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公司公告

上海新阳:关于KrF(248nm)光刻胶取得订单的公告2021-06-30  

                        证券代码:300236           证券简称:上海新阳         公告编号:2021- 043


                   上海新阳半导体材料股份有限公司

         关于KrF(248nm)厚膜光刻胶产品取得订单的公告


    本公司及董事会全体成员保证信息披露内容的真实、准确和完整,没有虚
假记载、误导性陈述或重大遗漏。



    一、基本情况

    上海新阳半导体材料股份有限公司(以下简称“公司”)自主研发的KrF
(248nm)厚膜光刻胶产品近日已通过客户认证,并成功取得第一笔订单。

    KrF(248nm)厚膜光刻胶产品的开发和产业化是公司第三大核心技术——光
刻技术的重要方向之一,本次产品认证的通过及订单的取得,标志着“KrF(248nm)
厚膜光刻胶产品的开发和产业化” 取得了成功,为公司在光刻技术领域目标的
全面完成奠定了坚实基础。

    二、对公司的影响

    光刻胶材料是集成电路制造领域的重要关键材料,广泛应用于350nm-14nm
甚至 7nm 技术节点的集成电路制造工艺。随着国内晶圆厂建设的不断增多,以
及国外光刻胶巨头产能受限,供需紧张,国内对光刻胶产品的需求也将快速增长,
公司光刻胶产品的订单取得意义重大,将对公司该类产品的认证及销售产生积极
的作用,有利于公司业务的长期发展。




                                   上海新阳半导体材料股份有限公司董事会
                                                 2021 年 6 月 30 日