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中微公司:海通证券股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股份有限公司2023年度持续督导半年度跟踪报告2023-08-25  

                       海通证券股份有限公司

           关于中微半导体设备(上海)股份有限公司

                2023 年度持续督导半年度跟踪报告



保荐机构名称:海通证券股份有限公司   被保荐公司简称:中微公司
保荐代表人姓名:吴志君、邬凯丞       被保荐公司代码:688012.SH




    经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公
司首次公开发行股票注册的批复》(证监许可[2019]1168 号)批复,中微半导体
设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”、“上市公司”或“公司”)
首次公开发行股票 53,486,224 万股,每股面值人民币 1 元,每股发行价格人民币
29.01 元,募集资金总额为人民币 155,163.54 万元,扣除发行费用后,实际募集
资金净额为人民币 144,570.28 万元。本次发行证券已于 2019 年 7 月 22 日在上海
证券交易所上市。海通证券股份有限公司(以下简称“保荐机构”或“海通证券”)
担任其持续督导保荐机构,持续督导期间为 2019 年 7 月 22 日至 2022 年 12 月
31 日。

    经中国证券监督管理委员会《关于同意中微半导体设备(上海)股份有限公
司向特定对象发行股票注册的批复》(证监许可[2021]645 号)批复,公司非公
开发行股票 80,229,335 万股,每股面值 1 元,每股发行价格 102.29 元,募集资
金总额为 820,665.87 万元,扣除发行费用后,实际募集资金净额为 811,816.24 万
元。本次发行证券已于 2021 年 6 月 30 日在上海证券交易所上市。海通证券继续
担任其持续督导保荐机构,持续督导期间为 2021 年 6 月 30 日至 2023 年 12 月
31 日。

    在 2023 年 1 月 1 日至 2023 年 6 月 30 日持续督导期内(以下简称“本持续
督导期间”),保荐机构及保荐代表人按照《证券发行上市保荐业务管理办法》
(以下简称“保荐办法”)、《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关规定,
通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查等方式进行持续督导,现就 2023
年半年度持续督导情况报告如下:


    一、2023 年保荐机构持续督导工作情况


                 项 目                                    工作内容
1、建立健全并有效执行持续督导工作制度, 保荐机构已建立健全并有效执行持续督导工
并针对具体的持续督导工作制定相应的工作 作制度,并针对具体的持续督导工作制定相
计划。                                  应的工作计划。
2、根据中国证监会相关规定,在持续督导工
作开始前,与上市公司或相关当事人签署持
续督导协议,明确双方在持续督导期间的权     保荐机构已与上市公司签署了保荐协议,协
利义务,并报上海证券交易所备案。持续督导   议明确了双方在持续督导期间的权利和义
期间,协议相关方对协议内容做出修改的,应   务,并已报上海证券交易所备案。本持续督导
于修改后五个交易日内报上海证券交易所备     期间,未发生对协议内容做出修改或终止协
案。终止协议的,协议相关方应自终止之日起   议的情况。
五个交易日内向上海证券交易所报告,并说
明原因。
3、持续督导期间,按照有关规定对上市公司
违法违规事项公开发表声明的,应于披露前     本持续督导期间,上市公司未发生需公开发
向上海证券交易所报告,并经审核后予以披     表声明的违法违规事项。
露。
4、持续督导期间,上市公司或相关当事人出
现违法违规、违背承诺等事项的,应自发现或   本持续督导期间,上市公司及相关当事人未
应当发现之日起五个交易日内向上海证券交     出现需报告的违法违规、违背承诺等事项。
易所报告。
                                           本持续督导期间,保荐机构通过日常沟通、定
5、通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽
                                           期或不定期回访、现场检查、尽职调查等方
职调查等方式开展持续督导工作。
                                           式,对上市公司开展持续督导工作。
6、督促上市公司建立和执行规范运作、承诺    保荐机构已督促上市公司建立和执行规范运
履行、分红回报等制度。                     作、承诺履行、分红回报等制度。
                                           保荐机构持续督促、指导上市公司及其董事、
7、督导上市公司及其董事、监事、高级管理
                                           监事、高级管理人员,本持续督导期间,上市
人员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交
                                           公司及其董事、监事、高级管理人员能够遵守
易所发布的业务规则及其他规范性文件,并
                                           相关法律法规的要求,并切实履行其所做出
切实履行其所做出的各项承诺。
                                           的各项承诺。
8、督导上市公司建立健全并有效执行公司治    核查了上市公司治理制度建立与执行情况,
理制度,包括但不限于股东大会、董事会、监   上市公司《公司章程》、三会议事规则等制度
事会议事规则以及董事、监事和高级管理人     符合相关法规要求,本持续督导期间,上市公
员的行为规范等。                           司有效执行了相关治理制度。
9、督导上市公司建立健全并有效执行内控制
度,包括但不限于财务管理制度、会计核算制   核查了上市公司内控制度建立与执行情况,
度和内部审计制度,以及募集资金使用、关联   上市公司内控制度符合相关法规要求,本持
交易、对外担保、对外投资、衍生品交易、对   续督导期间,上市公司有效执行了相关内控
子公司的控制等重大经营决策的程序与规则     制度。
等。
10、督导上市公司建立健全并有效执行信息
                                           保荐机构督促上市公司严格执行信息披露制
披露制度,审阅信息披露文件及其他相关文
                                           度,审阅信息披露文件及其他相关文件,详见
件,并有充分理由确信上市公司向上海证券
                                           “二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的
交易所提交的文件不存在虚假记载、误导性
                                           情况”。
陈述或重大遗漏。
11、对上市公司的信息披露文件及向中国证
监会、上海证券交易所提交的其他文件进行
事前审阅,对存在问题的信息披露文件应及     详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅
时督促上市公司予以更正或补充,上市公司     的情况”。
不予更正或补充的,应及时向上海证券交易
所报告。
12、对上市公司的信息披露文件未进行事前
审阅的,应在上市公司履行信息披露义务后
五个交易日内,完成对有关文件的审阅工作, 详见“二、保荐机构对上市公司信息披露审阅
对存在问题的信息披露文件应及时督促上市 的情况”。
公司更正或补充,上市公司不予更正或补充
的,应及时向上海证券交易所报告。
13、关注上市公司或其控股股东、实际控制     本持续督导期间,上市公司或其控股股东、实
人、董事、监事、高级管理人员受到中国证监   际控制人、董事、监事、高级管理人员未受到
会行政处罚、上海证券交易所监管措施或纪     中国证监会行政处罚、上海证券交易所纪律
律处分的情况,并督促其完善内部控制制度,   处分或者被上海证券交易所出具监管关注函
采取措施予以纠正。                         的情况。
14、关注上市公司及控股股东、实际控制人等
履行承诺的情况,上市公司及控股股东、实际
控制人等未履行承诺事项的,应及时向上海
证券交易所报告。
上市公司或其控股股东、实际控制人作出承
诺的,保荐机构、保荐代表人应当督促其对承   本持续督导期间,上市公司及控股股东、实际
诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能   控制人等不存在未履行承诺的情况。
力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济   上市公司或其控股股东、实际控制人已对承
措施等方面进行充分信息披露。               诺事项的具体内容、履约方式及时间、履约能
保荐机构、保荐代表人应当针对前款规定的     力分析、履约风险及对策、不能履约时的救济
承诺披露事项,持续跟进相关主体履行承诺     措施等方面进行充分信息披露。
的进展情况,督促相关主体及时、充分履行承
诺。
上市公司或其控股股东、实际控制人披露、履
行或者变更承诺事项,不符合法律法规、上市
规则以及上海证券交易所其他规定的,保荐
机构和保荐代表人应当及时提出督导意见,
并督促相关主体进行补正。
15、关注公共传媒关于上市公司的报道,及时
针对市场传闻进行核查。经核查后发现上市
公司存在应披露未披露的重大事项或与披露
                                           本持续督导期间,上市公司未出现该等事项。
的信息与事实不符的,应及时督促上市公司
如实披露或予以澄清;上市公司不予披露或
澄清的,应及时向上海证券交易所报告。
16、发现以下情形之一的,应督促上市公司做
出说明并限期改正,同时向上海证券交易所
报告:
(一)上市公司涉嫌违反《上市规则》等上海
证券交易所相关业务规则;
(二)中介机构及其签名人员出具的专业意
见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗 本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
漏等违法违规情形或其他不当情形;           现该等事项。
(三)上市公司出现《保荐办法》第七十一条、
第七十二条规定的情形;
(四)上市公司不配合保荐机构持续督导工
作;
(五)上海证券交易所或保荐机构认为需要
报告的其他情形。
17、制定对上市公司的现场检查工作计划,明
确现场检查工作要求,确保现场检查工作质
                                           保荐机构制定了对上市公司的现场检查工作
量。保荐机构对上市公司的定期现场检查每
                                           计划,明确现场检查工作要求。
年不应少于一次,负责该项目的两名保荐代
表人至少应有一人参加现场检查。
18、重点关注上市公司是否存在如下事项:
(一)存在重大财务造假嫌疑;
(二)控股股东、实际控制人及其关联人涉嫌
资金占用;
(三)可能存在违规担保;
(四)控股股东、实际控制人及其关联人、董
事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公
司利益;
(五)资金往来或者现金流存在重大异常;     本持续督导期间,上市公司未出现该等事项。
(六)本所或者保荐人认为应当进行现场核
查的其他事项。
出现上述情形的,保荐机构及其保荐代表人
应当督促公司核实并披露,同时应当自知道
或者应当知道之日起 15 日内按规定进行专项
现场核查。公司未及时披露的,保荐机构应当
及时向上海证券交易所报告。
19、识别并督促上市公司披露对公司持续经
                                           本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
营能力、核心竞争力或者控制权稳定有重大
                                           现该等事项。
不利影响的风险或者负面事项,并发表意见
20、关注上市公司股票交易异常波动情况,督
                                           本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
促上市公司按照本规则规定履行核查、信息
                                           现该等事项。
披露等义务
21、对上市公司存在的可能严重影响公司或
                                           本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
者投资者合法权益的事项开展专项核查,并
                                           现该等事项。
出具现场核查报告
22、上市公司日常经营出现下列情形的,保荐
机构、保荐代表人应当就相关事项对公司经
营的影响以及是否存在其他未披露重大风险
发表意见并披露:
(一)主要业务停滞或出现可能导致主要业
务停滞的重大风险事件;
(二)资产被查封、扣押或冻结;
                                           本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
(三)未能清偿到期债务;
                                           现该等事项。
(四)实际控制人、董事长、总经理、财务负
责人或核心技术人员涉嫌犯罪被司法机关采
取强制措施;
(五)涉及关联交易、为他人提供担保等重大
事项;
(六)本所或者保荐机构认为应当发表意见
的其他情形。
23、上市公司业务和技术出现下列情形的,保
荐机构、保荐代表人应当就相关事项对公司
核心竞争力和日常经营的影响,以及是否存
在其他未披露重大风险发表意见并披露:
(一)主要原材料供应或者产品销售出现重
大不利变化;
(二)核心技术人员离职;                   本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
(三)核心知识产权、特许经营权或者核心技   现该等事项。
术许可丧失、不能续期或者出现重大纠纷;
(四)主要产品研发失败;
(五)核心竞争力丧失竞争优势或者市场出
现具有明显优势的竞争者;
(六)本所或者保荐机构认为应当发表意见
的其他情形。

24、持续关注上市公司建立募集资金专户存     保荐机构对上市公司募集资金的专户存储、
储制度与执行情况、募集资金使用情况、投资   募集资金的使用以及投资项目的实施等承诺
项目的实施等承诺事项,对募集资金存放与     事项进行了持续关注,督导公司执行募集资
使用情况进行现场检查。                     金专户存储制度及募集资金监管协议。
25、上市公司及其控股股东、董事、监事、高
级管理人员是否存在未依法规范运作,未切     本持续督导期间,上市公司及相关主体未出
实保障投资者的合法权益,侵害投资者利益     现该等事项。
的情况

                                           2023 年上半年,保荐机构发表核查意见具体
                                           情况如下:
                                           2023 年 3 月 31 日,保荐机构发表《海通证券
                                           股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股
                                           份有限公司 2022 年度日常关联交易执行情况
                                           及 2023 年度日常关联交易预计的核查意见》;
                                           2023 年 3 月 31 日,保荐机构发表《海通证券
                                           股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股
                                           份有限公司 2022 年度募集资金存放与使用情
26、保荐机构发表核查意见情况。
                                           况的核查意见》;
                                           2023 年 4 月 29 日,保荐机构发表《海通证券
                                           股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股
                                           份有限公司竞购睿励科学仪器(上海)有限公
                                           司部分股权暨关联交易的核查意见》;
                                           2023 年 4 月 29 日,保荐机构发表《海通证券
                                           股份有限公司关于中微半导体设备(上海)股
                                           份有限公司使用部分闲置募集资金进行现金
                                           管理的核查意见》。
27、保荐机构发现的问题及整改情况(如有) 不适用


    二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的情况

     海通证券持续督导人员对上市公司本持续督导期间的信息披露文件进行了
事先或事后审阅,包括股东大会会议决议及公告、董事会会议决议及公告、监事
会会议决议及公告、募集资金使用和管理的相关报告和其他临时公告等文件,对
信息披露文件的内容及格式、履行的相关程序进行了检查。

     经核查,保荐机构认为,上市公司严格按照证券监督部门的相关规定进行信
息披露,依法公开对外发布各类定期报告或临时报告,确保各项重大信息的披露
真实、准确、完整、及时,不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。


    三、重大风险事项

     2023 年上半年度,公司未发生重大风险事项。公司目前面临的风险因素主
要如下:
    (一)经营风险

    1、下游客户扩产不及预期的风险

    近年来,芯片晶圆厂和 LED 芯片制造商审慎地进行扩产。不能排除下游晶
圆厂和 LED 芯片制造商的后续投资不及预期,对相关设备的采购需求减弱,这
将影响公司的订单量,进而对公司的业绩产生不利影响。

    2、全体员工持股带来的公司治理风险

    作为科技创新型企业,中微公司秉承扁平化的全员激励原则,对不同层级员
工均给予股权激励。员工持股计划涉及公司全体员工的个人利益,在员工持股计
划限售期届满后,如何实现员工保持相当的激励水平,对公司的管理能力提出了
一定的挑战。如果公司未来未能使员工持股计划持续作为员工整体薪酬的重要组
成部分,将可能导致公司人员流失等治理风险。

    3、政府补助与税收优惠政策变动的风险

    公司自成立以来先后承担了多项政府重大科研项目。如果公司未来不能持
续获得政府补助或政府补助显著降低,将会对公司经营业绩产生不利影响。

    公司为高新技术企业,报告期内公司享受高新技术企业 15%所得税的优惠
税率,如果国家上述税收优惠政策发生变化,或者公司未能持续获得高新技术企
业资质认定,则可能面临因税收优惠减少或取消而降低盈利的风险。

    (二)行业风险

    1、供应链风险

    近年来,受复杂的国际形势影响,半导体器件供应链持续紧张,公司部分关
键零部件和进口的材料采购周期较长,少量零部件供应处于停滞状态。公司对关
键零部件供应商采取多厂商策略支持零部件及时供应。若未来上游供应链产能紧
张形势延续,将对公司设备交期产生不利影响,进而影响公司销售。

    2、行业政策变化风险

    集成电路产业作为信息产业的基础和核心,是国民经济和社会发展的战略
性产业。国家出台了一系列鼓励政策以推动我国集成电路及其装备制造业的发展,
增强产业创新能力和国际竞争力。若未来国家相关产业政策支持力度减弱,将对
公司发展产生一定影响。

    3、国际贸易摩擦加剧风险

    近年来,国际贸易摩擦不断。中美贸易摩擦在众多国际贸易摩擦中备受关
注。如果中美贸易摩擦继续恶化,公司的生产运营将受到一定影响。公司始终严
格遵守中国和他国法律,一直保持与相关政府部门的及时沟通。公司拥有部分海
外业务,存在一定的国际贸易摩擦风险。

    (三)其他风险

    1、知识产权风险

    半导体设备行业是典型的技术密集型行业,为了保持技术优势和竞争力,防
止技术外泄风险,已掌握先进技术的半导体设备企业通常会通过申请专利等方式
设置较高的进入壁垒。公司一贯重视自主知识产权的研发,建立了科学的研发体
系及知识产权保护体系,但仍不能排除与竞争对手产生知识产权纠纷,亦不能排
除公司的知识产权被侵权,此类知识产权争端将对公司的正常经营活动产生不利
影响。

    公司在全球范围内销售产品,在多个国家或地区注册知识产权,但不同国
别、不同的法律体系对知识产权的权利范围的解释和认定存在差异,若引发争议
或诉讼将影响业务经营。

    此外,产业链上下游供应商与客户的经营也可能受知识产权争议、诉讼等因
素影响,进而间接影响公司正常的生产经营。

    2、人才资源风险

    关键技术人员是公司生存和发展的关键,也是公司获得持续竞争优势的基
础。公司已经通过全员持股方式,有效提高了关键技术人员和研发团队的忠诚度
和凝聚力,但随着国际贸易摩擦不断、半导体设备行业对专业技术人才的需求与
日俱增,人才竞争不断加剧,若公司不能提供更好的发展平台、更有竞争力的薪
酬待遇及良好的研发条件,存在关键技术人员特别是美籍人员流失的风险。
    3、投资风险

    针对契合中微公司的中长期发展战略、有发展潜力的标的公司或部门,中微
公司计划通过股权投资、并购等方式进行布局,以拓展公司业务领域,培育新的
利润增长点,进一步提升公司防范市场波动风险并提升公司盈利能力。在进行投
资和并购项目实施过程中,将面临投资风险及并购风险。

    (1)投资风险

    基于产业支持政策、市场环境和发展趋势,公司经过尽职调查及可行性研究
作出项目投资决策。公司投资项目标的企业在后续发展过程中,可能面临产业政
策变化、市场环境变化、产品技术水平不达预期等诸多不确定因素,可能导致其
实际经营表现不达预期,导致投资项目的实际效益与预期结果存在较大差异,进
而对公司利润产生不利影响。

    (2)并购风险

    公司强调稳健发展,坚持实施内生性增长与外延式并购相结合的发展策略。
虽然公司未来并购时将继续秉承审慎原则,相应制定整合计划,防范并购风险,
但若出现宏观经济波动、市场竞争加剧、地缘政治环境变化、被并购公司业绩低
于预期或协同效应未显现等情形,将对公司的经营业绩产生不利影响。

    4、研发投入不足导致技术被赶超或替代的风险

    公司所处的半导体设备行业属于技术密集型行业,半导体关键设备的研发
涉及等离子体物理、射频及微波学、结构化学、微观分子动力学、光谱及能谱学、
真空机械传输等多种科学技术及工程领域学科知识的综合应用,具有产品技术升
级快、研发投入大、研发周期长、研发风险高等特点。

    国外领先的半导体设备公司均在研发方面投入巨额资金。公司研发投入总
额与国外领先的半导体公司有相当大的差距。如果公司未来研发资金投入不足,
不能满足技术升级需要,可能导致公司技术被赶超或替代的风险,对公司未来的
经营业绩产生不利影响。


    四、重大违规事项
     2023 年上半年,公司不存在重大违规事项。


    五、主要财务指标的变动原因及合理性


    2023 年上半年度,公司主要会计数据如下所示:

                                                                              单位:万元
                                       本报告期                        本报告期比上年同
          主要会计数据                                 上年同期
                                     (1-6 月)                         期增减(%)
            营业收入                    252,650.10       197,179.48                 28.13
   归属于上市公司股东的净利润           100,296.95        46,779.39                114.40
归属于上市公司股东的扣除非经常性
                                         51,891.35        44,070.68                 17.75
          损益的净利润
   经营活动产生的现金流量净额            -68,502.05        6,230.92             -1,203.30
                                                                       本报告期末比上年
                                     本报告期末        上年度末
                                                                       度末增减(%)
   归属于上市公司股东的净资产          1,678,488.96     1,548,393.19                 8.40
             总资产                    2,066,672.64     2,003,478.15                 3.17


    2023 年上半年度,公司主要财务指标如下所示:

                                       本报告期                    本报告期比上年同期
           主要财务指标                               上年同期
                                     (1-6 月)                       增减(%)
基本每股收益(元/股)                       1.63           0.76                   114.47
稀释每股收益(元/股)                       1.62           0.76                   113.16
扣除非经常性损益后的基本每股收益(
                                             0.84           0.72                    16.67
元/股)
加权平均净资产收益率(%)                  6.25%          3.28%        增加 2.97 个百分点
扣除非经常性损益后的加权平均净资产
                                           3.24%          3.09%        增加 0.15 个百分点
收益率(%)
研发投入占营业收入的比例(%)             18.22%         17.56%        增加 0.66 个百分点


    1、营业收入同比增长 28.13%。其中刻蚀设备收入增长约 32.53%,达 17.22
亿元;设备收入增长约 24.11%,达 2.99 亿元;备品备件及服务收入增长约 17.14%,
达 5.05 亿元。

    2、归属于上市公司股东的净利润为 10.03 亿元,较上年同期增加约 5.35 亿
元,同比增长约 114.40%,主要系本期收入和毛利增长下扣除非经常性损益的净
利润较上年同期增加,以及公司于 2023 年上半年出售了部分持有的拓荆科技股
份有限公司股票,产生税后净收益约 4.06 亿元(非经常性收益)。

    3、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为 5.19 亿元,较上年
同期增加 0.78 亿元,同比增长 17.75%。主要系本期收入及毛利增长。

    4、经营活动产生的现金流量净额由去年同期的 6,230.92 万元,下降至-
68,502.05 万元,主要系本期购买商品、接受劳务支付的现金较上年同期增加所
致。

    5、基本每股收益同比提升 114.47%,主要系公司净利润增长所致。

    6、归属于上市公司股东的净资产同比增长 8.40%,主要系公司利润增长所
致。


       六、核心竞争力的变化情况


    本持续督导期间,公司核心竞争力未发生变化。


       七、研发支出变化及研发进展

       (一)研发支出变化情况

    公司面向世界先进技术前沿,以国际先进的研发理念为依托,专注于高端微
观加工设备的自主研发和创新。公司始终保持大额的研发投入和较高的研发投入
占比。公司具有一支技术精湛、勇于创新的国际化人才研发队伍,形成了良好的
企业创新文化,为公司持续创新和研发提供保障力量。

    公司坚持自主创新,产品布局及技术研发面向世界科技前沿。报告期内,公
司继续保持较高的研发投入,与国内外一流客户保持紧密合作,相关设备产品研
发进展顺利、客户端验证情况良好。2023 年上半年公司研发投入为 4.60 亿元,
相较去年同期增长 32.96%,占收入比例为 18.22%。

       (二)研发进展

    公司积累了深厚的技术储备和丰富的研发经验,这一优势保证了公司产品和
服务的不断进步。公司拥有多项自主知识产权和核心技术,截至 2023 年 6 月 30
日,公司已申请 2,359 项专利,其中发明专利 1,991 项;已获授权专利 1,425 项,
其中发明专利 1,202 项。

    在逻辑集成电路制造环节,公司开发的 12 英寸高端刻蚀设备已运用在国际
知名客户最先进的生产线上并用于 5 纳米、5 纳米以下器件中若干关键步骤的加
工;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求持续进行设备开发和工艺优化。在
3D NAND 芯片制造环节,公司的等离子体刻蚀设备已应用于 64 层和 128 层的
量产,同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽比的刻蚀设备和工艺;
公司也根据逻辑器件客户的需求,正在开发更先进刻蚀应用的设备。公司的
MOCVD 设备 Prismo A7、Prismo UniMax能分别实现单腔单腔 34 片 4 英寸和
41 片 4 英寸外延片加工能力。公司的 Prismo A7 与 Prismo UniMax设备技术实
力突出,已在全球氮化镓基 LED MOCVD 市场中占据领先地位。公司和诸多一
流的 LED 外延片厂商公司紧密合作,实现了产业深度融合。公司开发的 12 英寸
低压薄膜沉积设备可以用于先进逻辑电路接触孔填充工艺,以及 3D NAND 器件
的多个工艺的制程要求,同时公司还致力于更先进逻辑电路的接触孔填充设备和
更多层数的存储器件接触孔和金属互联填充设备的开发和工艺验证。公司高端设
备产品和技术处于世界先进水平,产品研发提前布局,符合行业发展趋势。


    八、新增业务进展是否与前期信息披露一致


    不适用。


    九、募集资金的使用情况是否合规

     (一)2019 年首次公开发行股票募集资金

    截至 2023 年 6 月 30 日,公司首发募集资金专户余额为人民币 29,402.47 万
元(含募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下:

                        项目                            金额(万元)
 首发募集资金专户年初余额                                          1,913.97
 加:年初用于现金管理金额                                         45,000.00
 首发募集资金年初余额                                             46,913.97
 减:本年度直接投入募投项目                                                -
 减:募投项目结项资金转出                                                  -
 加:募集资金利息收入扣减手续费净额                                   488.50
 减:报告期末用于现金管理的金额                                  18,000.00
 首发募集资金专户年末余额                                        29,402.47

     (二)2020 年度向特定对象发行 A 股股票募集资金

    截至 2023 年 6 月 30 日,公司再融资募集资金专户余额为人民币 50,725.80
万元(含募集资金利息收入扣减手续费净额)。具体情况如下:

                        项目                           金额(万元)
 再融资募集资金专户年初余额                                      21,013.00
 加:年初用于现金管理的金额                                     653,656.80
 再融资募集资金专户年初余额                                     674,669.80
 减:本报告期直接投入募投项目                                    34,129.33
 加:募集资金利息收入扣减手续费净额                              10,277.86
 减:报告期末用于现金管理的金额                                 600,092.53
 再融资募集资金专户期末余额                                      50,725.80

    公司 2023 年上半年募集资金存放与使用情况符合《证券发行上市保荐业务
管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管
要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公
司自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规和制度文件的规定,对募集资
金进行了专户存储和专项使用,并及时履行了相关信息披露义务,募集资金具体
使用情况与公司已披露情况一致,不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益
的情况,不存在违规使用募集资金的情形,募集资金管理和使用不存在违反国家
反洗钱相关法律法规的情形。


    十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、冻
结及减持情况


    截至 2023 年 6 月 30 日,公司无控股股东、实际控制人,公司董事、监事、
高级管理人员和核心技术人员持有公司股份变动的情况如下:
                                                                    报告期内
                                      期初持股     期末持股         股份增减    增减变
      姓名               职务
                                      数(股)     数(股)         变动量      动原因
                                                                    (股)
                    董事长、总经                                                因个人资
 GERALD ZHEYAO
                    理、核心技术人     5,570,766    4,659,436        -911,330   金需求减
 YIN(尹志尧)
                    员                                                          持
                                                                                因个人资
 ZHIYOU DU(杜      副总经理、核心
                                       1,864,326    1,398,326        -466,000   金需求减
 志游)             技术人员
                                                                                持
                                                                                因个人资
 TUQIANG NI(倪     副总经理、核心
                                       1,139,358        954,358      -185,000   金需求减
 图强)             技术人员
                                                                                持
                                                                                因个人资
 WEIWEN CHEN        财务负责人、副
                                         872,142        654,242      -217,900   金需求减
 (陈伟文)         总经理
                                                                                持
                                                                                因个人资
                                                                                金需求减
 STEVE SZE-YEE
                    核心技术人员       2,212,106    1,876,326        -335,780   持;部分
 MAK(麦仕义)
                                                                                限制性股
                                                                                票归属
                                                                                因个人资
                                                                                金需求减
 JAMES WEI YANG
                    核心技术人员       1,001,770        594,017      -407,753   持;部分
 (杨伟)
                                                                                限制性股
                                                                                票归属
                                                                                因个人资
 STEVEN                                                                         金需求减
 TIANXIAO LEE       核心技术人员       1,937,157    1,663,782        -273,375   持;部分
 (李天笑)                                                                     限制性股
                                                                                票归属

    2023 年上半年度,公司董事、监事、高级管理人员和核心技术人员被授予的
股权激励情况如下:

                                     期初已    报告期                           期末已
                                     获授予    新授予                 已归属    获授予
                                                          可归属
     姓名              职务          限制性    限制性                 数量      限制性
                                                          数量
                                     股票数    股票数                 (股)    股票数
                                       量        量                               量
 GERALD           董事长、总经
 ZHEYAO YIN       理、核心技术人     101,120   110,700     25,280          0     211,820
 (尹志尧)       员
                                 期初已    报告期                        期末已
                                 获授予    新授予              已归属    获授予
                                                     可归属
        姓名           职务      限制性    限制性              数量      限制性
                                                     数量
                                 股票数    股票数              (股)    股票数
                                   量        量                            量
 ZHIYOU DU      副总经理、核心
                                  71,300    79,700    17,825        0    151,000
 (杜志游)     技术人员
 朱新萍         副总经理          54,700    61,700    13,675        0    116,400
 TUQIANG NI     副总经理、核心
                                  41,200    61,700    10,300        0    102,900
 (倪图强)     技术人员
 WEIWEN
                副总经理、财务
 CHEN(陈伟                       39,400    44,500     9,850        0     83,900
                负责人
 文)
                副总经理、董事
 刘晓宇                           29,800    44,500     7,450        0     74,300
                会秘书
 陶珩           董事              42,299    44,500    12,449        0     79,299
 丛海           董事              30,905    32,800     9,107        0     58,178
 JAMES WEI
                核心技术人员      60,500    29,420    18,000   18,000     71,920
 YANG(杨伟)
 STEVEN
 TIANXIAO LEE   核心技术人员      53,000    29,420    15,500    6,500     66,920
 (李天笑)
 STEVE SZE-
 YEE MAK(麦    核心技术人员      22,900    10,850     6,850    2,350     26,900
 仕义)
        合计    /                547,124   549,790   146,286   26,850   1,043,537


    十一、上市公司是否存在《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应向
中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项


    经核查,截至本持续督导跟踪报告出具之日,上市公司不存在按照《保荐办
法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应
当发表意见的其他事项。

    (以下无正文)