盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
  关于第一届董事会第二十一次会议相关事项的独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章
程》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们
作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，
基于独立判断原则，对公司第一届董事会第二十一次会议审议的各项议案所涉事
项进行了审核。
    我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

    一、关于《关于选举公司第二届董事会非独立董事的议案》的独

立意见

    我们认为，本次提名的第二届董事会非独立董事候选人 HUI WANG、HAIPING
DUN、STEPHEN SUN-HAI CHIAO、罗千里、李江、黄晨、王坚不存在相关法律法规、
规范性文件及《公司章程》中规定的不得担任公司董事的情形，亦不存在被中国
证监会确定为市场禁入者且尚未解除的情况，未曾受到中国证监会和证券交易所
的处罚或惩戒，亦不是失信被执行人。结合上述非独立董事候选人个人履历、教
育背景、工作经历等情况，我们认为上述非独立董事候选人具备担任公司非独立
董事的任职资格和能力。
    综上，我们一致同意上述非独立董事候选人的提名，并同意将本次董事会换
届选举相关议案提交公司股东大会审议。

    二、关于《关于选举公司第二届董事会独立董事的议案》的独立

意见

    我们认为，本次提名的第二届董事会独立董事候选人张荻、彭明秀、ZHANBING
REN、张苏彤不存在相关法律法规、规范性文件及《公司章程》中规定的不得担
任公司董事的情形，亦不存在被中国证监会确定为市场禁入者且尚未解除的情况，
未曾受到中国证监会和证券交易所的处罚或惩戒，亦不是失信被执行人。独立董
事候选人彭明秀、ZHANBING REN、张苏彤已取得独立董事资格证书；独立董事候
选人张荻尚未取得独立董事资格证书，其已承诺参加最近一次独立董事培训并取
得上海证券交易所认可的独立董事资格证书。结合上述独立董事候选人个人履历、
教育背景、工作经历等情况，我们认为上述独立董事候选人具备担任公司独立董
事的任职资格和能力。
    综上，我们一致同意上述独立董事候选人的提名，并同意董事会在上述独立
董事候选人任职资格通过上海证券交易所备案审核无异议后提交公司股东大会
审议。