公司代码：603690 公司简称：至纯科技 公告编号：2019-014
上海至纯洁净系统科技股份有限公司
2018 年年度报告摘要
一 重要提示
1 本年度报告摘要来自年度报告全文，为全面了解本公司的经营成果、财务状况及未来发展规
划，投资者应当到上海证券交易所网站等中国证监会指定媒体上仔细阅读年度报告全文。
2 本公司董事会、监事会及董事、监事、高级管理人员保证年度报告内容的真实、准确、完
整，不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏，并承担个别和连带的法律责任。
3 公司全体董事出席董事会会议。
4 众华会计师事务所（特殊普通合伙）为本公司出具了标准无保留意见的审计报告。
5 经董事会审议的报告期利润分配预案或公积金转增股本预案
以股权登记日的总股本为基数，向股权登记日登记在册的全部股东派发现金红利，每 10 股派
送现金 0.38 元（含税），共计分配现金股利 9,807,460.20 元，占合并报表本年实现归属于母公司
净利润的 30.23%。
二 公司基本情况
1 公司简介
公司股票简况
股票种类 股票上市交易所 股票简称 股票代码 变更前股票简称
A股 上海证券交易所 至纯科技 603690 无
联系人和联系方式 董事会秘书 证券事务代表
姓名 柴心明 张娟
办公地址 上海市闵行区紫海路170号 上海市闵行区紫海路170号
电话 021-80238290 021-80238290
电子信箱 dong_ban@pncs.cn dong_ban@pncs.cn
2 报告期公司主要业务简介
（一）公司从事的主要业务
1.公司的主要业务公司主要从事气体化学品相关的高纯工艺系统及半导体装备的研发、生产、
销售和技术服务，是国内主流的合格供应商。
高纯工艺系统产品主要包括：气体高纯工艺设备及系统、化学品高纯工艺设备及系统以及物
料及水系统，广泛应用于集成电路、微机电系统、平板显示、光伏、半导体照明、光纤、生物制
药、食品饮料等领域。
半导体装备产品主要包括：湿法槽式清洗设备及湿法单片式清洗设备，主要应用于集成电路、
微机电系统、平板显示等领域。
2.公司的产品和服务
公司在报告期内为用户提供高纯工艺系统、湿法工艺设备。
1）高纯工艺系统
高纯工艺系统的核心是系统设计，系统由专用设备、侦测传感系统、自控及软件系统、管阀
件等组成；系统的前端连接高纯介质储存装置，系统的终端连接客户自购的工艺生产设备。
在高纯工艺系统业务，公司加大了对于工艺减排、工艺数字化产品及服务的布局。
泛半导体工艺伴随许多种特殊制程，会使用到大量超高纯（ppt 级别）的干湿化学品，这是
完成工艺成果的重要介质，其特点是昂贵并伴随排放。公司在用户价值上聚焦六个词：“高纯、工
艺、节能、环保、自动化、智能化”。公司在湿法工艺往深度走的同时，在减排和工艺数字化领域
也投入研发，有具体的产品和服务的部署，该领域的投入兼具经济效益和社会效益。
2）湿法工艺设备
公司提供湿法设备，包含槽式湿法设备及单片式湿法设备。
随着半导体芯片工艺技术的发展，工艺技术节点进入 28 纳米、14 纳米等更先进等级，随着
工艺流程的延长且越趋复杂，每个晶片在整个制造过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤， 晶圆清
洗变得更加复杂、重要及富有挑战性； 清洗设备及工艺也必须推陈出新，使用新的物理和化学原
理，在满足使用者的工艺需求条件下，兼顾降低晶圆清洗成本和环境保护。
目前，公司湿法工艺设备所部署的技术路线：提供槽式设备（槽数量按需配置）及单片机设
备（8~12 反应腔）均可以提供 8~12 寸晶圆制造的湿法工艺设备。该类设备可以应用在先进工艺
上：主要为记忆体（DRAM，3D Flash）、逻辑产品以及今年来迅速发展的特殊工艺上，例如薄片工
艺、化合物半导体、金属剥离制程等。
在技术储备上，公司将持续投入资源开发符合高阶工艺应用的设备（如多反应腔、18 腔、高
温硫酸设备等）。
公司的湿法工艺设备的子系统包含药液循环系统、温控系统、传送系统、自动控制系统、通
信 系 统 、 传 感 控 制 系 统 、 气 体 流 场 设 计 、 反 应 药 液 回 收 环 设 计 等 。
（槽式设备启东工厂实物图） （单片式设备启东工厂实物图）
（二）经营模式
公司提供的主要产品为高纯工艺系统和工艺设备，以定制化设计、生产、安装、调试为主要
生产模式，包括公司开发生产的高纯工艺系统的专用设备和设计加工的输送分配管道等。同时公
司还提供客户厂务建设的配套工程、以高纯工艺系统为核心的检测、维护保养、系统升级和厂务
托管等增值服务。公司业务经营模式主要包括以下方面：
1.以竞标为主的营销模式
公司持续研究下游行业发展动态，集中聚焦于未来 1-2 年内市场需求最旺盛、盈利前景最好
的重点行业，通过参加行业展会、举办系统知识讲座、定期回访存量用户以了解用户工艺更新需
求、收集行业资讯等方式获取客户需求与业务信息。
2.项目采购为主、集中采购为辅的采购模式
公司以项目为单位进行定制化的设计、生产和安装，以满足不同客户的生产工艺要求。在采
购方面，公司以项目采购为主，集中采购为辅，以满足不同承接项目的不同生产工艺所要求的原
材料采购。这种生产模式可以有效地规避大量原材料的囤积。
公司在根据不同项目要求分次采购的同时，还会针对长交期或者产业上游元器件交期波动的
情形进行一定量集中采购以实现提前备货，这种方式可以提高公司的议价能力，降低采购单价或
延长公司付款信用期，有利于公司与供应商建立良好的合作关系，保证货源的质量和充足性，降
低项目采购可能造成的原材料不足的风险。
3.以定制为核心的生产模式
公司的主要产品为高纯工艺系统和湿法设备，其生产过程包括设计、专用设备生产、现场预
制、系统安装四个环节。由于客户的工艺要求不同，系统生产均采用定制化模式，即中标以后，
由技术中心以项目为单位制定系统的整体设计方案；系统所用的专用设备由制造中心根据技术中
心的要求制定设备的生产工艺流程，在公司的生产车间完成；湿法工艺设备依据客户的工艺流程
以及不同的化学品，设计成蚀刻、清洗、去胶、刷片设备，在设计人员完成设备设计后；制造中
心负责机构、管路、控制单元、自动化、软件、设备验证等程序，最后再到客户现场安装并完成
工艺验证；
4、以增值服务为后续盈利点之一的服务模式
公司提供的服务主要包括两部分内容：
（1）产品售后服务，主要是高纯工艺系统的调试与维护保养。这部分业务的发展与壮大主要
依赖高纯工艺系统的销售情况，难以独立划分；
（2）系统检测、标定、数据分析和气化厂务托管。这部分业务系公司提供的增值服务，检测
与标定能够帮助客户实现生产监督、及时发现运行中的问题，数据分析能够帮助客户深入了解实
际生产情况、改进工艺，气化厂务托管则涵盖客户生产的全部过程，有利于客户专注于自身终端
产品的研发和销售。
（三）行业情况
在应用领域上，高纯工艺系统的使用范围越来越广。不纯物控制技术最初应用在半导体行业。
随着半导体制程工艺的广泛应用，现代制造业形成了一个泛半导体产业，即皆以半导体制程为产
品的制造流程，其中的制程包括如掺杂、光刻、刻蚀、CVD 成膜等均需使用相当多的高纯度气体
和高纯度化学品，从而产生对高纯工艺系统的大量需求。
在湿法设备所在的领域，清洗作为半导体产业链中不可替代的一环，有着稳定增长的市场空
间。根据 SEMI 数据，2015 年，全球半导体清洗设备的市场规模为 26 亿美元，到 2017 年发展到
32.3 亿美元，据 ACMR 估计，2020 年，清洗设备将达到 37 亿美元，而随着清洗工序不断增加，
新建厂线增加和改进的驱动下，未来 5 年市场需求呈上升趋势。对于国内清洗设备的市场规模，
广发证券研究所根据已经声明的产线计划，预测清洗设备在 2020 年达到市场需求高点，为 105
亿元。而 2018 年至 2022 年五年内共有 424 亿元的市场空间。
其次，在半导体工艺制程越来越先进的情况下，对颗粒大小的要求也越来越严格。现在工艺
节点到了 28nm 以下，清洗步骤会越来越多。
随着下游客户所在行业的不断发展升级，我们评估公司所在主营业务领域呈现以下趋势：
1、境内企业的主导地位增强
随着泛半导体、生物制药等行业的发展，尤其是半导体制程工艺的不断升级，下游客户对高
纯工艺的要求不断提高，进入壁垒相对较高。长久以来，该领域以日本、美国、韩国、法国等国
际供应商为主。湿法设备更是基本由 3 家日本企业和一家美国企业把握了中国 92%以上的市场。
公司十多年来持续服务于泛半导体行业，紧随泛半导体行业几乎从零开始到如今遍地开花的
高速发展，随着下游行业中的国内企业蓬勃发展，中国相关专业企业的主导地位在增强，公司产
品和服务已经顺利进入一线用户，证明了本土供应商完全有实力服务于本土的一线用户，逐步实
现进口替代。晶圆厂的要求极高，高纯工艺系统的合格和稳定直接关乎良品率，湿法工艺设备的
品质和稳定性直接反应在工艺结果上，都有一定的难度，这是壁垒也是机遇。
随着国内晶圆厂的扩建浪潮，加上众所周知的国际背景，未来，本土供应商凭借成本优势、
快速响应优势以及跟动研发的优势，只要能交付高品质高效率的系统和设备，会有更多发展机会。
2、下游行业的需求总量持续增长
高纯工艺系统的下游行业均属于国家战略新兴产业。国家对这些产业的发展进行了总体布局
并先后出台了多项产业政策以实现总体规划。未来 5-8 年国内将持续新建晶圆厂，作为下游行业
生产工艺过程的重要组成部分，高纯工艺系统将迎来一轮成长周期。同时随着晶圆厂的陆续建成，
工艺设备的需求呈上升趋势，有能力的国产设备供应商将迎来市场新机遇。
3、产品和服务的融合
随着制造业产业升级的加快及本土供应商技术实力的增强，客户对一体化供应商的需求增强。
高纯工艺行业从满足客户的单一系统逐步向为客户提供某个工艺段系统化的解决方案演变。以湿
法工艺为抓手，公司布局了湿法设备，可以响应用户蚀刻、清洗、去胶、刷片等工艺应用；公司
也布局了以清洗为主要工艺之一的十二寸晶圆再生业务；同时公司积极推进和用户一起开发湿法
工艺的服务。在未来的营业收入中，会有一定量的产品服务化的收入。
3 公司主要会计数据和财务指标
3.1 近 3 年的主要会计数据和财务指标
单位：元 币种：人民币
本年比上年
2018年 2017年 2016年
增减(%)
总资产 1,453,849,863.04 998,781,335.73 45.56 620,279,150.70
营业收入 674,090,652.58 369,077,914.79 82.64 263,297,955.72
归属于上市公司 32,439,104.73 49,291,415.43 -34.19 45,309,185.87
股东的净利润
归属于上市公司 28,714,667.45 41,423,081.66 -30.68 34,438,729.34
股东的扣除非经
常性损益的净利
润
归属于上市公司 435,654,184.82 405,063,513.34 7.55 293,040,865.64
股东的净资产
经营活动产生的 -52,829,726.47 -68,204,771.73 22.54 -18,418,459.34
现金流量净额
基本每股收益（元 0.155 0.238 -34.87 0.290
／股）
稀释每股收益（元 0.155 0.238 -34.87 0.290
／股）
加权平均净资产 7.71 12.89 减少5.18个百分 16.76
收益率（%） 点
3.2 报告期分季度的主要会计数据
单位：元 币种：人民币
第一季度 第二季度 第三季度 第四季度
（1-3 月份） （4-6 月份） （7-9 月份） （10-12 月份）
营业收入 73,526,175.78 114,838,904.32 131,944,347.10 353,781,225.38
归属于上市公司股东的净利
2,235,818.41 16,840,421.43 8,299,073.45 5,063,791.44
润
归属于上市公司股东的扣除
1,759,667.72 16,430,163.84 7,610,730.45 2,914,105.44
非经常性损益后的净利润
经营活动产生的现金流量净
-35,994,168.00 -32,251,610.85 4,323,782.58 11,092,269.80
额
季度数据与已披露定期报告数据差异说明
□适用 √不适用
4 股本及股东情况
4.1 普通股股东和表决权恢复的优先股股东数量及前 10 名股东持股情况表
单位: 万股
截止报告期末普通股股东总数（户） 15,767
年度报告披露日前上一月末的普通股股东总数（户） 12,565
截止报告期末表决权恢复的优先股股东总数（户） 0
年度报告披露日前上一月末表决权恢复的优先股股东总数（户） 0
前 10 名股东持股情况
持有有限 质押或冻结情况
股东名称 报告期 期末持股 比例 股东
售条件的 股份
（全称） 内增减 数量 (%) 数量 性质
股份数量 状态
蒋渊 0 7,600.32 36.03 7,600.32 质押 3,690 境内自
然人
陆龙英 0 2,786.16 13.21 2,786.16 质押 1,500 境内自
然人
尚纯（上海）投资咨询 0 1,266.72 6.01 1,266.72 质押 1,266.72 境内非
中心（有限合伙） 国有法
人
上海联新投资中心(有 -210 1,194 5.66 0 无 境内非
限合伙) 国有法
人
吴海华 -101 913 4.33 0 质押 150 境内自
然人
宁波维科新业成长一号 -298.35 793.65 3.76 0 无 境内非
创业投资合伙企业（有 国有法
限合伙） 人
中国银行股份有限公司 487.54 487.54 2.31 0 无 其他
－海富通股票混合型证
券投资基金
交通银行股份有限公司 244.91 244.91 1.16 0 无 其他
－易方达科讯混合型证
券投资基金
中国工商银行股份有限 239.27 239.27 1.13 0 无 其他
公司－易方达新兴成长
灵活配置混合型证券投
资基金
基本养老保险基金一二 232.96 232.96 1.10 0 无 其他
零二组合
上述股东关联关系或一致行动的 公司前十名流通股股东，公司未知其是否存在关联关系或一致
说明 行动关系。
表决权恢复的优先股股东及持股 不适用
数量的说明
4.2 公司与控股股东之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
4.3 公司与实际控制人之间的产权及控制关系的方框图
√适用 □不适用
4.4 报告期末公司优先股股东总数及前 10 名股东情况
□适用 √不适用
5 公司债券情况
√适用 □不适用
5.1 公司债券基本情况
单位:元 币种:人民币
发行
债券名称 简称 代码 到期日 债券余额 利率 还本付息方式 交易场所
日
上海至纯 14 125523 2015 2018 年 2 49,962,275.06 7.5 本期债券采用单利按年计息，不计复 上 海 证 券
洁净系统 至纯 年 2 月 12 日 利。每年付息一次，到期一次还本， 交易所
科技股份 债 月 13 最后一期利息随本金的兑付一起支
有限公司 日 付。本期债券于每期的付息日向投资
2014 年 者支付的利息金额为投资者截至兑
中小企业 息债权登记日 15:00 前所持有的本
私募债券 期债券票面总额与对应的票面年利
率的乘积；于兑付日向投资者支付的
本息金额为投资者截至兑付债权登
记日 15:00 前所持有的本期债券最
后一期利息及所持有的债券票面总
额的本金。
5.2 公司债券付息兑付情况
√适用□不适用
2018 年 2 月 13 日公司对“14 至纯科技债”进行兑息兑付，支付 2017 年 2 月 13 日至 2018 年 2
月 12 日期间的债券本金和利息，计息年利率为 7.5%，债权登记日为 2018 年 2 月 8 日。
5.3 公司债券评级情况
□适用 √不适用
5.4 公司近 2 年的主要会计数据和财务指标
√适用 □不适用
主要指标 2018 年 2017 年 本期比上年同期增减（%）
资产负债率（%） 69.47 58.58 10.89
EBITDA 全部债务比 0.14 0.23 -40.21
利息保障倍数 2.69 5.09 -47.05
三 经营情况讨论与分析
1 报告期内主要经营情况
报告期内，公司实现营业收入 6.74 亿元、总资产 14.54 亿元、归属于母公司所有者权益 4.36
亿元、实现营业利润 3608.01 万元、归属于母公司所有者净利润 3243.91 万元、每股收益 0.155
元；较上年同期分别增加 82.64%、增加 45.56%、增加 7.55%、减少 27.60%、减少 34.19%、减少
34.87%。
2 导致暂停上市的原因
□适用 √不适用
3 面临终止上市的情况和原因
□适用 √不适用
4 公司对会计政策、会计估计变更原因及影响的分析说明
□适用√不适用
5 公司对重大会计差错更正原因及影响的分析说明
□适用√不适用
6 与上年度财务报告相比，对财务报表合并范围发生变化的，公司应当作出具体说明。
√适用□不适用
公司合并财务报表的合并范围以控制为基础确定，所有子公司均纳入合并财务报表。本期纳
入合并范围的公司为本公司和 13 家子公司和 4 家孙公司，比上年合并范围新增 1 家子公司和 3
家孙公司，具体见本附注九在其他主体中权益的披露。
