证券代码：688082 证券简称：盛美上海
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年年度股东大会会议资料
2022 年 6 月
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年年度股东大会会议须知
为维护全体股东的合法权利，确保股东大会的正常秩序和议事效率，保证大
会的顺利进行，根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《上
市公司股东大会规则（2022 年修订）》以及《盛美半导体设备（上海）股份有限
公司章程》、《盛美半导体设备（上海）股份有限公司股东大会议事规则》等相关
规定，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）特制定 2021
年年度股东大会会议须知：
一、为确认出席大会的股东或其代理人或其他出席者的出席资格，会议工作
人员将对出席会议者的身份进行必要的核对工作，请被核对者予以配合。
二、为保证本次大会的严肃性和正常秩序，切实维护股东的合法权益，请出
席大会的股东或其代理人或其他出席者准时到达会场签到确认参会资格，在会议
主持人宣布现场出席会议的股东和代理人人数及所持有的表决权数量之前，会议
登记应当终止。
三、会议按照会议通知上所列顺序审议、表决议案。
四、股东及股东代理人参加股东大会依法享有发言权、质询权、表决权等权
利。股东及股东代理人参加股东大会应认真履行其法定义务，不得侵犯公司和其
他股东及股东代理人的合法权益，不得扰乱股东大会的正常秩序。
五、要求发言的股东及股东代理人，应当按照会议的议程，经会议主持人许
可方可发言。有多名股东及股东代理人同时要求发言时，先举手者发言；不能确
定先后时，由主持人指定发言者。会议进行中只接受股东及股东代理人发言或提
问。股东及股东代理人发言或提问应围绕本次会议议题进行，简明扼要，时间原
则上不超过 5 分钟。
六、股东及股东代理人要求发言时，不得打断会议报告人的报告或其他股东
及股东代理人的发言，在股东大会进行表决时，股东及股东代理人不再进行发言。
股东及股东代理人违反本条规定的，会议主持人有权加以拒绝或制止。
七、主持人可安排公司董事、监事、高级管理人员回答股东所提问题。对于
可能将泄露公司商业秘密及/或内幕信息，损害公司、股东共同利益的提问，主
持人或其指定有关人员有权拒绝回答。
八、出席股东大会的股东及股东代理人，应当对提交表决的议案发表如下意
见之一：同意、反对或弃权。现场出席的股东请务必在表决票上签署股东名称或
姓名。未填、错填、字迹无法辨认的表决票、未投的表决票均视投票人放弃表决
权利，其所持股份的表决结果计为“弃权”。
九、本次股东大会采取通讯投票和网络投票相结合的方式表决，结合通讯投
票和网络投票的表决结果发布股东大会决议公告。
十、为保证股东大会的严肃性和正常秩序，除出席会议的股东及股东代理人、
公司董事、监事、高级管理人员、聘任律师及董事会邀请的人员外，公司有权依
法拒绝其他人员进入会场。
十一、本次会议由公司聘请的律师事务所执业律师见证并出具法律意见书。
十二、开会期间参会人员应注意维护会场秩序，不要随意走动，手机调整为
静音状态，会议期间谢绝个人录音、录像及拍照，与会人员无特殊原因应在大会
结束后再离开会场。对干扰会议正常程序、寻衅滋事或侵犯其他股东合法权益的
行为，会议工作人员有权予以制止，并报告有关部门处理。
十三、股东出席本次股东大会所产生的费用由股东自行承担。本公司不向参
加股东大会的股东发放礼品，不负责安排参加股东大会股东的住宿等事项，平等
对待所有股东。
十四、本次股东大会登记方法及表决方式的具体内容，请参见公司于 2022
年 6 月 10 日披露于上海证券交易所网站的《盛美半导体设备（上海）股份有限
公司关于召开 2021 年年度股东大会的通知》（公告编号：2022-013）。
十五、未在前述要求的登记截止时间完成参会登记的股东及股东代理人将无
法以通讯方式接入本次股东大会，但仍可通过网络投票的方式参加本次股东大会。
公司将向成功登记的股东及股东代理人提供以通讯方式参加会议的接入方式，请
获取会议接入方式的股东及股东代理人勿向其他第三人分享接入信息。
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2021 年年度股东大会会议议程
一、会议时间、地点及投票方式
（一）会议时间：2022 年 6 月 30 日 10:00
（二）会议方式：通讯会议
（三）会议召集人：盛美半导体设备（上海）股份有限公司董事会
（四）会议主持人：董事长 HUI WANG
（五）网络投票系统、起止时间和投票时间
网络投票系统：上海证券交易所股东大会网络投票系统
网络投票起止时间：自 2022 年 6 月 30 日至 2022 年 6 月 30 日
采用上海证券交易所网络投票系统，通过交易系统投票平台的投票时间为股
东大会召开当日的交易时间段，即 9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通过互
联网投票平台的投票时间为股东大会召开当日的 9:15-15:00。
二、会议议程
（一）参会人员签到
（二）主持人宣布会议开始，并向大会报告出席现场会议的股东人数及所持有的
表决权数量
（三）宣读股东大会会议须知
（四）推举计票人和监票人
（五）逐项审议或听取会议各项议案：
1. 审议《关于公司 2021 年年度报告及摘要的议案》
2. 审议《关于 2021 年度董事会工作报告的议案》
3. 审议《关于 2021 年度监事会工作报告的议案》
4. 听取《2021 年度独立董事述职报告》
5. 审议《关于 2021 年度财务决算报告的议案》
6. 审议《关于 2022 年度财务预算方案的议案》
7. 审议《关于 2021 年度利润分配预案的议案》
8. 审议《关于确认公司 2021 年度日常关联交易超出预计部分及 2022 年度
日常关联交易预计的议案》
9. 审议《关于续聘 2022 年度审计机构的议案》
10. 审议《关于公司 2022 年度董事、监事薪酬方案的议案》
（六）与会股东及股东代理人发言及提问
（七）与会股东及股东代理人对各项议案投票表决
（八）休会（统计表决结果）
（九）复会、宣布会议表决结果、议案通过情况
（十）主持人宣读股东大会决议
（十一）见证律师宣读法律意见书
（十二）签署会议文件
（十三）会议结束
议案一：关于公司 2021 年年度报告及摘要的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及《盛美半导
体设备（上海）股份有限公司章程》等相关规定，公司编制了 2021 年年度报告
及摘要。
公司 2021 年度报告及摘要已经公司第一届董事会第十七次会议及第一届监
事会第十四次会议审议通过，并于 2022 年 3 月 2 日在上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）刊载披露，现提请公司股东大会审议。
以上议案，请审议。
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董事会
2022 年 6 月 30 日
议案二：关于 2021 年度董事会工作报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及《盛美半导
体设备（上海）股份有限公司章程》等相关规定，董事会编制了 2021 年度董事
会工作报告，报告具体内容如本议案附件所示。
公司 2021 年度董事会工作报告已经公司第一届董事会第十七次会议审议通
过，现提请公司股东大会审议。
以上议案，请审议。
附件一：《盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2021 年度董事会工作报
告》
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
董事会
2022 年 6 月 30 日
议案三：关于 2021 年度监事会工作报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及《盛美半导
体设备（上海）股份有限公司章程》等相关规定，监事会编制了 2021 年度监事
会工作报告，报告具体内容如本议案附件所示。
公司 2021 年度监事会工作报告已经公司第一届监事会第十四次会议审议通
过，现提请公司股东大会审议。
以上议案，请审议。
附件二：《盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2021 年度监事会工作报
告》
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监事会
2022 年 6 月 30 日
听取 2021 年度独立董事述职报告
各位股东及股东代理人：
公司独立董事张荻、彭明秀、ZHANBING REN、张苏彤对 2021 年各项工作
进行了总结，撰写了 2021 年度独立董事述职报告，现向股东大会汇报。具体内
容详见公司 2022 年 3 月 2 日披露于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）及
指定信息披露媒体上的《2021 年度独立董事述职报告》。
请听取。
议案四：关于 2021 年度财务决算报告的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及《盛美半导
体设备（上海）股份有限公司章程》等相关规定，董事会依据公司 2021 年度整
体财务状况，对 2021 年度财务决算状况编制了 2021 年度财务决算报告，报告具
体内容如本议案附件所示。
公司 2021 年度财务决算报告已经公司第一届董事会第十七次会议及第一届
监事会第十四次会议审议通过，现提请公司股东大会审议。
以上议案，请审议。
附件三：《盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2021 年度财务决算报告》
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董事会
2022 年 6 月 30 日
议案五：关于 2022 年度财务预算方案的议案
各位股东及股东代理人：
根据《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》及《盛美半导
体设备（上海）股份有限公司章程》等相关规定，董事会依据公司 2021 年度实
际生产经营状况及公司 2022 年度销售计划、生产计划、投资计划等，对 2022
年度财务预算状况编制了 2022 年度财务预算方案，方案具体内容如本议案附件
所示。
公司 2022 年度财务预算方案已经公司第一届董事会第十七次会议及第一届
监事会第十四次会议审议通过，现提请公司股东大会审议。
以上议案，请审议。
附件四：《盛美半导体设备（上海）股份有限公司 2022 年度财务预算方案》
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
董事会
2022 年 6 月 30 日
议案六：关于 2021 年度利润分配方案的议案
各位股东及股东代理人：
经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审计确认，公司 2021 年度实现归属
于母公司所有者的净利润为 26,624.82 万元，母公司实现的净利润为 24,381.52
万元。
充分考虑到公司目前处于发展期，研发项目及经营规模不断扩大，资金需求
较大，为更好地维护全体股东的长远利益，保障公司的可持续发展和资金需求，
公司 2021 年度拟不进行利润分配，也不进行资本公积金转增股本，剩余未分配
利润滚存至下一年度。
本议案已经公司第一届董事会第十七次会议及第一届监事会第十四次会议
审议通过，现提请公司股东大会审议。具体内容详见公司 2022 年 3 月 2 日披露
于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《2021 年年度利润分配方案公告》。
以上议案，请审议。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
董事会
2022 年 6 月 30 日
议案七：关于确认公司 2021 年度日常关联交易超出预计部分及 2022 年度日常
关联交易预计的议案
各位股东及股东代理人：
一、日常关联交易基本情况
公司 2021 年度日常关联交易的预计和执行情况如下：
单位：人民币万元
预计金额与实际发
2021年度预计 2021年度实际
关联交易类别 关联人 生金额差异较大的
发生金额 发生金额
原因
Wafer Works Corporation 台
550.00 1.31 客户采购计划推迟
湾合晶科技
向关联人销售产 上海合晶硅材料股份有限公
1,400.00 867.87 客户采购计划变化
品、商品和服务 司及其子公司
小计 1,950.00 869.18
NINEBELL Co., Ltd. 20,000.00 21,710.41 订单需求超预期
接受关联人提供 盛奕半导体科技（无锡）有 调整过滤器采购供
3,000.00 1,932.30
的产品和服务 限公司 应商
小计 23,000.00 23,642.72
备注：1.以上为不含税金额；
2.2021年度，因实际出货量较预计出货量增长带来的原材料需求较预计增加以及售后
销售备品备件增多和为2022年销售机台提前备货，公司与NINEBELL Co., Ltd.实际发生日常
关联交易金额为21,710.41万元，较预计金额超出1,710.41万元。相关日常关联交易与预计存
在差异主要是为了满足市场需求所致，不存在损害公司及全体股东的利益的情形。
公司结合 2021 年度及以前年度实际发生的关联交易情况，同时对公司及子
公司 2021 年度关联交易有关业务情况进行总体分析之后，对本公司及子公司
2022 年度日常关联交易进行了预计，具体如下：
单位：人民币万元
本年年初至 本次预计 2022
本次预计 占同类 2022.1.31 与 2021 年度 占同类 年度金额与
关联交
关联人 2022 年度 业务比 关联人累计 实际发生 业务比 2021 年度实际
易类别
金额 例 已发生的交 金额 例 发生金额差异
易金额 较大的原因
Wafer Works
Corporation 2,200.00 0.89% 1.31 0.00%
台湾合晶科技 受客户机台采
上海合晶硅材 购计划影响
向关联
料股份有限公 100.00 0.04% 9.31 867.87 0.54%
人销售
司及其子公司
产品、商
ACM
品和服
RESEARCH, 5,000.00 2.01% - 0.00% 业务增长
务
INC
上海积塔半导
8,000.00 3.22% - 0.00% 业务增长
体有限公司
小计 15,300.00 6.16% 9.31 869.18 0.54%
NINEBELL
接 受 关 45,000.00 12.81% 2,191.51 21,710.41 12.36%
Co., Ltd.
联 人 提 随销售订单需
盛奕半导体科
供 的 产 求增加而增长
技（无锡）有 4,800.00 1.37% 55.27 1,932.30 1.10%
品 和 服
限公司
务
小计 49,800.00 14.18% 2,246.79 23,642.72 13.46%
备注：1. 以上为不含税金额。
2. 本次预计2022年度与ACM RESEARCH, INC发生关联交易金额中含一台关联交易
金额为零的测试机台通过ACM RESEARCH, INC免费供给海外客户作为第一台测试机台，以
备测试验证通过后带来新的销售订单。
3. 本次预计的关联交易总额度可以在同一关联人的不同交易类别间调剂。
4. 2022年度占同类业务比例计算基数为2022年度同类业务预计发生额，2021年度占同
类业务比例计算基数为2021年度同类业务的实际发生额。
本议案已经公司第一届董事会第十七次会议及第一届监事会第十四次会议
审议通过，现提请公司股东大会审议。具体内容详见公司 2022 年 3 月 2 日披露
于上海证券交易所网站（www.sse.com.cn）的《关于确认 2021 年度日常关联交
易及 2022 年度日常关联交易预计的公告》。
以上议案，请审议。
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2022 年 6 月 30 日
议案八：关于续聘 2022 年度审计机构的议案
各位股东及股东代理人：
鉴于立信会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“立信”）为公司 2021
年度审计机构，立信在执业过程中切实履行了审计应尽的职责，从专业角度维护
了公司及股东的合法权益，公司拟继续聘请立信为本公司 2022 年度审计机构。
本议案已经公司第一届董事会第十七次会议审议通过，现提请公司股东大会
审议。具体内容详见公司 2022 年 3 月 2 日披露于上海证券交易所网站
（www.sse.com.cn）的《关于续聘公司 2022 年度审计机构的公告》。
以上议案，请审议。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
董事会
2022 年 6 月 30 日
议案九：关于公司 2022 年度董事、监事薪酬方案的议案
各位股东及股东代理人：
根据《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》、《薪酬与考核委员会
工作规则》等公司相关规定，结合公司经营规模等实际情况并参照行业及周边地
区薪酬水平，经公司董事会薪酬与考核委员会提议，并结合实际情况，制定了
2022 年度董事、监事薪酬方案如下：
一、本方案适用对象
在公司领取薪酬/津贴的董事及监事。
二、本方案适用期限
本方案自公司股东大会审议通过后实施，至新的薪酬方案通过后自动失效。
三、薪酬标准
1、董事：
（1）对董事长每年支付税前 88 万元人民币的津贴（上述金额不包含各类奖
金，公司可根据当年实际经营情况发放）；
（2）独立董事津贴标准为人民币 11 万元/年；
（3）未在公司兼任其他岗位的非独立董事，公司不发放薪酬及津贴。
2、监事：
（1）未在公司兼任其他岗位的监事津贴标准为人民币 6.6 万元/年；
（2）在公司兼任其他岗位的监事，按其所在岗位的薪酬标准领取薪酬，不
再另行发放津贴。
四、实施程序
本方案经公司董事会及监事会审议通过后，尚需提交公司股东大会审议，并
提请公司股东大会授权公司人力资源部与财务部负责本方案的具体实施。
五、其他事项
1、上述薪酬/津贴金额均为税前金额，公司将按照国家和公司的有关规定代
扣代缴个人所得税等费用。
2、在公司兼任其他岗位的非独立董事/监事的薪酬/津贴按月发放；独立董事、
未在公司兼任其他岗位的监事津贴按月发放。公司董事/监事因换届、改选、任
期内辞职等原因离任的，按其实际任期计算并予以发放。
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董事会
2022 年 6 月 30 日
附件一：
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年度董事会工作报告
盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称公司）董事会在 2021 年
度严格按照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》、《盛美半
导体设备（上海）股份有限公司公司章程》、《盛美半导体设备（上海）股份有
限公司董事会议事规则》等有关法律法规、规范性文件的相关规定，切实履行股
东大会赋予的董事会职责，勤勉尽责地开展各项工作，推动公司持续健康稳定发
展。现将公司董事会 2021 年工作情况汇报如下：
一、2021 年董事会工作回顾
（一）报告期内经营业绩
经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审计，公司 2021 年度的经营业绩（母、
子公司合并后）如下：（1）2021 年度营业收入 16.21 亿元，2020 年为 10.07 亿元，
同比增长 60.88%；（2）2021 年度净利润 2.66 亿元，2020 年为 1.97 亿元，同比
增长 35.31%；2021 年度扣除非经常性损益后的净利润 1.95 亿元，2020 年为 0.92
亿元，同比增长 110.67%；（3）2021 年末公司总资产 63.37 亿元，2021 年初为
18.72 亿元，增长 238.46%；2021 年末归属于上市公司股东的净资产 48.15 亿元，
2021 年初为 10.49 亿元，同比增长 359.15%；（4）每股收益为 0.68 元。
（二）2021 年产品开发及客户开拓
2021 年，公司在新产品开发上硕果累累。公司 3 月新发布了高速铜电镀技
术，拓展了立式炉半导体设备产品组合以及支持逻辑、存储器和功率器件制造工
艺的更多应用；5 月，公司 SAPS 兆声波清洗技术项目荣获 2020 年上海市科技
进步一等奖；8 月，公司步入湿法边缘刻蚀领域，新产品支持 3D NAND、DRAM
和先进逻辑制造工艺，还发布了首台应用于化合物半导体制造中晶圆级封装和电
镀应用的电镀设备；9 月，公司用于先进逻辑、DRAM 和 3D- NAND 半导体制
造的 300mm 单片高温 SPM 设备已交货；10 月，公司湿法设备 2000 腔顺利交付。
公司产品出货全年超过 170 台，公司的清洗技术及设备已经可以覆盖 80%以上的
清洗工艺，镀铜设备出货量达到 20 台，炉管设备出货量达到 8 台，平台化公司
已初具规模。
2021 年，公司在客户拓展上也取得了良好的业绩。除了已有的长江存储、
华虹集团、海力士、中芯国际、长鑫存储、长电科技、通富微电、中芯长电、
Nepes、金瑞泓、台湾合晶科技、中科院微电子所、上海集成电路研发中心、华
进半导体、士兰微、芯恩半导体、晶合、中科智芯、芯德等主要客户的重复订单
之外，2021 年公司新增了五家大陆地区以外的国际客户。10 月，公司收到亚洲
主要集成电路制造商的大马士革电镀设备 DEMO 订单，也收到全球主要半导体
制造商在中国工厂的兆声波单片清洗设备（12 腔）DEMO 订单；11 月，公司用
于晶圆级封装的湿法去胶设备获全球 IDM 大厂在中国工厂的重复订单；12 月，
公司宣布获得美国主要国际半导体制造商的 SAPS 单片清洗设备（12 腔）2 台订
单。同时公司也相继发展了多家国内客户。
（二）报告期内董事会会议及决议情况
1.董事会会议及其专门委员会会议情况
报告期内，公司董事会按照《公司法》、《证券法》等法律法规的规定以及《公
司章程》和公司相关管理制度的要求，根据公司业务发展需要及时召开董事会会
议，认真审议议案，有效地发挥了董事会的决策作用。
报告期内，公司共召开了 5 次董事会会议，会议情况如下：
会议名称 会议时间 议案 决议结果
1.关于对公司 2020 年度关联交易进行确认的议案
2.关于公司 2018 年度至 2020 年度财务报告的议案
第一届董 所有议案
2021 年 3.关于公司内部控制评价报告（截至 2020 年 12 月 31
事会第十 均全票通
4 月 14 日 日）的议案
次会议 过
4.关于对全资子公司购买公共租赁房事项进行确认的
议案
1.关于 2020 年度董事会工作报告的议案
2.关于 2020 年度总经理工作报告的议案
3.关于 2020 年度独立董事述职报告的议案
4.关于 2020 年度财务决算报告的议案
5.关于 2021 年度财务预算方案的议案
第一届董 6.关于 2020 年度利润分配方案的议案 所有议案
2021 年
事会第十 7.关于会计政策变更的议案 均全票通
5 月 20 日
一次会议 8.关于续聘 2021 年度审计机构的议案 过
9.关于预计 2021 年度日常关联交易的议案
10.关于 2021 年度申请银行授信额度的议案
11.关于 2019 年股票期权激励计划部分股票期权作废
的议案
12.关于提请召开 2020 年年度股东大会的议案
第一届董 1.关于调整公司高级管理人员及新入职核心员工参与 所有议案
2021 年
事会第十 本次发行上市战略配售的议案 均全票通
8 月 27 日
二次会议 2.关于对外投资暨关联交易的议案 过
1.关于对公司 2021 年 1 月 1 日至 2021 年 6 月 30 日关
第一届董 联交易进行确认的议案 所有议案
2021 年
事会第十 2.关于公司 2018 年度至 2021 年 1-6 月财务报告的议案 均全票通
10 月 26 日
三次会议 3.关于公司内部控制评价报告（截至 2021 年 6 月 30 过
日）的议案
第一届董 1.关于公司 2021 年 1-9 月财务报表的议案 所有议案
2021 年
事会第十 2.关于设立募集资金专户并授权签署募集资金三方监 均全票通
11 月 17 日
四次会议 管协议的议案 过
报告期内，公司董事会各专门委员会会议情况如下：
会议名称 会议日期 议案 审议结果
审计委员会
1. 关于对公司 2020 年度关联交易进行确认的议案
2021 年度
2021 年 2. 关于公司 2018 年度至 2020 年度财务报告的议案 所有议案均
第一次临
4 月 14 日 3. 关于公司内部控制评价报告（截至 2020 年 12 月 全票通过
时会议
31 日）的议案
1.关于 2020 年度财务决算报告的议案
2.关于 2021 年度财务预算方案的议案
2021 年度
2021 年 3.关于 2020 年度利润分配方案的议案 所有议案均
第一次定
5 月 20 日 4.关于会计政策变更的议案 全票通过
期会议
5.关于续聘 2021 年度审计机构的议案
6.关于预计 2021 年度日常关联交易的议案
1.关于对公司 2021 年 1 月 1 日至 2021 年 6 月 30 日
关联交易进行确认的议案
2021 年度
2021 年 2.关于公司 2018 年度至 2021 年 1-6 月财务报告的议 所有议案均
第二次临
10 月 26 日 案 全票通过
时会议
3.关于公司内部控制评价报告（截至 2021 年 6 月 30
日）的议案
2021 年度
2021 年 所有议案均
第三次临 1.关于公司 2021 年 1-9 月财务报表的议案
11 月 17 日 全票通过
时会议
战略委员会
战略委员
会 2021 年 2021 年 1.关于 2020 年度财务决算报告的议案 所有议案均
度第一次 5 月 20 日 2.关于 2021 年度财务预算方案的议案 全票通过
定期会议
战略委员
1.关于调整公司高级管理人员及新入职核心员工参 所有议案均
会 2021 年 2021 年
与本次发行上市战略配售的议案
度第一次 8 月 27 日 全票通过
2.关于对外投资暨关联交易的议案
临时会议
报告期内，董事会提名委员会、薪酬与考核委员会未召开会议。
2.董事会对股东大会决议的执行情况
报告期内，董事会严格按照《公司法》、《证券法》的规定以及《公司章程》
和相关管理制度的要求，认真执行或配合相关主体全面落实了股东大会的各项决
议。
二、2022 年董事会工作重点及规划
2022 年，公司将继续强化现有产品，包括开发超临界二氧化碳干燥清洗技
术、先进高温 IPA 干燥技术，加快推广 TEBO 和 Tahoe 设备进入国内外市场，研
发用于先进技术节点的镀铜设备和先进炉管 ALD 产品，同时加快两款全新种类
产品的样机研发及市场化进程。公司也将加强与国内外零部件厂商的紧密合作。
与此同时也相继推进国际市场开发，致力在全球半导体行业第一梯队的大客户的
市场推进，除了在美国突破新客户，积极在欧洲、新加坡、东南亚等地开拓新客
户，提高中国大陆以外国际市场的销售比例。
2022 年，董事会将继续严格按照《公司法》、《公司章程》等法律法规和规
范性文件的有关要求，继续认真做好公司投资融资、投资者关系管理等各项工作，
认真组织落实股东大会通过的各项决议，在股东大会的授权范围内进行科学、合
理地决策。维护中小投资者的利益，对经理层工作进行有效及时的检督，促进和
提高公司的经营水平和管理效率。
公司董事会将继续发挥在公司治理中的核心作用，确保董事会运作规范有效；
加强与股东、管理层、监事会的沟通互动；进一步完善内控制度建设，优化公司
营运流程，强化内控管理制度的落实，增强企业的风险防范能力，推进公司规范
化运作水平更上一个新的台阶，全力以赴推进公司全面发展，继续推进技术差异
化、产品平台化、客户全球化的战略。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
董事会
附件二：
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年度监事会工作报告
2021 年度，盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称公司）监事
会严格按照《中华人民共和国公司法》、《中华人民共和国证券法》等有关法律、
法规和《盛美半导体设备（上海）股份有限公司公司章程》、《盛美半导体设备（上
海）股份有限公司监事会议事规则》等制度的要求，对公司运作、财务管理和公
司董事及高管人员履行职责等情况进行监督，保障公司规范运作。
现将监事会在 2021 年度的工作情况报告如下：
一、监事会组成情况
公司第一届监事会由 3 名监事组成。其中，股东代表监事 2 名（其中，包括
监事会主席 1 名），职工监事 1 名。
TRACY DONG LIU，女，1964 年 11 月出生，美国国籍，无其他国家永久
居留权，会计学硕士，美国注册会计师。1994 年 1 月至 1995 年 6 月任美国圣何
塞雷迪森酒店财务管理员，1996 年 1 月至 2000 年 4 月任毕马威会计师事务所会
计经理，2000 年 5 月至 2005 年 5 月任德勤会计师事务所资深会计经理，2005
年 6 月至今任 H&M Int’l CPAs, LLP 创始人兼管理合伙人，2016 年 9 月至今任美
国 ACMR 董事。2019 年 11 月至今任盛美半导体监事、监事会主席。
董倩，女，1955 年 3 月出生，中国国籍，无境外永久居留权，中文专业学
士。1972 年 11 月至 1979 年 2 月任上海丰收拖拉机厂工人，1979 年 3 月至 1989
年 3 月任上海轻工业学校团委副书记、人事科长，1989 年 4 月至 1997 年 1 月任
上海东方储罐有限公司总经理助理兼办公室主任，1997 年 2 月至 2001 年 10 月
任上海贝岭股份有限公司董事会秘书兼办公室主任，2001 年 10 月至 2004 年 2
月任 Premier Devices Inc.商务拓展副总经理，2004 年 3 月至 2014 年 11 月任展讯
通信有限公司副总经理兼办公室主任，2014 年 11 月至今任瑞章科技有限公司顾
问，2021 年 4 月至今任云南能投瑞章物联技术有限公司总经理。2020 年 3 月至
今任盛美半导体监事。
李倩，女，1995 年 1 月出生，中国国籍，无境外永久居留权，管理学学士。
2017 年 7 月至今历任盛美半导体董事长办公室助理及专员。2019 年 11 月至今任
盛美半导体监事。
二、监事会会议召开情况
2021 年，公司监事会根据《公司章程》、《监事会议事规则》的规定，结合
公司实际需要，及时召开监事会会议，认真审议会议议案，发挥监事会监督作用。
报告期内，公司共召开了 5 次监事会会议，会议情况如下：
会议名称 会议时间 议案 决议结果
1. 关于对公司 2020 年度关联交易进行确认的议案
2. 关于公司 2018 年度至 2020 年度财务报告的议案
第一届监事 所有议案
2021 年 4 月 3. 关于公司内部控制评价报告（截至 2020 年 12 月 31
会第九次会 均全票通
14 日 日）的议案
议 过
4. 关于对全资子公司购买公共租赁房事项进行确认的
议案
1.关于 2020 年度监事会工作报告的议案
2.关于 2020 年度财务决算报告的议案
3.关于 2021 年度财务预算方案的议案
4.关于 2020 年度利润分配方案的议案
第一届监事 所有议案
2021 年 5 月 5.关于会计政策变更的议案
会第十次会 均全票通
20 日 6.关于续聘 2021 年度审计机构的议案
议 过
7.关于预计 2021 年度日常关联交易的议案
8.关于 2021 年度申请银行授信额度的议案
9.关于 2019 年股票期权激励计划部分股票期权作废的
议案
第一届监事 1.关于调整公司高级管理人员及新入职核心员工参与 所有议案
2021 年 8 月
会第十一次 本次发行上市战略配售的议案 均全票通
27 日
会议 2.关于对外投资暨关联交易的议案 过
1.关于对公司 2021 年 1 月 1 日至 2021 年 6 月 30 日关
第一届监事 联交易进行确认的议案 所有议案
2021 年 10
会第十二次 2.关于公司 2018 年度至 2021 年 1-6 月财务报告的议案 均全票通
月 26 日
会议 3.关于公司内部控制评价报告（截至 2021 年 6 月 30 日） 过
的议案
第一届监事 所有议案
2021 年 11
会第十三次 1.关于公司 2021 年 1-9 月财务报表的议案 均全票通
月 17 日
会议 过
三、监事会年度主要工作情况
公司监事会对 2021 年度公司规范运作情况进行了监督，审核公司财务报告，
监督、检查关联交易以及内部控制制度的执行情况，并按时列席了公司的董事会、
股东大会相关会议。
主要工作情况说明如下：
（一）公司依法运作情况
报告期内，监事会认真履行职责，积极开展工作，依法列席了报告期内公司
召开的所有股东大会和董事会，听取了公司各项重要提案和决议，对股东大会和
董事会的召开程序、所做决议以及公司董事、高级管理人员的履行职务情况进行
了严格监督。
监事会认为：2021 年度，公司的决策程序严格遵循了《公司法》、《证券法》
等法律、法规及《公司章程》所做出的各项规定。报告期内，公司进一步健全了
内部管理制度和内部控制机制，公司重大经营事项决策程序合法有效；公司董事、
高级管理人员在执行职务时均严格贯彻国家法律、法规、《公司章程》和股东大
会、董事会决议要求，未出现违反法律、法规、公司章程而损害公司利益的行为。
（二）检查公司财务情况
2021 年度，公司监事会全面检查和审核了公司的财务报告。监事会认为，
公司财务报告的编制符合《公司章程》、《企业会计制度》和《企业会计准则》的
规定，能够真实反映公司的财务状况和经营成果。
（三）内部控制制度执行情况
报告期内，公司逐步完善了内部控制制度体系，现有的内部控制制度符合国
家法律、法规的要求，符合当前公司生产经营实际情况需要，在公司经营管理中
得到了有效执行，起到了较好的控制和防范作用。
2022 年，公司监事会各位成员将以更加有效、严谨的工作履行监督职责，
督促公司董事会及管理层依法、合规经营，切实维护公司股东的合法利益。
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
监事会
附件三：
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2021 年度财务决算报告
在盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”或“本公司”）董
事会的领导下，经过公司管理层和全体员工的不懈努力，2021 年公司的经营工
作稳健有序，依据一年来公司经营情况和财务状况，结合公司报表数据，编制了
2021 年度财务决算报告，现就公司财务情况报告如下：
一、2021 年度公司财务报告的审计情况
公司编制的 2021 年度财务报表经立信会计师事务所（特殊普通合伙）审计，
并出具了标准无保留意见的审计报告。
二、主要会计数据和财务指标
单位:元 币种:人民币
主要会计数据 2021 年度 2020 年度 增减 增减变动幅度
营业收入 1,620,869,141.67 1,007,471,809.80 613,397,331.87 60.88%
归属于公司股东的净利润 266,248,156.63 196,769,941.64 69,478,214.99 35.31%
归属于公司股东的扣除非
194,734,275.20 92,437,799.49 102,296,475.71 110.67%
经常性损益后的净利润
经营活动产生的现金流量
-189,182,778.11 -88,244,945.02 -100,937,833.09 -114.38%
净额
归属于公司股东的净资产 4,814,961,103.13 1,048,673,323.85 3,766,287,779.28 359.15%
总资产 6,337,413,410.30 1,843,523,679.83 4,493,889,730.47 243.77%
主要财务指标 2021 年度 2020 年度 增减 增减变动幅度
基本每股收益（元/股） 0.68 0.50 0.18 36.00%
稀释每股收益（元/股） 0.67 0.50 0.17 34.00%
扣除非经常性损益后的基
0.49 0.24 0.25 104.17%
本每股收益（元/股）
加权平均净资产收益率
18.09 21.20 -3.11 减少 3.11 个百分点
（%）
扣除非经常性损益后的加
13.23 9.96 3.27 增加 3.27 个百分点
权平均净资产收益率（%）
研发投入占营业收入的比
17.18 13.97 3.21 增加 3.21 个百分点
例（%）
三、财务状况分析
（一）资产、负债及所有者权益情况
单位:元 币种:人民币
增减变动幅
项目 2021 年度 2020 年度 增减
度
6,337,413,410.3 1,843,523,679.8
总资产 4,493,889,730.47 243.77%
0 3
5,807,250,202.3 1,421,562,708.4
其中：流动资产 4,385,687,493.92 308.51%
5 3
其中：非流动资产合计 530,163,207.95 421,960,971.40 108,202,236.55 25.64%
1,522,452,307.1
总负债 794,850,355.98 727,601,951.19 91.54%
7
1,264,616,555.8
其中： 流动负债合计 594,588,613.04 670,027,942.78 112.69%
2
其中：非流动负债合计 257,835,751.35 200,261,742.94 57,574,008.41 28.75%
4,814,961,103.1 1,048,673,323.8
所有者权益 3,766,287,779.28 359.15%
3 5
其中： 归属于母公司所 4,814,961,103.1 1,048,673,323.8
3,766,287,779.28 359.15%
有者权益合计 3 5
1、主要资产构成及变动情况说明
截止 2021 年 12 月 31 日，公司总资产 633,741.34 万元，较上年年末增加
449,388.97 万元，同比增长 243.77%，主要增减变化项目及原因如下：
单位:元 币种:人民币
项目 2021 年度 2020 年度 增减 增减变动幅度
货币资金 3,402,530,435.40 271,267,852.84 3,131,262,582.56 1154.31%
应收账款 542,192,682.46 256,075,757.62 286,116,924.84 111.73%
预付款项 103,736,288.12 35,760,885.14 67,975,402.98 190.08%
其他应收款 56,227,461.31 34,713,166.21 21,514,295.10 61.98%
存货 1,443,333,238.01 614,869,365.46 828,463,872.55 134.74%
其他流动资产 71,104,045.23 24,666,762.37 46,437,282.86 188.26%
长期股权投资 51,500,283.22 30,488,610.34 21,011,672.88 68.92%
其他非流动金融
9,999,976.95 - 9,999,976.95
资产
固定资产 38,941,564.73 28,114,683.89 10,826,880.84 38.51%
在建工程 35,745,956.86 14,371,605.82 21,374,351.04 148.73%
使用权资产 26,364,959.89 - 26,364,959.89
长期待摊费用 14,756,773.02 10,526,954.10 4,229,818.92 40.18%
递延所得税资产 3,094,633.54 2,299,731.45 794,902.09 34.56%
货币资金较上年年末增加 313,126.26 万元，同比上升 1154.31%，主要是公
司收到首次公开发行股票募集资金所致。
应收账款较上年年末增加 28,611.69 万元，同比上升 111.73%，主要是随着
营业收入增加而增长。
预付款项较上年年末增加 6,797.54 万元，同比上升 190.08%，主要是销售需
求增加，存货采购增加，预付款项相应增长。
其他应收款较上年年末增加 2,151.43 万元，同比上升 61.98%，主要是本期
应收出口退税款和应收保证金增加所致。
存货较上年年末增加 82,846.39 万元，同比上升 134.74%，主要是销售需求
增长带来的原材料在产品增加以及发出商品增加。
其他流动资产较上年年末增加 4,643.73 万元，同比上升 188.26%，主要是待
抵扣进项税金增加所致。
长期股权投资较上年年末增加 2,101.17 万元，同比上升 68.92%，主要是长
期股权投资权益法核算下本期投资收益增长所致。
其他非流动金融资产较上年年末增加 1,000.00 万元，主要是本期新增对外股
权投资所致。
固定资产较上年年末增加 1,082.69 万元，同比上升 38.51%，主要是随业务
增长而引起的机器设备及计算机等电子设备资产增加。
在建工程较上年年末增加 2,137.44 万元，同比上升 148.73%，主要是本期临
港项目土建增加所致。
使用权资产较上年年末增加 2,636.50 万元，主要是根据新租赁准则租赁期超
过一年的租赁确认使用权资产。
长期待摊费用较上年年末增加 422.98 万元，同比上升 40.18%，主要是随业
务增长而增加的新厂房装修所致。
递延所得税资产较上年年末增加 79.49 万元，同比上升 34.56%，主要是子公
司可抵扣亏损增加所致。
2、主要负债构成及变动情况说明
截止 2021 年 12 月 31 日，公司总负债 152,245.23 万元，较上年年末增长
72,760.20 万元，同比增长 91.54%，主要增减变化项目及原因如下：
单位:元 币种:人民币
增减变
项目 2021 年度 2020 年度 增减
动幅度
短期借款 61,718,178.74 171,753,542.58 -110,035,363.84 -64.07%
应付账款 733,425,990.99 291,942,188.20 441,483,802.79 151.22%
合同负债 364,304,106.54 86,017,842.49 278,286,264.05 323.52%
应付职工薪酬 35,042,630.41 19,601,166.54 15,441,463.87 78.78%
应交税费 8,545,940.93 3,757,755.08 4,788,185.85 127.42%
其他应付款 27,459,738.45 11,057,657.83 16,402,080.62 148.33%
一年内到期的非流动负债 29,770,989.50 10,458,460.32 19,312,529.18 184.66%
租赁负债 12,511,915.14 - 12,511,915.14
长期应付职工薪酬 3,223,632.94 1,839,426.56 1,384,206.38 75.25%
预计负债 42,817,891.40 30,067,131.50 12,750,759.90 42.41%
短期借款较上年年末减少 11,003.54 万元，同比下降 64.07%，主要是银行贷
款减少所致。
应付账款较上年年末增加 44,148.38 万元，同比上升 151.22%，主要是随着
销售订单需求增长，原材料采购增加所致。
合同负债较上年年末增加 27,828.63 万元，同比上升 323.52%，主要是随业
务增长而收到的客户预付款增加所致。
应付职工薪酬较上年年末增加 1,544.15 万元，同比上升 78.78%，主要是随
着业务增长及员工人数增长，本期期末计提奖金余额较上期期末增加所致。
应交税费较上年年末增加 478.82 万元，同比上升 127.42%，主要是随员工人
数增长本期末应交个人所得税较上期期末数增加及所属子公司应交所得税较上
期期末数增加所致。
其他应付款较上年年末增加 1,640.21 万元，同比上升 148.33%，主要是应付
发行费用和应付装修工程款等增长所致。
一年内到期的非流动负债较上年年末增加 1,931.25 万元，同比上升 184.66%，
主要是根据新租赁准则一年内到期的租赁负债以及长期借款一年内到期的本金
比上期期末数增加所致。
租赁负债较上年年末增加 1,251.19 万元，主要是根据新租赁准则，一年以上
到期的租赁负债所致。
长期应付职工薪酬较上年年末增加 138.42 万元，同比上升 75.25%，主要是
本公司之子公司盛美韩国根据法律规定预提的退职金随员工人数增加而增长所
致。
预计负债较上年年末增加 1,275.08 万元，同比上升 42.41%，主要是根据销
售协议预提质保期内产品质量保证金，随销售收入增加而增长所致。
3、所有者权益及变动情况说明
截止 2021 年 12 月 31 日，公司所有者权益 481,496.11 万元，较上年同期增
加 376,628.78 万元，同比增长 359.15%，主要增减变化项目及原因如下：
单位:元 币种:人民币
项目 2021 年度 2020 年度 增减 增减变动幅
度
股本 433,557,100.00 390,201,347.00 43,355,753.00 11.11%
资本公积 3,844,907,013.75 387,754,532.67 3,457,152,481.08 891.58%
其他综合收益 412,601.78 881,213.21 -468,611.43 -53.18%
盈余公积 53,008,085.60 28,626,564.68 24,381,520.92 85.17%
未分配利润 483,076,302.00 241,209,666.29 241,866,635.71 100.27%
资本公积较上年年末增加 345,715.25 万元，同比上升 891.58%，主要是首次
公开发行股票新增的股本溢价及本期新增的股份支付所致。
其他综合收益较上年年末减少 46.86 万元，同比下降 53.18%，主要是外币财
务报表折算差额减少所致。
盈余公积较上年年末增加 2,438.15 万元，同比上升 85.17%，主要是公司利
润增加提取法定盈余公积所致。
未分配利润较上年年末增加 24,186.66 万元，同比 100.27%，主要是 2021 年
净利润增长所致。
（二）公司经营情况
2021 年净利润 26,624.82 万元，较上年同期增加 6,947.82 万元，同比增长
35.31%，主要增减变化项目及原因如下：
单位:元 币种:人民币
增减变动幅
项目 2021 年度 2020 年度 增减
度
营业收入 1,620,869,141.67 1,007,471,809.80 613,397,331.87 60.88%
营业成本 931,440,396.51 566,422,360.10 365,018,036.41 64.44%
销售费用 158,887,812.23 105,639,504.93 53,248,307.30 50.41%
管理费用 64,108,924.87 50,318,924.37 13,790,000.50 27.41%
研发费用 278,394,178.76 140,791,112.52 137,603,066.24 97.74%
财务费用 8,381,378.35 32,371,427.01 -23,990,048.66 -74.11%
其他收益 77,006,953.52 25,929,804.09 51,077,149.43 196.98%
投资收益 18,964,535.29 1,284,412.23 17,680,123.06 1376.51%
公允价值变动
3,917,133.03 86,719,932.51 -82,802,799.48 -95.48%
收益
信用减值损失
（损失以“-”号 -10,465,768.64 1,224,680.63 -11,690,449.27 -954.57%
填列）
资产减值损失
（损失以“-”号 -311,979.19 -3,533,652.20 3,221,673.01 91.17%
填列）
营业外收入 846,646.87 537,276.10 309,370.77 57.58%
营业外支出 59,428.41 223,454.11 -164,025.70 -73.40%
所得税费用 2,495,661.97 26,254,132.96 -23,758,470.99 -90.49%
营业收入较上年同期增加 61,339.73 万元，同比上升 60.88%，主要是市场需
求扩大，销售订单及产能均持续增长，营业收入进一步提升所致。
营业成本较上年同期增加 36,501.80 万元，同比上升 64.44%，主要是营业成
本随营业收入增长而增加。
销售费用较上年同期增加 5,324.83 万元，同比上升 50.41%，主要是售后服
务费及销售佣金随营业收入的增长而增加，以及销售和售后服务人员数量增加且
因业绩增长工资、奖金有所提高，使得销售和售后服务人员工资薪金增加。
研发费用较上年同期增加 13,760.31 万元，同比上升 97.74%，主要是随着现
有产品改进及工艺开发以及新产品及新工艺开发，相应研发物料消耗增加，聘用
的研发人员人数以及支付研发人员的薪酬增加。
财务费用较上年同期减少 2,399.00 万元，同比下降 74.11%，主要是本期汇
兑损失减少所致。
其他收益较上年同期增加 5,107.71 万元，同比上升 196.98%，主要是资金来
源于政府补助的费用支出较上期增加所致。
投资收益较上年同期增加 1,768.01 万元，同比上升 1376.51%，主要是权益
法核算下本期对外长期股权投资的投资收益增长所致。
公允价值变动收益较上年同期减少 8,280.28 万元，同比下降 95.48%，主要
是公司 2020 年投资青岛聚源芯星股权投资合伙企业（有限合伙）1 亿元，而间
接持有中芯国际集成电路制造有限公司科创板股票，因中芯国际集成电路制造有
限公司股价变动导致公允价值变动收益减少所致。
信用减值损失较上年同期增加 1,169.04 万元，同比增加 954.57%，主要是随
应收账款的增长而增加所致。
资产减值损失较上年同期减少 322.17 万元，同比下降 91.17%，主要是本期
对存货确认的减值准备减少所致。
营业外收入较上年同期增加 30.94 万元，同比增加 57.58%，主要是盛美韩国
收到政府补助增加所致。
营业外支出较上年同期减少 16.40 万元，同比下降 73.40%，主要是上期固定
资产报废 16.8 万元，本期无此项支出。
所得税费用较上年同期减少 2,375.85 万元，同比下降 90.49%，主要是已行
权的股权激励而引起的本期企业所得税税前扣除金额的增加以及本期间接持有
的中芯国际股票公允价值变动收益减少所致。
（三）公司现金流情况
单位:元 币种:人民币
增减变动幅
项目 2021 年度 2020 年度 增减
度
经营活动产生的现金流
-189,182,778.11 -88,244,945.02 -100,937,833.09 -114.38%
量净额
投资活动产生的现金流
-69,597,878.78 -260,149,794.08 190,551,915.30 73.25%
量净额
筹资活动产生的现金流
3,394,744,863.29 188,575,602.50 3,206,169,260.79 1700.20%
量净额
经营活动产生的现金流量净额较上年同期减少 10,093.78 万元，同比下降
114.38%，主要是因销售订单增长引起的本期购买原材料支付的现金较上期增加
以及支付职工薪酬较上期增长所致。
投资活动产生的现金流量净额较上年同期增加 19,055.19 万元，同比增加
73.25%，主要是上期投资活动现金支出中包含购买临港公租房支出，本期仅有公
租房贷款利息支出；以及上期包含购买临港土地使用权和投资中芯国际产生现金
支出，本期无此支出。
筹资活动产生的现金流量净额较上年同期增加 320,616.93 万元，同比增加
1700.20%，主要是公司收到首次公开发行股票募集资金所致。
附件四：
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2022 年度财务预算方案
一、预算编制说明
基于公司年度经营绩效考核目标，以及近年来的经营业绩及结合公司现实情
况，并以立信会计师事务所审计的本公司 2021 年度财务报告为基础，按照合并
报表口径，根据企业会计准则及相关规定，编制 2022 年度财务预算。
1.本预算报告包括盛美半导体设备（上海）股份有限公司及分公司、控股子
公司等合并。
2.预算编制具体说明：
1）根据公司制定的经营计划目标，进行预算编制。
2） 结合公司的各项目上未执行合同情况及续签、新签合同情况及预计增长，
编制收入预算。
3）结合公司的各个项目的实际经营毛利、费用及新项目预计毛利等情况，
编制营业毛利预算。
4）年度期间费用的预算参照 2021 年报告期的费用支出及预计支出状况进行
编制。
二、2022 年度财务预算
根据 2022 年度的经营目标和工作计划制定了 2022 年度财务预算，公司 2022
年度营业收入预计增长率为 44%-60%。随着经营规模的扩大及新产品研发的需
求，2022 年研发费用预计增长率为 70%-72%。前述事项预计对 2022 年财务状况
构成重大影响。
三、特别说明
上述财务预算指标仅作为公司 2022 年经营计划，能否实现取决于市场状况
变化等多种因素，存在较大不确定性，不代表公司对 2022 年度的盈利的预测，
不构成公司对投资者的实质性承诺，投资者对此应当保持足够的风险意识，注意
投资风险。
