盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
      关于第二届董事会第二次会议相关事项的独立意见

     根据《中华人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《盛美半导体设备
（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公司章程》”）、《盛美半导体设备（上
海）股份有限公司独立董事工作制度》等规定，我们作为盛美半导体设备（上海）
股份有限公司（以下简称“公司”）的独立董事，基于独立判断原则，对公司第
二届董事会第二次会议审议的各项议案所涉事项进行了审核。
     我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

     一、关于《关于收购股权暨与关联人共同投资的议案》的独立意

见

     我们认为，公司本次收购股权暨与关联人共同投资事项与公司主营业务具有
相关性、协同性，符合公司经营发展需要，符合公司及股东的利益；本次关联交
易遵循了平等、自愿、等价有偿的原则，不影响公司的独立性，不存在损害公司
及全体股东，特别是中小股东利益的行为。董事会在审议该议案时，关联董事予
以回避表决，审议程序符合相关法律法规等规定。因此，全体独立董事一致同意
公司收购股权暨与关联人共同投资事项，并同意将该议案提交公司股东大会审议。

     二、关于《关于 2019 年股票期权激励计划第一个行权期行权条

件成就的议案》的独立意见

     我们认为，根据公司《2019 年股票期权激励计划》的规定，激励对象第一个
行权期行权的实质性条件已经成就，符合本期行权条件，我们认为其作为本次可
行权的激励对象主体资格合法、有效。董事会就本议案表决时，关联董事予以回
避，审议程序符合《公司法》《证券法》等有关法律、法规和《公司章程》的有
关规定。
     我们认为公司本次行权的相关安排，符合《上市公司股权激励管理办法》以
及公司《2019 年股票期权激励计划》等的相关规定，不存在侵犯公司及全体股东
利益的情况，同意上述激励对象在规定时间内实施第一期行权。


    （以下无正文，为签字页）