中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会

                    关于 2020 年股票增值权激励计划

                    第四个行权期行权名单的核查意见

    中微半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中
华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以
下简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》（以下简称“《上市规则》”）和《中微
半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）等有关规
定，对公司 2020 年股票增值权激励计划（以下简称“本次激励计划”）第四个行
权期行权名单进行审核，发表核查意见如下：

    公司 2020 年股票增值权激励计划第四个行权期 6 名激励对象符合《公司法》、
《证券法》等法律、法规和规范性文件以及《公司章程》规定的任职资格，符合
《管理办法》、《上市规则》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符
合本次激励计划规定的激励对象范围，其作为公司本次激励计划激励对象的主体
资格合法、有效，激励对象获授股票增值权的行权条件已成就。

    监事会同意公司为本次符合条件的 6 名激励对象办理行权，对应的股票增值
权可行权数量为 13.67 万份。上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定
的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。

    特此公告。

                                  中微半导体设备（上海）股份有限公司监事会
                                                              2024 年 8 月 22 日