证券代码：688120         证券简称：华海清科           公告编号：2023-053




                   华海清科股份有限公司
关于 12 英寸单片终端清洗机出货的自愿性披露公告


    本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、误导性陈述

或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性依法承担法律责任。



重要内容提示
       近日，华海清科股份有限公司（以下简称“公司”）首台 12 英寸单片终
端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅片龙头企业。
       HSC-F3400 机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制
系统，可稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。
       该产品是公司继 CMP 设备、减薄设备之后，在湿法设备系列产品中的又
一重要布局，对公司未来的发展将产生积极的影响。
       该产品尚需市场推广和更多客户对该产品进行验证，存在未来市场推广
与客户开拓不及预期的风险。


   一、   产品基本信息
    近日，公司首台 12 英寸单片终端清洗机 HSC-F3400 机台出机发往国内大硅
片龙头企业。
    HSC-F3400 机型是公司面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性
能设备，该机型配备了新型清洗模块、干燥模块及颗粒与金属污染控制系统，可
稳定实现大硅片正面及背面的高效率超洁净清洗。机台搭载的高性能卡盘夹持技
术，确保晶圆稳定高速运转，在产能优势明显的同时，具备安全性高、工艺调整
灵活、可靠性强的特点，能够以较高使用寿命满足低成本运维需求。
   二、   对公司的影响
    HSC-F3400 机型作为公司自主研发的终端清洗设备，是公司继 CMP 设备、减
薄设备之后，在湿法设备系列产品中推出的又一项重要成果。本次首台 12 英寸
单片终端清洗机出货是公司立足产业化、面向市场需求全面发展的又一重要布局，
对公司未来的发展将产生积极的影响，有利于公司践行“装备+服务”的平台化
发展战略。
   三、      相关风险提示
    公司 12 英寸单片终端清洗机尚需市场推广和更多客户对该产品进行验证，
存在未来市场推广与客户开拓不及预期的风险。
    敬请广大投资者注意投资风险。


    特此公告

                                                  华海清科股份有限公司

                                                        董   事   会

                                                      2023 年 9 月 27 日