| 主营产品构成（百万） | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 半导体专用工艺废气处理设备 | 29.72% | 150.21 | -- | 111.68 | 25.65% | -- |
| 半导体专用温控设备 | 64.61% | 326.50 | -- | 217.74 | 33.31% | -- |
| 晶圆传片设备 | 1.69% | 8.55 | -- | 7.93 | 7.24% | -- |
| 零配件及支持性设备 | 2.95% | 14.91 | -- | 10.90 | 26.89% | -- |
| 维护、维修等服务 | 1.02% | 5.17 | -- | 3.33 | 35.46% | -- |
| 总计 | 505.33 | |||||
| 行业收入构成（百万） | ||||||
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 半导体设备 | 100.00% | 742.28 | -- | 457.58 | 38.35% | -- |
| 总计 | 742.28 | |||||
| 地区收入构成（百万） | ||||||
| 名称 | 占总收入比例 | 收入 | 同比变化 | 成本 | 毛利率 | 同比变化 |
| 境内 | 100.00% | 505.33 | -- | 351.59 | 30.42% | -- |
| 总计 | 505.33 | |||||
