盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
    关于第一届董事会第十九次会议相关事项的独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章
程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们
作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基
于独立判断原则，对公司第一届董事会第十九次会议审议的各项议案所涉事项进
行了审核。
    我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

    一、关于《关于公司 2022 年半年度募集资金存放与使用情况专

项报告的议案》的独立意见

    我们认为，公司 2022 年半年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交
易所科创板股票上市规则》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管
理和使用的监管要求》等法律法规、规范性文件的相关规定，符合公司《募集资
金管理制度》的规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相
关信息披露义务，募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改
变募集资金用途和损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情况。
    我们同意董事会审议通过相关议案。

    二、关于《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》的独

立意见

    我们认为，本次使用部分超募资金投资建设新项目的事项符合《上市公司监
管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证券交易所
科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号—
—规范运作》等相关法律、法规以及规范性文件和《公司章程》《募集资金管理
制度》等的规定。本次事项已经通过董事会审议，议案内容及表决情况符合相关
规定，履行了必要的程序。本事项符合公司主营业务发展方向，符合公司募集资
金使用计划，有利于公司长远发展、提高募集资金的使用效率，不存在损害公司
及中小股东利益的情形。公司本次超募资金的使用与募集资金投资项目的实施不
相抵触，不存在变相改变募集资金投向的情形。
    我们同意董事会审议通过相关议案后将其提交公司股东大会审议。
张苏彤