盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董事
     关于第二届董事会第三次会议相关事项的独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章
程》（以下简称“《公司章程》”）、《盛美半导体设备（上海）股份有限公司独立董
事工作制度》等规定，我们作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简
称“公司”）的独立董事，基于独立判断原则，对公司第二届董事会第三次会议
审议的各项议案所涉事项进行了审核。
    我们在查阅了有关资料并听取相关情况介绍后，就前述议案所涉事项发表如
下独立意见：

     一、关于《关于 2022 年度利润分配预案的议案》的独立意见

    我们认为，公司 2022 年度利润分配预案，是公司基于行业发展情况、公司
发展阶段、自身经营模式及资金需求的综合考虑。其决策程序合法，符合有关法
律法规、中国证券监督管理委员会及上海证券交易所的相关规定，符合《公司章
程》的相关规定，符合公司实际情况和长期发展规划的需要，不存在损害公司及
全体股东，特别是中小股东利益的情形。
    综上，我们一致同意公司 2022 年度利润分配预案，并同意董事会将该议案
提交股东大会审议。



     二、关于《关于确认 2022 年度日常关联交易及 2023 年度日常关

联交易预计的议案》的独立意见

    我们认为，公司 2022 年已发生的日常关联交易事项公平、合理，不存在损
害公司和其他非关联方股东利益的情形。公司 2023 年度预计发生的日常关联交
易事项为公司开展正常经营管理所需，公司自身业务与关联方的业务存在一定的
关联性，也存在交易的必要性，关联交易事项符合公司发展需要。关联交易遵循
了公平、公正、合理的原则，关联交易作价公允，不存在损害公司及全体股东利
益情形，符合相关法律法规以及公司《关联交易管理办法》的规定。
    我们同意董事会审议通过相关议案后将其提交公司股东大会审议。



    三、关于《关于续聘 2023 年度审计机构的议案》的独立意见

    立信会计师事务所（特殊普通合伙）具有从事证券相关业务的资格，所出具
的公司财务审计报告客观、真实，准确反映了公司的财务状况、经营成果，工作
勤勉尽责，执业水平良好。公司续聘 2023 年度审计机构的相关程序符合《中华
人民共和国公司法》《公司章程》的规定，不存在损害公司和股东，特别是中小
股东利益的行为。
    我们同意董事会审议通过相关议案后将其提交公司股东大会审议。



    四、关于《关于 2023 年度董事、监事薪酬方案的议案》的独立

意见

    我们认为，公司 2023 年董事、监事薪酬方案，是依据公司所处行业并结合
公司自身实际情况制定的，决策程序合法，不存在损害公司及股东，特别是中小
股东利益的情形，符合有关法律法规及《公司章程》的有关规定。
    我们同意董事会审议通过相关议案后将其提交公司股东大会审议。



    五、关于《关于 2023 年度高级管理人员薪酬方案的议案》的独

立意见

    我们认为，公司 2023 年高级管理人员薪酬方案，是依据公司所处行业并结
合公司自身实际情况制定的，按照公司薪酬及考核制度执行，决策程序合法，不
存在损害公司及股东，特别是中小股东利益的情形，符合有关法律法规及《公司
章程》的有关规定。
    我们同意董事会审议通过相关议案。
       六、关于《关于 2022 年度募集资金存放与实际使用情况专项报

告的议案》的独立意见

    我们认为，公司 2022 年度募集资金的存放和实际使用情况符合中国证监会、
上海证券交易所关于上市公司募集资金存放和使用的相关规定，不存在违反募集
资金管理和使用相关规定、损害股东，特别是中小股东利益的情形；公司董事会
编制的《2022 年度募集资金存放与实际使用情况的专项报告》内容真实、准确、
完整，不存在虚假记载、误导性陈述和重大遗漏，符合上海证券交易所的有关规
定。
    我们同意董事会审议通过相关议案。



       七、关于《关于使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建

项目的议案》的独立意见

    我们认为，公司本次使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的
事项符合《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要
求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自
律监管指引第 1 号——规范运作》等相关法律、法规以及规范性文件和《公司章
程》《募集资金管理制度》等的规定。本次事项已经通过董事会审议，议案内容
及表决情况符合相关规定，履行了必要的程序。公司本次事项符合公司主营业务
发展方向，符合公司募集资金使用计划，有利于公司长远发展、提高募集资金的
使用效率，不存在损害公司及中小股东利益的情形。公司本次超募资金的使用与
募集资金投资项目的实施不相抵触，不存在变相改变募集资金投向的情形。
    综上，我们同意本次使用部分超募资金向全资孙公司增资以实施新建项目的
事项，并同意将该议案提交公司股东大会审议。



       八、关于《关于为全资子公司提供担保的议案》的独立意见

    我们认为，本次担保事项为公司对全资子公司提供担保，有助于促进子公司
持续、稳健发展，公司有能力对其经营管理风险进行控制。公司对全资子公司的
担保属于公司正常经营和资金合理利用的需要。因此，不存在损害公司和全体股
东，特别是中小股东利益的情形。本次担保事项的决策和审议程序合法合规。
    我们同意董事会审议通过相关议案。