中微半导体设备（上海）股份有限公司
           监事会关于 2023 年限制性股票激励计划
           激励对象名单的核查意见（截至授予日）
    中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中
华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》
（以下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管
理办法》”）、上海证券交易所科创板股票上市规则》以下简称“《上市规则》”）
和《中微半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）
等有关规定，对公司 2023 年限制性股票激励计划（以下简称“本次激励计划”）
授予激励对象名单（截至授予日）进行审核，发表核查意见如下：
    1、本次股权激励计划激励对象均不存在《管理办法》第八条规定的不得成
为激励对象的情形：
    （1）最近 12 个月内被证券交易所认定为不适当人选；
    （2）最近 12 个月内被中国证监会及其派出机构认定为不适当人选；
    （3）最近 12 个月内因重大违法违规行为被中国证监会及其派出机构行政处
罚或者采取市场禁入措施；
    （4）具有《公司法》规定的不得担任公司董事、高级管理人员情形的；
    （5）法律法规规定不得参与上市公司股权激励的；
    （6）中国证监会认定的其他情形。
    2、本次股权激励计划激励对象不包括公司独立董事、监事、单独或合计持
有公司 5%以上股份的股东或实际控制人及其配偶、父母、子女。
    3、除 29 名激励对象从公司离职，不再向其授予限制性股票外，公司本次限
制性股票激励计划授予激励对象人员名单与公司 2022 年年度股东大会批准的
《中微半导体设备（上海）股份有限公司 2023 年限制性股票激励计划（草案）》
（以下简称“《激励计划》”）规定的激励对象条件相符。
    4、本次股权激励计划授予激励对象名单人员符合《公司法》、《证券法》等
法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合《管理办法》、
《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符合《激励计划》
规定的激励对象条件。
    综上，监事会同意公司本次激励计划授予的激励对象名单，同意公司本次激
励计划的授予日为 2023 年 6 月 12 日，并同意以授予价格人民币 50 元/股向符合
条件的 1361 名激励对象授予 550 万股限制性股票。

    特此公告。

                               中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
                                                         2023 年 6 月 14 日