盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
     关于第二届董事会第一次会议相关事项的独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”），《盛美半导体设备
（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”），《盛美半导体设备（上
海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们作为盛美半导体设备（上海）
股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基于独立判断原则，对公司第
二届董事会第一次会议审议的各项议案所涉事项进行了审核。
    我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

     一、关于《关于聘任公司总经理的议案》的独立意见

    我们认为，王坚先生不存在被中国证监会惩罚或禁止或其他不能担任公司高
级管理人员的情形，其具备相关专业知识、技能和经历，具备担任上市公司高级
管理人员的资格。公司聘任王坚先生为总经理的提名和表决程序符合《公司法》
《公司章程》的有关规定。我们同意聘任王坚先生为公司总经理，任期与第二届
董事会相同。

     二、关于《关于聘任公司其他高级管理人员的议案》的独立意见

    我们认为，陈福平、SOTHEARA CHEAV、LISA YI LU FENG、罗明珠不存在被
中国证监会惩罚或禁止或其他不能担任公司高级管理人员的情形，其具备相关专
业知识、技能和经历，具备担任上市公司高级管理人员的资格，罗明珠已经取得
上海证券交易所认可的董事会秘书资格证书。公司董事会聘任陈福平、SOTHEARA
CHEAV 为公司副总经理，聘任 LISA YI LU FENG 为公司财务负责人，聘任罗明珠
为公司董事会秘书的提名和表决程序符合《公司法》《公司章程》的有关规定。
同意聘任陈福平、SOTHEARA CHEAV 为公司副总经理，聘任 LISA YI LU FENG 为
公司财务负责人，聘任罗明珠为公司董事会秘书，任期均与第二届董事会相同。