中微半导体设备（上海）股份有限公司
                2023 年限制性股票激励计划激励对象名单
                               （截至授予日）


一、限制性股票激励计划的分配情况表
                                                                       占本激励
                                               获授限制   占授予限制
                                                                       计划公告
         姓名        国籍         职务         性股票数   性股票总数
                                                                       日股本总
                                               量(万股)       比例
                                                                       额比例

  一、董事、高级管理人员

     尹志尧          美国     董事长、总经理   11.0700     2.0127%     0.0180%

     杜志游          美国       副总经理       7.9700      1.4491%     0.0129%

     朱新萍        中国台湾     副总经理       6.1700      1.1218%     0.0100%

     倪图强          美国       副总经理       6.1700      1.1218%     0.0100%

                               副总经理、
     陈伟文        中国香港                    4.4500      0.8091%     0.0072%
                               财务负责人
                               副总经理、
     刘晓宇          中国                      4.4500      0.8091%     0.0072%
                               董事会秘书

         陶珩        中国         董事         4.4500      0.8091%     0.0072%

         丛海       新加坡        董事         3.2800      0.5964%     0.0053%

  二、核心技术人员

         杨伟        美国      核心技术人员    2.9420      0.5349%     0.0048%

     李天笑          美国      核心技术人员    2.9420      0.5349%     0.0048%

     麦仕义          美国      核心技术人员    1.0850      0.1973%     0.0018%

                     小计                      54.9790     9.9962%     0.0892%

  三、其他激励对象

  董事会认为需要激励的其他人员（1350 人）      495.0210    90.0038%    0.8033%

  合计                                         550.0000   100.0000%    0.8925%

   注：1、上述任何一名激励对象通过全部在有效期内的股权激励计划获授的本公司股票
均未超过公司总股本的 1%。公司全部在有效期内的激励计划所涉及的标的股票总数累计不

超过股权激励计划提交股东大会时公司股本总额的 20%。

    2、本计划激励对象不包括独立董事、监事、单独或合计持有上市公司 5%以上股份的股

东、上市公司实际控制人及其配偶、父母、子女。

    3、上表中数值若出现总数与各分项数值之和尾数不符，均为四舍五入原因所致。
二、董事会认为需要激励的其他人员情况
                                                                    占本激励计
     激励对象                    获授限制性股票      占授予限制性
                  激励对象人数                                      划公告日股
       职务                       数量（万股）       股票总数比例
                                                                    本总额比例

   中层管理人员        145          187.2616          34.0476%       0.3039%

     技术骨干          351           89.5927          16.2896%       0.1454%

     业务骨干          649          171.3616          31.1567%       0.2781%

     专业人员          160           43.0771           7.8322%       0.0699%

   优秀基层人员        45            3.7280            0.6778%       0.0060%

       小计           1350          495.0210          90.0038%       0.8033%




                                 中微半导体设备（上海）股份有限公司董事会
                                                            2023 年 6 月 14 日