海通证券股份有限公司关于
盛美半导体设备（上海）股份有限公司
2022 年度募集资金存放与使用情况的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为盛美
半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美上海”或“公司”）首次公
开发行股票并在科创板上市的持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务
管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理和使用的监管要
求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管
指引第11号——持续督导》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1
号——规范运作》的相关规定，对盛美上海2022年度募集资金存放与使用情况进
行了核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
（一）实际募集资金金额、资金到位情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意盛美半导体设备（上海）股份有限公
司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]2689号）批准，公司向社会
公开发行人民币普通股（A股）43,355,753股，发行价格为85.00元/股，募集资金
总额为人民币3,685,239,005.00元，扣除发行费用后，募集资金净额为人民币
3,481,258,520.34元。上述募集资金到位情况已经立信会计师事务所（特殊普通合
伙）审验并出具信会师报字[2021]第ZI10561号《验资报告》。
（二）2022年度募集资金使用情况及结余情况
截至2022年12月31日，募集资金累计使用及结余情况如下：
单位：万元
项目 募集资金发生情况
2021 年募集资金结余金额 283,037.46
减：本报告期募集资金使用金额 72,759.11
减：手续费 6.15
1
减：支付的发行费用 838.96
减：以自筹资金预先投入募投项目及已支付发行费用置
21,783.97
换额
加：利息收入 2,546.29
募集资金结余金额 190,195.56
注：募集资金结余金额详情参见本核查意见二、（二）及三、（四）。
二、募集资金管理情况
（一）募集资金的管理情况
为规范公司募集资金管理，保护中小投资者利益，公司已制定了《募集资金
管理制度》，对募集资金的存放、使用以及监督等作出了具体明确的规定。报告
期内，公司严格按照公司《募集资金管理制度》的规定管理和使用募集资金，募
集资金的存放、使用、管理均不存在违反《上海证券交易所科创板上市公司自律
监管指引第1号——规范运作》等法规文件的规定以及公司《募集资金管理制度》
等制度的情况。
2021年11月，公司和保荐机构海通证券股份有限公司分别与招商银行股份有
限公司上海分行、中国光大银行股份有限公司上海昌里支行、中国银行股份有限
公司上海市浦东开发区支行、上海银行股份有限公司浦东分行、招商银行股份有
限公司上海陆家嘴支行、上海浦东发展银行股份有限公司黄浦支行、招商银行股
份有限公司上海淮海支行、兴业银行股份有限公司上海市北支行、宁波银行股份
有限公司上海长宁支行、中国工商银行股份有限公司上海自贸试验区新片区分行
共同签订了《募集资金专户存储三方监管协议》，公司及全资子公司盛帷半导体
设备（上海）有限公司和保荐机构海通证券股份有限公司与招商银行股份有限公
司上海分行共同签订了《募集资金专户存储四方监管协议》。2022年10月，公司
和保荐机构海通证券股份有限公司与上海浦东发展银行股份有限公司黄浦支行
签订了《募集资金专户存储三方监管协议之补充协议》。上述监管协议明确了各
方的权利和义务，协议主要条款与上海证券交易所《募集资金专户存储三方监管
协议（范本）》不存在重大差异。截至2022年12月31日，上述监管协议履行正常。
（二）募集资金存储情况
截至2022年12月31日，募集资金存储情况如下：
单位：万元
2
开户银行名称 银行账号 金额 备注
招商银行股份有限公司上海分行营
121909929210918 45,618.40 活期存款
业部
中国光大银行股份有限公司上海昌 36750180808738885 263.60 活期存款
里支行 36750181000061340 10,000.00 定期存款
中国银行股份有限公司上海市张江
452082279585 3.16 活期存款
高科技园区支行
上海银行股份有限公司张江支行 03004750062 3.15 活期存款
招商银行股份有限公司上海陆家嘴 121909929210858 13.01 活期存款
支行 12190992928200038 20,000.00 定期存款
上海浦东发展银行股份有限公司黄
97080078801900002063 15,526.68 活期存款
浦支行
招商银行股份有限公司上海淮海支 121909929210202 2,192.87 活期存款
行 12190992928200041 27,000.00 定期存款
兴业银行股份有限公司上海市北支 216420100100156371 7,999.71 活期存款
行 216420100200109025 10,000.00 定期存款
宁波银行股份有限公司上海长宁支 70090122000444066 61.76 活期存款
行 70090122000466261 30,000.00 定期存款
中国工商银行股份有限公司上海市
1001747729300001088 385.42 活期存款
滴水湖支行
招商银行股份有限公司上海分行营
121938866210666 127.79 活期存款
业部
合计 169,195.56
注：定期账户为系统自动生成，依托于活期账户而存在，资金进出均需通过募集资金专
户。
三、本报告期募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目（以下简称“募投项目”）的资金使用情况
公司2022年度募集资金实际使用情况详见附表《募集资金使用情况对照表》。
（二）募投项目先期投入及置换情况
公司于2022年3月1日分别召开了第一届董事会第十七次会议和第一届监事
会第十四次会议，分别审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入募投项目及
已 支 付 发 行 费 用 的 自 筹 资 金 的 议 案 》， 同 意 公 司 使 用 募 集 资 金 人 民 币
209,203,489.29元置换预先投入募投项目的自筹资金，同意公司使用募集资金人
民币8,636,173.92元置换已预先支付发行费用的自筹资金，合计使用募集资金人
民币217,839,663.21元置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金。公
3
司监事会、独立董事对本事项发表了意见，保荐机构海通证券股份有限公司出具
了核查意见。
立信会计师事务所（特殊普通合伙）对上述募集资金投资项目先期投入及置
换情况进行了专项核验，并出具了《盛美半导体设备（上海）股份有限公司募集
资金置换专项鉴证报告》（信会师报字[2022]第ZI10013号）。
具体内容详见公司于2022年3月2日在上海证券交易所网站披露的《关于使用
募集资金置换预先投入募投项目及已支付发行费用的自筹资金的公告》（公告编
号：2022-009）。
截至2022年12月31日，公司已完成对预先投入募投项目及已支付发行费用的
自筹资金的置换。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至2022年12月31日，公司不存在用闲置募集资金暂时补充流动资金的情况。
（四）对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
公司于2022年8月18日召开第一届董事会第二十次会议、第一届监事会第十
七次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公
司在保证不影响募集资金计划正常进行的前提下，使用最高不超过人民币20亿元
的暂时闲置募集资金用于购买安全性高、流动性好、有保本约定的投资产品，使
用期限自公司董事会、监事会审议通过之日起12个月内有效。在前述额度及期限
范围内，公司可以循环滚动使用。具体内容详见公司于2022年8月20日在上海证
券交易所网站披露的《关于使用闲置募集资金进行现金管理的公告》 公告编号：
2022-023）。
报告期内，公司使用部分闲置募集资金进行现金管理具体情况如下：
金额 年化收
签约银行 产品名称 起息日 到期日
（万元） 益率
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.10.20 2025.10.20 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.10.20 2025.10.20 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.10.20 2025.10.20 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
4
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.10.20 2025.10.20 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.10.20 2025.10.20 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.11.14 2025.11.14 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.11.14 2025.11.14 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.11.14 2025.11.14 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.11.14 2025.11.14 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.11.14 2025.11.14 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.8 2025.12.8 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.8 2025.12.8 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.8 2025.12.8 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.15 2025.12.15 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.15 2025.12.15 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.15 2025.12.15 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.30 2025.12.30 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.30 2025.12.30 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.30 2025.12.30 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.30 2025.12.30 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
上海浦东发展银行股份有限
大额存单 2022.12.30 2025.12.30 1,000.00 3.10%
公司黄浦支行
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至2022年12月31日，公司不存在用超募资金永久补充流动资金或归还银行
贷款情况。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
公司于2022年8月4日召开第一届董事会第十九次会议及第一届监事会第十
六次会议，审议通过《关于使用部分超募资金投资建设新项目的议案》，同意公
司使用74,773.07万元（含利息收益）用于投资建设新项目，其中使用超募资金人
5
民币73,087.15万元。该议案于2022年9月8日经公司2022年第一次临时股东大会审
议通过。具体内容详见公司于2022年8月8日在上海证券交易所网站披露的《关于
使用部分超募资金投资建设新项目的公告》（公告编号：2022-019）
（七）节余募集资金使用情况
截至2022年12月31日，公司不存在将募投项目节余资金用于其他募投项目或
非募投项目的情况。
（八）募集资金使用的其他情况
截至2022年12月31日，公司不存在募集资金使用的其他情况。
四、变更募投项目的资金使用情况
报告期内，公司募投项目未发生变更。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司已披露的相关信息不存在不及时、不真实、不准确、不完整披露的情况。
已使用的募集资金均投向所承诺的募集资金投资项目，不存在违规使用募集资金
的情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
立信会计师事务所（特殊普通合伙）认为：公司2022年度募集资金存放与使
用情况专项报告在所有重大方面按照中国证券监督管理委员会《上市公司监管指
引第2号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求（2022年修订）》（证监会公
告［2022］15号）、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第1号——规
范运作》的相关规定编制，如实反映了公司2022年度募集资金存放与使用情况。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司2022年度募集资金的存放与使用符合《证券发
行上市保荐业务管理办法》《上市公司监管指引第2号——上市公司募集资金管理
和使用的监管要求》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科
创板上市公司自律监管指引第1号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管
理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至2022年12月31日，盛美上海不
6
存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集资金的
情形，发行人募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。保荐机
构对盛美上海2022年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）
7
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于盛美半导体设备（上海）股份有
限公司2022年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：
张博文 李 凌
海通证券股份有限公司
年 月 日
8
附件：募集资金使用情况对照表
2022 年度
编制单位：盛美半导体设备（上海）股份有限公司 单位：人民币元
募集资金总额（注 1） 3,481,258,520.34 本年度投入募集资金总额（注 2） 936,794,577.03
变更用途的募集资金总额 -
已累计投入募集资金总额 1,607,932,475.51
变更用途的募集资金总额比例 -
已变更
项目达 项目可
项目， 截至期末累计投 截至期末 本年 是否
调整后 截至期末承诺投 到预定 行性是
含部分 募集资金承诺投 本年度投入金 截至期末累计投 入金额与承诺投 投入进度 度实 达到
承诺投资项目 投资总 入金额(1) 可使用 否发生
变更 资总额 额 入金额(2) 入金额的差额(3) （%）(4) 现的 预计
额 （注 2） 状态日 重大变
（如 ＝(2)-(1) ＝(2)/(1) 效益 效益
期 化
有）
盛美半导体设
不适 不适
备研发与制造 不适用 700,000,000.00 不适用 700,000,000.00 234,794,239.10 249,141,205.03 -450,858,794.97 35.59 2023 年 否
用 用
中心
盛美半导体高
不适 不适
端半导体设备 不适用 450,000,000.00 不适用 450,000,000.00 316,608,524.13 349,321,493.11 -100,678,506.89 77.63 不适用 否
用 用
研发项目
不适 不适
补充流动资金 不适用 650,000,000.00 不适用 650,000,000.00 17,348,570.90 641,426,534.47 -8,573,465.53 98.68 不适用 否
用 用
高端半导体设
不适 不适
备拓展研发项 不适用 730,871,500.00 不适用 730,871,500.00 368,043,242.90 368,043,242.90 -362,828,257.10 50.36 不适用 否
用 用
目
合计 2,530,871,500.00 2,530,871,500.00 936,794,577.03 1,607,932,475.51 -922,939,024.49 63.53
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 无
项目可行性发生重大变化的情况说明 无
募集资金投资项目先期投入及置换情况 见专项报告三、（二）
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 无
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 见专项报告三、（四）
9
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 无
募集资金结余的金额及形成原因 无
募集资金其他使用情况 见专项报告三、（六）
注 1：“募集资金总额”是指扣除保荐承销费及其他发行费用后的金额人民币 3,481,258,520.34 元；
注 2：“截至期末承诺投入金额”以最近一次已披露募集资金投资计划为依据确定。
10