国信证券股份有限公司
关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2020 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见
国信证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“国信证券”）作为沈阳
芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）首次公开发行
股票并在科创板上市的保荐机构，履行持续督导职责，根据《证券发行上市保荐
业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的
监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《上海证券交易所上市
公司募集资金管理办法（2013 年修订）》等规范性法律文件的要求，对芯源微
2020 年度募集资金存放与使用情况进行了核查，核查情况及意见如下：
一、募集资金基本情况
经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司首
次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2019]2335 号）同意注册，公司于 2019
年 12 月 10 日向社会公开发行人民币普通股（A 股）2100 万股，每股发行价为
26.97 元，应募集资金总额为人民币 566,370,000.00 元，根据有关规定扣除发行
费用（不含增值税）60,625,896.22 元（其中保荐承销费（不含增值税）48,246,650.94
元已在募集资金中扣除）后，实际募集资金净额为 505,744,103.78 元，实际到账
金额为 518,123,349.06 元。以上募集资金已于 2019 年 12 月 10 日到位，募集资
金到位情况已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）审验并出具会验字
[2019]8294 号《验资报告》。公司对募集资金采取了专户存储管理。
2020 年度，公司募集资金使用情况为：（1）直接使用超募资金支付发行费
用（不含增值税）4,096,226.41 元；（2）对募集资金项目投入 107,866,768.64 元，
其 中 ： 高 端 晶 圆 产 业 化 项 目 45,723,696.72 元 ， 高 端 晶 圆 研 发 中 心 项 目
62,143,071.92 元；（3）使用超募资金永久补充流动资金 38,300,000.00 元；（4）
使用超募资金暂时补充流动资金 80,000,000.00 元。2020 年度公司累计使用募集
资金 230,262,995.05 元，支付银行手续费（不含增值税）5,423.05 元，募集资金
专用账户利息收入为 3,234,204.80 元，使用暂时闲置募集资金购买理财产品所得
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投资收益 10,813,328.33 元，募集资金专用账户 2020 年 12 月 31 日余额合计为
293,675,298.68 元。具体明细如下：
项目 金额（人民币元）
募集资金净额 505,744,103.78
减：截至 2020 年末公司直接对募集资金项目投入 107,866,768.64
其中：高端晶圆处理设备产业化项目 45,723,696.72
高端晶圆处理设备研发中心项目 62,143,071.92
减：截至 2020 年末公司使用超募资金永久补充流动资金 38,300,000.00
减：截至 2020 年末公司使用超募资金暂时补充流动资金 80,000,000.00
加：截至 2020 年末公司募集资金理财收益 10,813,328.33
加：截至 2020 年末公司募集资金利息收入扣除手续费净额 3,284,635.21
募集资金余额 293,675,298.68
二、募集资金管理情况
公司根据《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法》有关法律法规的规
定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，于 2019 年 4 月 24 日召开 2019 年第
三次临时股东大会，审议通过《关于制定<募集资金管理办法>的议案》。《募
集资金管理办法》对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了明确的规
定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
2019 年 12 月 11 日，公司分别与中信银行股份有限公司沈阳分行、中国建
设银行股份有限公司沈阳城内支行、招商银行股份有限公司沈阳浑南西路支行和
国信证券签署《募集资金专户存储三方监管协议》以下简称“《三方监管协议》”）。
公司于 2019 年 12 月 11 日在中信银行沈阳和平支行开设募集资金专项账户（账
号 8112901012900643057），于 2019 年 12 月 11 日在中国建设银行沈阳城内支
行开设募集资金专项账户（账号 21050139000800001255），于 2019 年 12 月 11
日在招商银行沈阳浑南西路支行开设募集资金专项账户（账号
124904600110111）。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存
储三方监管协议(范本)》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。
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截至 2020 年 12 月 31 日止，募集资金存储情况如下：
金额单位：人民币元
银行名称 银行帐号 余额
中信银行沈阳和平支行 8112901012900643057 80,853,134.46
中国建设银行沈阳城内支行 21050139000800001255 200,614,695.21
招商银行沈阳浑南西路支行 124904600110111 12,207,469.01
合 计 293,675,298.68
三、2020 年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2020 年 12 月 31 日止，募集资金投资项目的资金使用情况详见附表 1：
募集资金使用情况对照表。
（二）募投项目先期投入及置换情况
在募集资金到位前，公司使用自筹资金对“高端晶圆处理设备研发中心”募
集资金项目累计投入 14,034,042.00 元，对“高端晶圆处理设备产业化”募集资金
项目累计投入 389,400.00 元，使用自筹资金支付发行费用人民币 2,597,169.81 元。
2020 年 4 月 24 日，公司召开第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，
同意公司使用募集资金 17,020,611.81 元置换预先投入自筹资金。公司独立董事
对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意
见。上述以募集资金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特
殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064 号《关于沈阳芯源微电子设备
股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至 2020
年 12 月 31 日，上述自筹资金 17,020,611.81 元已用募集资金置换完毕。
（三）对闲置募集资金进行现金管理情况
2019 年 12 月 25 日，公司召开第一届董事会第十三次会议和第一届监事会
第六次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意
公司使用额度不超过 46,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，使用
期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，
可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了
同意的核查意见。
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2020 年 12 月 24 日，公司召开第一届董事会第二十一次会议和第一届监事
会第十二次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，
同意公司使用额度不超过 30,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现金管理，
使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期
内，可循环滚动使用。独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出
具了同意的核查意见。
截至 2020 年 12 月 31 日，公司购买的理财产品已全部到期收回。
（四）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
公司于 2020 年 4 月 24 日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第
七次会议，审议通过了《关于使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，
同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金项目正常进行的
前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，
进一步提升公司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人
民币 3,830 万元用于永久补充流动资金。本次使用部分超募资金永久补充流动资
金仅在与主营业务相关的生产经营中使用；在本次超募资金永久补充流动资金后
的 12 个月内，不进行高风险投资或对外提供财务资助。公司超募资金总额为
12,795.44 万元，本次拟用于永久补充流动资金的金额为 3,830 万元，占超募资金
总额的比例为 29.93 %。公司最近 12 个月内累计使用超募资金永久补充流动资金
的金额不超过超募资金总额的 30%，未违反中国证监会、上海证券交易所关于上
市公司募集资金使用的有关规定。
公司独立董事发表了同意的独立意见，公司保荐机构对本事项出具了同意的
核查意见。截至 2020 年 12 月 31 日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资
金为 3,830 万元。
（五）使用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
公司于 2020 年 7 月 2 日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第
八次会议，审议通过了《关于使用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同
意公司使用闲置募集资金不超过人民币 8,000 万元用于暂时补充流动资金，单次
补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金
使用效率，降低公司财务成本。
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截至 2020 年 12 月 31 日，暂时补充流动资金尚未偿还余额 8,000 万元。
（六）募集资金使用的其他情况
公司于 2020 年 4 月 24 日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会
第七次会议，审议通过了《关于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，
同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”实施地点由“沈阳
市浑南区新岛街 6 号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至
沈本大街，北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集
资金的用途及实施方式，不会对公司正常的生产经营和业务发展产生不利影响。
公司于 2021 年 3 月 19 日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事
会第十三次会议，审议通过了《关于募投项目延期的议案》，同意公司将“高端
晶圆处理设备研发中心项目”的达到预定可使用状态时间调整至 2022 年 3 月 31
日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至 2022
年 6 月 30 日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上
述事项发表了同意的核查意见。本次募集资金投资项目延期是公司基于募集资金
投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使用状态日
期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在
改变或变相改变募集资金投向和其他损害股东利益的情形。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2020 年 12 月 31 日止，公司募集资金投资项目未发生变更情况。
五、募集资金使用及披露中存在的问题
公司按照相关法律、法规、规范性文件的规定和要求使用募集资金，并对募
集资金使用情况及时地进行了披露，不存在募集资金使用及管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
容诚会计师事务所（特殊普通合伙）认为：芯源微 2020 年度《关于公司募
集资金存放与实际使用情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监
管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》（证监会公告
[2012]44 号）及交易所的相关规定编制，公允反映了芯源微 2020 年度募集资金
实际存放与使用情况。
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七、保荐机构核查工作
保荐机构通过资料审阅、访谈沟通等多种方式，对芯源微募集资金的存放、
使用及募集资金投资项目实施情况进行了核査。主要包括：査阅公司募集资金存
放银行对账单、募集资金支付凭证、中介机构相关报告、募集资金使用情况的相
关公告等资料，并与公司相关人员沟通交流等。
八、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为：芯源微 2020 年度募集资金存放与使用情况符合《上
海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理
办法（2013 年修订）》、公司《募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的
规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，
募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和
损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形。
（以下无正文）
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（本页无正文，为《国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有
限公司 2020 年度募集资金存放与使用情况的专项核查意见》之签署页）
保荐代表人：
杜 畅 张 毅
国信证券股份有限公司
年 月 日
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附表 1：
2020 年度募集资金使用情况对照表
单位：万元
募集资金总额 50,574.41 本年度投入募集资金总额 10,786.68
变更用途的募集资金总额 不适用
已累计投入募集资金总额 10,786.68
变更用途的募集资金总额比例 不适用
承诺投资项目 是否已变更 募集资金承 调整后投资 截至期末承诺 本年度投入 截至期末累 截至期末累计投入 截至期末投入 项目达到预定可 本年度实现 是否达到 项目可行
项目(含部分 诺投资总额 总额 投入金额(1) 金额 计投入金额 金额与承诺投入金 进度(%)(4)＝ 使用状态日期 的效益 预计效益 性是否发
变更) (2) 额的差额(3)＝ (2)/(1) 生重大变
(2)-(1) 化
高端晶圆处理
设备产业化项 否 23,860.73 23,860.73 23,860.73 4,572.37 4,572.37 -19,288.36 19.16 2022 年 6 月 30 日 不适用 不适用 否
目
高端晶圆处理
设备研发中心 否 13,918.24 13,918.24 13,918.24 6,214.31 6,214.31 -7,703.93 44.65 2022 年 3 月 31 日 不适用 不适用 否
项目
承诺投资项目
— 37,778.97 37,778.97 37,778.97 10,786.68 10,786.68 -26,992.29 — — — —
合计
超募资金投向 支付发行费用（不含增值税）409.62 万元
归还银行贷款（如有） 不适用
补充流动资金（如有） 使用超募资金永久补充流动资金 3,830.00 万元，使用超募资金暂时补充流动资金 8,000.00 万元
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超募资金投向合计 12,239.62 万元
未达到计划进度原因(分具体项目) 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
公司于 2020 年 4 月 24 日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关
于变更部分募集资金投资项目实施地点的议案》，同意将募集资金投资项目之一“高端晶圆处理设备产业化项目”
募集资金投资项目实施地点变更情况 实施地点由“沈阳市浑南区新岛街 6 号”变更为“沈阳市浑南区东至沈本一街，南至规划地块，西至沈本大街，
北至桃园一路”。上述募投项目实施地点变更不改变或变相改变募集资金的用途及实施方式，不会对公司正常的
生产经营和业务发展产生不利影响。
募集资金投资项目实施方式调整情况 不适用
公司于 2020 年 4 月 24 日召开了第一届董事会第十五次会议和第一届监事会第七次会议，审议通过了《关
于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金 1,702.06 万元置换预先投入自筹资金。
公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。上述以募集资
募集资金投资项目先期投入及置换情况
金置换预先投入自筹资金的情况，已经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）验证并出具容诚专字[2020]110Z0064
号《关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司以自筹资金预先投入募集资金投资项目的鉴证报告》。截至 2020 年
12 月 31 日，上述自筹资金 1,702.06 万元已用募集资金置换完毕。
2019 年 12 月 25 日，公司召开第一届董事会第十三次会议和第一届监事会第六次会议，审议通过了《关于
使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 46,000 万元（含本数）闲置募集资金进行现
金管理，使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。
独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况 2020 年 12 月 24 日，公司召开第一届董事会第二十一次会议和第一届监事会第十二次会议，审议通过了《关
于使用闲置募集资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过 30,000 万元（含本数）闲置募集资金进行
现金管理，使用期限自本次董事会审议通过起 12 个月内，在不超过上述额度及决议有效期内，可循环滚动使用。
独立董事对本次事项发表了同意的独立意见，保荐机构出具了同意的核查意见。
截至 2020 年 12 月 31 日，公司无对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品的情况。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 公司于 2020 年 4 月 24 日召开第一届董事会第十五次会议及第一届监事会第七次会议，审议通过了《关于
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使用部分超募资金永久性补充流动资金的议案》，同意公司在保证募集资金投资项目建设的资金需求和募集资金
项目正常进行的前提下，为满足公司流动资金需求，提高募集资金的使用效率，降低财务成本，进一步提升公
司盈利能力，维护上市公司和股东的利益，使用部分超募资金计人民币 3,830 万元用于永久补充流动资金。截至
2020 年 12 月 31 日，公司累计使用超募资金永久性补充流动资金为 3,830 万元。
公司于 2020 年 7 月 2 日召开第一届董事会第十七次会议和第一届监事会第八次会议，审议通过了《关于使
用闲置募集资金暂时补充流动资金的议案》，同意公司使用闲置募集资金不超过人民币 8,000 万元用于暂时补充
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
流动资金，单次补充流动资金时间不得超过 12 个月，以满足公司流动资金需求，提高募集资金使用效率，降低
公司财务成本。截至 2020 年 12 月 31 日，暂时补充流动资金尚未偿还余额 8,000 万元。
募集资金结余的金额及形成原因 不适用
公司于 2021 年 3 月 19 日召开了第一届董事会第二十三次会议和第一届监事会第十三次会议，审议通过了
《关于公司募投项目延期的议案》，同意公司将“高端晶圆处理设备研发中心项目、”的达到预定可使用状态时间
调整至 2022 年 3 月 31 日，将“高端晶圆处理设备产业化项目”的达到预定可使用状态时间调整至 2022 年 6 月 30
募集资金其他使用情况 日。公司独立董事对上述事项发表了同意的独立意见，保荐机构对上述事项发表了同意的核查意见。本次募集
资金投资项目延期是公司基于募集资金投资项目实际情况做出的决定，仅涉及募集资金投资项目达到预计可使
用状态日期的变化，不涉及项目实施主体、募集资金投资用途及投资规模的变更，不存在改变或变相改变募集
资金投向和其他损害股东利益的情形。
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