盛美半导体设备（上海）股份有限公司
         2023年限制性股票激励计划实施考核管理办法


    盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“公司”）为进一步健全公
司的激励约束机制，形成良好均衡的价值分配体系，有效地将股东利益、公司利益
和员工个人利益结合在一起，使其更诚信勤勉地开展工作，以保证公司业绩稳步提
升，确保公司发展战略和经营目标的实现。按照收益与贡献匹配的原则，公司拟实
施2023年限制性股票激励计划。

    为保证公司2023年限制性股票激励计划的顺利实施，现根据《中华人民共和国
公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司股权激励管理办法》《上海证券交
易所科创板股票上市规则》《科创板上市公司自律监管指南第4号——股权激励信
息披露》等有关法律、法规和规范性文件、以及《盛美半导体设备（上海）股份有
限公司章程》、《盛美半导体（上海）股份有限公司2023年限制性股票激励计划
（草案）》（限制性股票激励计划以下简称“激励计划”、“计划”）的相关规定，
特制定《盛美半导体设备（上海）股份有限公司2023年限制性股票激励计划实施考
核管理办法》（以下简称“本办法”）。



    一、考核目的
    进一步完善公司激励约束机制，保证公司激励计划的顺利实施，并在最大程度
上发挥激励计划的作用。



    二、考核原则
    考核评价必须坚持公正、公开、公平的原则，严格按照本办法和考核对象的业
绩进行评价，以实现激励计划与激励对象工作业绩、贡献紧密结合，从而提高公司
整体业绩，实现公司与全体股东利益最大化。



    三、考核范围
    本办法适用于公司本次激励计划所确定的所有激励对象，即薪酬与考核委员会
确定并经董事会审议通过的所有激励对象，包括公司董事、高级管理人员、核心技
术人员以及董事会认为需要激励的其他人员。



    四、考核机构
    （一）董事会薪酬与考核委员会负责领导、组织激励对象的考核工作。

    （二）公司人力资源部负责具体实施考核工作。人力资源部对董事会薪酬与考
核委员会负责及报告工作。

    （三）公司人力资源部、财务部等相关部门负责相关考核数据的收集和提供,
并对数据的真实性和可靠性负责。

    （四）公司董事会负责本办法的审批及考核结果的审核。



    五、考核指标及标准
    （一）公司层面业绩考核要求

   本次激励计划授予的限制性股票考核年度为2023年-2026年四个会计年度，每个
会计年度考核一次。根据各考核年度所使用的营业收入增长率累计值（A）、各考核
年度的专利申请数（B）进行考核，根据各考核年度业绩指标的完成情况确定公司层
面归属比例，各年度业绩考核目标安排如下表所示：
                      各考核年度所使用
            对应考
  归属期              的营业收入增长率       业绩考核目标       归属比例（X）
            核年度
                        累计值（A）
                                          A≧对标企业算术平均
                                                                   X=100%
                                                 增长率
                                          对标企业算术平均增
 第一个归             2023 年营业收入增
            2023 年                       长率*0.8≦A<对标企        X=80%
   属期                      长率
                                            业算术平均增长率
                                          A<对标企业算术平均
                                                                     0
                                               增长率*0.8
                                          A≧对标企业算术平均
                                                                   X=100%
                                                 增长率
                      2023 年、2024 年
 第二个归                                 对标企业算术平均增
            2024 年   两年营业收入增长
   属期                                   长率*0.8≦A<对标企        X=80%
                          率累计值
                                            业算术平均增长率
                                          A<对标企业算术平均         0
                      各考核年度所使用
            对应考
  归属期              的营业收入增长率      业绩考核目标         归属比例（X）
            核年度
                        累计值（A）
                                              增长率*0.8
                                         A≧对标企业算术平均
                                                                    X=100%
                                                增长率
                      2024 年、2025 年   对标企业算术平均增
 第三个归
            2025 年   两年营业收入增长   长率*0.8≦A<对标企          X=80%
   属期
                          率累计值         业算术平均增长率
                                         A<对标企业算术平均
                                                                       0
                                              增长率*0.8
                                         A≧对标企业算术平均
                                                                    X=100%
                                                增长率
                      2025 年、2026 年   对标企业算术平均增
 第四个归
            2026 年   两年营业收入增长   长率*0.8≦A<对标企          X=80%
   属期
                          率累计值         业算术平均增长率
                                         A<对标企业算术平均
                                                                       0
                                              增长率*0.8




                      专利申请数（B）
            对应考
  归属期              目标值    触发值      业绩考核目标         归属比例（Y）
            核年度
                      （Bm）    （Bn）
                                               B≧Bm                Y=100%
 第一个归
            2023 年    100        80          Bn≦B