盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
   关于第一届董事会第二十次会议相关事项的独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章
程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们
作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基
于独立判断原则，对公司第一届董事会第二十次会议审议的各项议案所涉事项进
行了审核。
    我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

    一、关于《关于为全资子公司提供担保的议案》的独立意见

    我们认为，本次担保事项为公司对全资子公司提供担保，有助于促进子公司
持续、稳健发展，公司有能力对其经营管理风险进行控制。公司对全资子公司的
担保属于公司正常经营和资金合理利用的需要。因此，不存在损害公司和全体股
东，特别是中小股东利益的情形。本次担保事项的决策和审议程序合法合规。
    我们同意董事会审议通过相关议案。

    二、关于《关于使用部分暂时闲置募集资金进行现金管理的议案》

的独立意见

    我们认为，公司本次使用最高不超过人民币 20 亿元的暂时闲置募集资金进
行现金管理，有利于提高公司募集资金使用效率，与募集资金投资项目的实施计
划不存在抵触，不影响募集资金投资项目的正常进行，也不存在变相改变募集资
金投向、损害公司股东利益的情形，符合公司及全体股东的利益，并履行了必要
的审批程序，符合《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规
范运作》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要
求（2022 年修订）》等法律、法规、规范性文件及公司章程的相关规定。
    我们同意董事会审议通过相关议案。