案，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进
行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成
本，进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金
计人民币 50,000.00 万元用于永久补充流动资金。

    公司本次使用部分超募资金永久补充流动资金符合公司实际经营发展的需要，
符合公司和全体股东的利益，不存在改变募集资金使用用途、影响募集资金投资
项目正常进行的情形，符合相关法律法规的规定。公司承诺每 12 个月内累计使用
超募资金永久补充流动资金的金额将不超过超募资金总额的 30%；本次使用部分
超募资金永久补充流动资金不会影响募集资金投资项目的正常进行；在补充流动
资金后的 12 个月内不进行高风险投资以及为控股子公司以外的对象提供财务资助。

    截至 2022 年 12 月 31 日，公司累计使用超募资金永久补充流动资金金额为

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50,000.00 万元。截至本公告披露日，公司剩余超募资金金额为 129,481.12 万元。

    三、本次募投项目调整的具体情况

    （一）调整募投项目拟投资金额

    公司拟使用超募资金人民币 24,720.55 万元对募投项目“集成电路装备零部件
全工艺智能制造生产基地”（以下简称“募投项目”）追加投资，本次调整后，该
项目的拟投入募集资金金额由人民币 100,000.00 万元增加至人民币 124,720.55
万元，本次调整前后拟投入募集资金金额对比情况如下：

                                                                           单位：万元
                                            变更前拟投入募集资     变更后拟投入募集资
   序号                 投资项目
                                                  金金额                 金金额

     1       工程费用                                89,161.48              109,878.76

    1.1      建筑工程                                26,000.00               41,965.28

    1.2      设备购置                                63,161.48               67,913.49

     2       工程建设其它费用                           355.72                  332.50

     3       预备费                                    2,318.20               6,344.69

     4       土地费                                    3,706.53               3,706.53

     5       流动资金                                  4,458.07               4,458.07

                         合计                       100,000.00              124,720.55

   备注：上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。

    （二）项目实施进度调整

    结合目前公司募投项目的实际建设情况和后续投资计划，在募集资金投资用
途不发生变更的情况下，公司拟对募投项目达到预定可使用状态的时间进行调整，
具体如下：
                                   原项目计划达到预定可           调整后项目计划达到
              项目
                                       使用状态日期               预定可使用状态日期

集成电路装备零部件全工艺智能制
                                              2022 年 11 月               2023 年 11 月
造生产基地


    四、本次调整募投项目拟投入金额及实施进度的原因

    （一）拟增加募投项目投资金额的主要原因

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    公司积极响应国家关于“碳达峰、碳中和”的战略目标，建立环境保护相关
机制，将绿色能源和低碳发展理念融入生产运营；作为智能制造生产基地，公司
倡导数字化智能制造，提升制造效率，从而计划增加募投项目的工程投入以及信
息化投入。
    随着公司不断发展，模组及气体管路产品收入大幅增长，为支撑以上两种产
品的增长，公司拟在原募投项目建设计划外增加模组及气体管路产品配套相关生
产能力，以此满足模组产品及气体管路带来的更多需求。
    以上调整对公司未来发展及产能快速释放都将起到积极的作用。

    （二）拟调整募投项目计划建设期的主要原因

   基于上述募投项目投资规模及建设计划的调整，同时结合募投项目实施进度以
及其他相关因素，公司拟同步调整该募投项目的实施进度。

    五、重新论证募投项目

    根据《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号—规范运作》相
关规定，公司对该募投项目建设的必要性和可行性进行了重新论证。
    （一）项目建设的必要性
    1、半导体设备精密零部件行业是半导体设备行业的支撑
    半导体行业遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是
延续行业“摩尔定律”的瓶颈和关键。半导体设备厂商往往为轻资产模式运营，其绝
大部分关键核心技术需要物化在精密零部件上，或以精密零部件作为载体来实现。
半导体设备精密零部件具有高精密、高洁净、超强耐腐蚀能力、耐击穿电压等特
性，生产工艺涉及精密机械制造、工程材料、表面处理特种工艺、电子电机整合
及工程设计等多个领域和学科，是半导体设备核心技术的直接保障。 因此，半导
体设备的升级迭代很大程度上有赖于精密零部件的技术突破，从而导体精密零部
件不仅是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节之一，也是国内
半导体设备企业“卡脖子”的环节之一，其支撑着半导体设备行业，继而支撑半导体
芯片制造和整个现代电子信息产业。
    2、全球产业进一步增长，精密零部件配套供应能力亟需加强
    伴随半导体产业进一步增长，日益扩大的半导体设备精密零部件配套需求与

                                    4
目前零部件供应能力不足的矛盾越发凸显，成为产业发展的关键问题。因此，在
我国半导体产业快速上升之际，产业上游基础零部件配套能力亟需提升。
    3、产能不足将制约公司进一步发展
    随着行业景气度提升以及我国半导体设备厂商崛起，公司订单量快速增加，
产能逐步消化，产能利率用逐步提升。如公司不能进一步扩大产能，满足客户不
断增加的需求，公司的发展将受到制约。
    （二）项目建设可行性
    1、国家政策支持行业发展
    当前我国法律法规和政策重点鼓励国内集成电路及其专用设备行业公司的经
营发展，从财政、税收、人才和技术等多方面为国内集成电路产业提供了支持，
为公司提供了良好的经营发展环境。
    2、公司具备项目建设所需的技术储备
    通过多年研发和积累，公司已具有了精密机械制造、表面处理特种工艺、焊
接等核心技术。公司相继牵头承担了两期国家“02 重大专 项”，研发突破了一系列
半导体设备零部件集成制造的关键技术，解决制约我国集成电路装备及零部件产
业卡脖子的共性关键技术难题，关键技术打破了国外对中国集成电路产业的技术
封锁，填补国内空白，为项目的建设提供技术保障。
    3、公司具备良好的客户基础
    公司与国内外主要半导体设备厂商建立了长期稳定的合作关系，目前公司已
进入的客户供应链体系既包括国际知名半导体龙头设备商，如客户 A、东京电子、
HITACHI High-Tech 和 ASMI 等，又包括国内主流半导体设备厂商，如北方华创、
屹唐股份、中微公司、拓荆科技、华海清科、芯源微、中科信装备、凯世通等。 客
户需求稳定增长，为公司持续经营能力和整体抗风险能力提供有力保障。

    六、本次变更及调整募投项目对公司的影响及风险提示

    本次使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度是公司根据
项目实施的实际情况做出的审慎决定，项目的可行性未发生重大变化，符合公司
实际经营需要。本次调整不存在变相改变募集资金投向和损害股东利益的情况，
符合中国证监会、上海证券交易所关于上市公司募集资金管理的相关规定，不会

                                    5
对公司的正常经营产生不利影响，符合公司发展规划。
    本次使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度的事项已结
合项目实施的实际情况和内外部情况，并经审慎研究。在项目实施过程中，仍可
能存在各种不可预见因素，导致项目实施具有不确定性，敬请广大投资者注意投
资风险。

    七、公司履行的审议程序

    公司于 2023 年 4 月 26 日召开第一届董事会第二十次会议、第一届监事会第
十一次，审议通过了《关于使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实
施进度的议案》，公司独立董事就该事项发表了明确的同意意见，该议案尚需提
交公司股东大会审议批准。

    八、专项意见说明

    （一）独立董事意见

    独立董事认为：公司使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施
进度是公司根据项目实施的实际情况做出的审慎决定，符合《上市公司监管指引
第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板
上市公司自律监管指引第 1 号—规范运作》等有关法律法规。本次变更及调整不
存在变相改变募集资金用途和损害公司及股东利益的情形，符合中国证监会、上
海证券交易所关于上市公司募集资金管理的相关规定，不会对公司的正常经营产
生不利影响。综上，我们一致同意公司使用超募资金人民币 24,720.55 万元增加
募投项目投资额并调整募投项目实施进度。

    （二）监事会意见

    监事会认为：公司本次使用部分超募资金增加募投项目投资额事项内容和审
议程序符合《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要
求》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号—规范运作》等有
关法律法规、规范性文件以及《沈阳富创精密设备股份有限公司募集资金管理制
度》的规定，不存在变相改变募集资金用途和损害公司及股东利益的情形。因此，
监事会同意公司关于使用部分超募资金增加募投项目投资额的事项，并同意将该

                                   6
议案提交公司股东大会审议。综上，监事会同意公司使用募集资金人民币
24,720.55 万元增加募投项目投资额并调整募投项目实施进度。

    九、保荐机构核查意见

    经核查，保荐机构认为：公司本次使用超募资金增加募投项目投资额及调整
募投项目实施进度事项，已经公司第一届董事会第二十次会议、第一届监事会第
十一次会议审议通过，独立董事发表了明确同意的独立意见，并将提交股东大会
审议。公司使用使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目是公司根据实
际情况进行的适当调整，有利于募投项目的开展和顺利实施，不存在改变募集资
金投向及损害股东利益的情形，符合公司的长远规划和发展需要，符合《证券发
行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理
和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易
所科创板上市公司自律监管指引第 1 号—规范运作》等相关规定及公司《募集资
金管理办法》的规定。

    综上，保荐机构对公司使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实
施进度事项无异议。

    （以下无正文）




                                   7
（本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于沈阳富创精密设备股份有限公司
使用超募资金增加募投项目投资额及调整募投项目实施进度的核查意见》之签字
盖章页）




 保荐代表人：




                          张欢                     张明慧




                                                中信证券股份有限公司


                                                      年    月    日




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