盛美半导体设备（上海）股份有限公司
            独立董事关于对外担保情况的专项说明


    根据《上市公司监管指引第 8 号——上市公司资金往来、对外担保的监管要
求》等法律法规及《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称“《公
司章程》”）的有关规定，我们作为盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下
简称“公司”）的独立董事，在对公司 2022 年度对外担保情况进行核查与落实后，
发表专项说明如下：


    一、对外担保情况专项说明
    （一）截至 2022 年 12 月 31 日，公司及子公司不存在为控股股东及其关联
方提供担保的情况；
    （二）2022 年度，公司对外担保的总额为 150 万美元（约合人民币 1,044.69
万元），均系为全资子公司清芯科技有限公司提供的担保；截至 2022 年 12 月 31
日，公司为子公司提供担保的余额为 150 万美元（约合人民币 1,044.69 万元），
占公司最近一期经审计净资产的 0.19%，不存在逾期担保。上述对子公司的担保
均已按照有关法律、法规及《公司章程》的规定履行了相关审议程序（以上汇率
按 2022 年 12 月 30 日人民银行美元兑人民币中间价 1:6.9646 计算）；
    （三）除上述担保外，公司及控股子公司不存在其他对外担保的情形。


    二、独立意见
    报告期内，公司严格遵守有关法律法规对担保事项的相关规定，在《公司章
程》和《对外担保管理制度》中明确了对外担保的对象、范围及审批权限，严格
规范公司对外担保行为，控制对外担保风险，不存在损害公司及全体股东利益的
因素。
    （以下无正文）