海通证券股份有限公司

           关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

       进一步明确募集资金投资项目相关事项的核查意见



    海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为中微

半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“中微公司”或“公司”）首次公

开发行股票并上市及2020年度向特定对象发行股票持续督导保荐机构，根据《证

券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金

管理和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易

所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等有关规定，对公司进一

步明确募集资金投资项目相关事项进行了核查，具体情况如下：

    一、 募集资金基本情况

    中国证券监督管理委员会于2021年3月3日出具证监许可[2021]645号文《关

于同意中微半导体设备（上海）股份有限公司向特定对象发行股票注册的批复》

核准了公司向特定对象发行80,229,335股人民币普通股A股股票。截至2021年6月

22日止，公司完成了人民币普通股A股80,229,335股的发行，每股发行价格为人民

币102.29元，股款以人民币缴足，合计人民币820,665.87万元，扣除承销及保荐费

用共计人民币8,206.66万元（不含增值税）后，实际收到募集资金计人民币

812,459.21万元，再扣除其他发行费用人民币合计642.96万元（不含增值税）后，

实际募集资金净额为人民币811,816.24万元（以下简称“再融资募集资金”），上

述资金于2021年6月22日到位，业经普华永道中天会计师事务所（特殊普通合伙）

予以验证并出具了普华永道中天验字（2021）第0638号验资报告。

    二、募集资金投资项目情况

    根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股

股票募集说明书》及《中微公司：关于调整向特定对象发行股票募投项目募集资


                                   1
金投入金额的公告》，本次募投项目情况如下：

   项目名称       募集资金承诺投资总额（万元）     调整后投资总额（万元）
 中微产业化基地
                                     317,000.00                    317,000.00
 建设项目
 中微临港总部和
                                     375,000.00                    375,000.00
 研发中心项目
 科技储备资金                        308,000.00                    119,816.24
     合计                           1,000,000.00                   811,816.24


    三、本次进一步明确募集资金投资项目相关事项

    根据《中微半导体设备（上海）股份有限公司2020年度向特定对象发行A股

股票募集说明书》，募投项目科技储备资金将用于满足新产品协作开发项目、对

外投资并购项目等需求。公司为提升募集资金的使用效率、更好地为股东创造回

报，基于公司目前战略目标和业务发展规划，本次进一步明确募集资金投资项目

相关事项，科技储备资金拟用于新产品的自主研发，研发项目包括集成电路薄膜

设备、集成电路检测设备、集成电路刻蚀设备、新型MOCVD设备、大面积平板

显示设备和其他集成电路设备等，有助于公司打造平台型的设备龙头。

    本次进一步明确募集资金投资项目相关事项，是基于市场变化的客观情况及

实际经营发展需要，符合公司战略规划发展布局，有利于公司提高整体研发效率

和募集资金使用效率，优化研发项目之间的资源配置，加快推进研发项目进度，

符合公司长远发展要求及全体股东的利益。

    上述事项不会对募投项目的实施造成实质性影响，不存在改变或变相改变募

集资金投向或损害公司和股东利益的情形，不会对公司的正常经营产生重大不利

影响，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管

要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等法

律、法规、规范性文件及公司制定的《募集资金管理办法》等规定的情形。

    四、保荐机构核查意见

    经核查，保荐机构认为，公司本次进一步明确募集资金投资项目相关事项已

经公司董事会、监事会审议通过，履行了必要的审批程序；公司本次进一步明确

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募集资金投资项目相关事项，不涉及变相改变募集资金用途，不影响募集资金投

资计划的正常进行，符合《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理

和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科

创板上市公司自律监管规则适用指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募

集资金管理制度。保荐机构对本次进一步明确募集资金投资项目相关事项无异议。

    （以下无正文）




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