国信证券股份有限公司
关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
2020 年度持续督导跟踪报告
根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上海证券交易所科创板股票上
市规则》、《上海证券交易所上市公司持续督导工作指引》等有关法律、法规的
规定，国信证券股份有限公司（以下简称“国信证券”或“保荐机构”）作为沈
阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）持续督导工
作的保荐机构，负责芯源微首次公开发行股票并在科创板上市后的持续督导工
作，并出具本持续督导年度跟踪报告书。
一、持续督导工作情况
序号 工作内容 持续督导情况
保荐机构已建立健全并有效执行
建立健全并有效执行持续督导工作制度，并针对
1 了持续督导制度，并制定了相应
具体的持续督导工作制定相应的工作计划
的工作计划
根据中国证监会相关规定，在持续督导工作开始 保荐机构已与芯源微签订《保荐
前，与上市公司或相关当事人签署持续督导协 协议》，该协议明确了双方在持
2
议，明确双方在持续督导期间的权利义务，并报 续督导期间的权利和义务，并报
上海证券交易所备案 上海证券交易所备案
保荐机构通过日常沟通、定期或
通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职调查 不定期回访等方式，了解芯源微
3
等方式开展持续督导工作 的经营情况，对芯源微开展持续
督导工作
持续督导期间，按照有关规定对上市公司违法违
2020 年度芯源微在持续督导期
规事项公开发表声明的，应于披露前向上海证券
4 间未发生按有关规定须保荐机构
交易所报告，并经上海证券交易所审核后在指定
公开发表声明的违法违规情形
媒体上公告
持续督导期间，上市公司或相关当事人出现违法
违规、违背承诺等事项的，应自发现或应当发现
2020 年度芯源微在持续督导期
之日起五个工作日内向上海证券交易所报告，报
5 间未发生违法违规或违背承诺等
告内容包括上市公司或相关当事人出现违法违
事项
规、违背承诺等事项的具体情况，保荐人采取的
督导措施等
督导上市公司及其董事、监事、高级管理人员遵 在持续督导期间，保荐机构督导
6
守法律、法规、部门规章和上海证券交易所发布 芯源微及其董事、监事、高级管
1
的业务规则及其他规范性文件，并切实履行其所 理人员遵守法律、法规、部门规
做出的各项承诺 章和上海证券交易所发布的业务
规则及其他规范性文件，切实履
行其所做出的各项承诺
督导上市公司建立健全并有效执行公司治理制 保荐机构督促芯源微依照相关规
度，包括但不限于股东大会、董事会、监事会议 定健全和完善公司治理制度，并
7
事规则以及董事、监事和高级管理人员的行为规 严格执行，督导董事、监事、高
范等 级管理人员遵守行为规范
督导上市公司建立健全并有效执行内控制度，包 保荐机构对芯源微的内控制度的
括但不限于财务管理制度、会计核算制度和内部 设计、实施和有效性进行了核查，
8 审计制度，以及募集资金使用、关联交易、对外 芯源微的内控制度符合相关法规
担保、对外投资、衍生品交易、对子公司的控制 要求并得到了有效执行，能够保
等重大经营决策的程序与规则等 证公司的规范运行
督导上市公司建立健全并有效执行信息披露制
保荐机构督促芯源微严格执行信
度，审阅信息披露文件及其他相关文件，并有充
9 息披露制度，审阅信息披露文件
分理由确信上市公司向上海证券交易所提交的
及其他相关文件
文件不存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏
对上市公司的信息披露文件及向中国证监会、上
海证券交易所提交的其他文件进行事前审阅，对
存在问题的信息披露文件及时督促公司予以更
正或补充，公司不予更正或补充的，应及时向上
保荐机构对芯源微的信息披露文
海证券交易所报告；对上市公司的信息披露文件
10 件进行了审阅，不存在应及时向
未进行事前审阅的，应在上市公司履行信息披露
上海证券交易所报告的情况
义务后五个交易日内，完成对有关文件的审阅工
作，对存在问题的信息披露文件应及时督促上市
公司更正或补充，上市公司不予更正或补充的，
应及时向上海证券交易所报告
关注上市公司或其控股股东、实际控制人、董事、
2020 年度，芯源微无控股股东及
监事、高级管理人员受到中国证监会行政处罚、
实际控制人，芯源微及其董事、
11 上海证券交易所纪律处分或者被上海证券交易
监事、高级管理人员未发生该等
所出具监管关注函的情况，并督促其完善内部控
事项
制制度，采取措施予以纠正
持续关注上市公司及控股股东、实际控制人等履
行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际控制 2020 年度，芯源微及相关当事人
12
人等未履行承诺事项的，及时向上海证券交易所 不存在未履行承诺的情况
报告
关注公共传媒关于上市公司的报道，及时针对市
场传闻进行核查。经核查后发现上市公司存在应
2020 年度，经保荐机构核查，不
披露未披露的重大事项或披露的信息与事实不
13 存在应及时向上海证券交易所报
符的，及时督促上市公司如实披露或予以澄清；
告的情况
上市公司不予披露或澄清的，应及时向上海证券
交易所报告
发现以下情形之一的，督促上市公司做出说明 2020 年度，芯源微未发生前述情
14
并限期改正，同时向上海证券交易所报告：（一） 况
2
涉嫌违反《上市规则》等相关业务规则；（二）
证券服务机构及其签名人员出具的专业意见可
能存在虚假记载、误导性陈述或重大遗漏等违法
违规情形或其他不当情形；（三）公司出现《保
荐办法》第七十一条、第七十二条规定的情形；
（四）公司不配合持续督导工作；（五）上海证
券交易所或保荐人认为需要报告的其他情形
制定对上市公司的现场检查工作计划，明确现场
检查工作要求，确保现场检查工作质量。上市公
司出现以下情形之一的，保荐人应自知道或应当
知道之日起十五日内或上海证券交易所要求的
期限内，对上市公司进行专项现场检查：（一）
控股股东、实际控制人或其他关联方非经营性占 2020 年度，芯源微不存在需要专
15
用上市公司资金；（二）违规为他人提供担保； 项现场检查的情形
（三）违规使用募集资金；（四）违规进行证券
投资、套期保值业务等；（五）关联交易显失公
允或未履行审批程序和信息披露义务；（六)业
绩出现亏损或营业利润比上年同期下降 50%以
上；（七)上海证券交易所要求的其他情形
二、保荐机构和保荐代表人发现的问题及整改情况
无。
三、重大风险事项
（一）经营风险
1、下游客户扩厂不及预期或产能过剩的风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，如
果未来终端消费市场需求尤其是增量需求下滑或由于快速扩张导致的产能过剩，
半导体制造厂商可能会削减资本性支出规模，将会对包括公司在内的半导体设备
行业企业的经营业绩造成较大不利影响。
2、研发投入可能大幅增长的风险
随着公司对新产品、新技术研发的持续投入以及可能承担包括 02 重大专项
等在内的重大科研项目，未来公司研发投入可能会出现阶段性的大幅增长，这将
对公司的经营业绩造成较大冲击。
3、客户集中度较高的风险
3
公司主要客户相对集中，其根据各自产能饱和度、产线规划及建设进度等综
合考量后开展固定资产购置，采购行为具有集中成批次、不均匀的特点，受此影
响，公司经营业绩各年度存在一定波动。
4、供应商供货不稳定风险
半导体设备属于高精密的自动化装备，研发和生产均需使用高精度元器件，
对产品机械结构的精度和材质要求较高，而我国与此相关的产业配套环境依然不
够成熟，相关核心关键零部件仍然有赖于进口。公司以机械臂为代表的部分核心
零部件大部分采购自日本等国外核心供应商，虽然公司与其建立了长期稳定的供
货关系，但未来下游半导体制造业对半导体设备需求不排除会出现爆发式增长，
进而对公司产品生产造成一定的压力，而公司上游核心供应商短期供货能力不足
可能会在一定程度上约束公司的生产能力，进而对公司的经营产生不利影响。
5、新产品商业化推广不及预期的风险
如果公司新产品（包括前道涂胶显影设备等）商业化推广不及预期，也会对
公司业绩产生较大不利影响。
在上述各项影响因素综合作用下，不排除未来公司经营业绩出现大幅波动的
风险。
（二）行业风险
1、市场竞争加剧的风险
作为与光刻机配合进行作业的关键处理设备，公司生产的涂胶/显影设备成
功打破国外厂商垄断并填补国内空白，其中在集成电路制造后道先进封装和 LED
芯片制造等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代，伴随着半导体产
业景气度不断升温，市场竞争也逐渐加剧 ，如果未来有更多的半导体设备制造
企业生产同类型设备，可能会影响公司产品的稀缺性，导致公司未来客户流失、
市场地位和经营业绩下滑，从而对公司持续经营能力产生不利影响。
2、国际贸易摩擦加剧的风险
随着国际贸易摩擦的加剧，不排除相关国家贸易政策变动影响公司上游供应
商的供货稳定性。
4
（三）宏观环境风险
半导体设备行业受下游半导体市场及终端消费市场需求波动的影响较大，其
发展呈现一定的周期性，如果未来宏观经济发展乏力，终端消费市场的增量需求
大幅下滑，半导体制造厂商将会减少半导体设备的采购，行业将面临一定的波动
风险。
全球新冠肺炎疫情仍然比较严重，也可能导致供货不稳定、原材料价格上涨，
对公司经营业绩造成不利影响。
（四）其他重大风险
1、税收优惠风险
报告期内，公司享受的税收优惠政策包括软件产品增值税即征即退、研发费
用加计扣除、高新技术企业所得税优惠等。如果国家有关税收优惠的法律、法规、
政策等发生重大调整，或者由于公司未来不能持续取得国家高新技术企业资格等
原因而无法享受相关税收优惠，将对公司的经营业绩造成不利影响。
2、政府补助政策风险
报告期内，公司计入其他收益的政府补助金额为 2,658.26 万元，占当期利润
总额的比例为 50.32%，占比较高。如果未来政府部门对公司所处产业的政策支
持力度有所减弱，公司取得的政府补助金额将会有所减少，进而对公司的经营业
绩产生不利影响。
四、重大违规事项
2020 年度，公司不存在重大违规事项。
五、主要财务指标的变动原因及合理性
2020 年度，公司主要会计数据如下所示：
单位：元
本期比上年
主要会计数据 2020年 2019年 2018年
同期增减(%)
营业收入 328,900,200.07 213,156,650.17 54.30 209,990,524.25
归属于上市公司股东
48,828,560.81 29,275,895.55 66.79 30,477,913.09
的净利润
归属于上市公司股东
12,875,142.25 14,932,657.22 -13.78 20,098,187.26
的扣除非经常性损益
5
的净利润
经营活动产生的现金
-72,389,945.01 12,234,952.89 -691.67 -28,315,546.72
流量净额
本期末比上
主要会计数据 2020年末 2019年末 年同期末增 2018年末
减（%）
归属于上市公司股东
798,597,040.69 754,896,927.56 5.79 219,876,928.23
的净资产
总资产 1,224,599,920.37 931,116,076.19 31.52 379,702,816.67
2020 年度，公司主要财务指标如下所示：
本期比上年同期增减
主要财务指标 2020年 2019年 2018年
(%)
基本每股收益（元／股） 0.58 0.46 26.09 0.48
稀释每股收益（元／股） 0.58 0.46 26.09 0.48
扣除非经常性损益后的基本
0.15 0.24 -37.50 0.32
每股收益（元／股）
加权平均净资产收益率（%） 6.31 12.48 减少6.17个百分点 14.80
扣除非经常性损益后的加权
1.66 6.37 减少4.71个百分点 9.76
平均净资产收益率（%）
研发投入占营业收入的比例
13.81 16.45 减少2.64个百分点 16.29
（%）
上述主要会计数据和财务指标的变动原因如下：
1、营业收入同比增长 54.30%，主要系报告期内半导体行业景气度持续向好，
订单较上年同期有大幅增长，收入规模持续增长影响所致。
2、归属于上市公司股东的净利润同比增长 66.79%，主要系报告期内公司销
售收入规模持续增长，公司科创板上市获得了一定的政府奖励及利用闲置募集资
金理财获取投资收益等综合影响所致。
3、归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润同比下降 13.78%，主
要系报告期内公司持续加大研发投入和技术人员储备，支付股权激励等相关费用
导致期间费用较上年同期增长影响所致。
4、经营活动产生的现金流量净额同比下降 691.67%，主要系公司业务规模
扩大，订单较上年同期有大幅增长，材料采购支出增幅较大影响所致。
5、总资产同比增长 31.52%，主要系公司业务规模增长导致存货、应收账款
增加，以及公司新厂房建设导致在建工程增加影响所致。
6、扣除非经常性损益后的基本每股收益同比下降 37.50%，主要系扣除非经
常性损益后公司净利润减少影响所致。
6
综上，公司 2020 年度主要会计数据和财务指标变动具有合理性。
六、核心竞争力的变化情况
公司主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括光刻工序
涂胶显影设备和单片式湿法设备，产品可用于 6 英寸及以下单晶圆处理和及 8/12
英寸单晶圆处理。公司核心竞争力主要体现在：1、优秀的研发技术团队与核心
管理团队；2、丰富的技术储备；3、优质的客户资源；4、较为突出的行业地位；
5、高效的质量管控与服务保障能力；6、完善的供应链。
2020 年度，积极发挥自身在产品研发、采购制造、质量管理、市场销售以
及客户服务等领域的经营优势，不断加大产品技术创新和品牌推广，深入推进精
益化管理与内部风险控制，持续提升公司的品牌形象及核心竞争力，实现了公司
主营业务的稳健发展。
综上，公司的核心竞争力在 2020 年度未发生不利变化。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出变化情况
公司高度重视新技术、新产品和新工艺的研发工作，近年来，公司研发投入
一直处在较高水平。2020 年度，公司研发费用为 4,541.47 万元，较 2019 年度研
发费用增长 29.55%；公司研发费用占营业收入的比例为 13.81%，较 2018 年度
占比减少 2.64 个百分点。
（二）研发进展
公司 2020 年度各项在研项目正常开展，取得了一定的研发成果。2020 年度，
公司新增授权专利 21 项（其中新增发明专利 12 项），新增软件著作权 8 项；公
司先后获得“辽宁省科学技术进步一等奖”、“辽宁省专利二等奖”、“辽宁五
一劳动奖状”等多项殊荣；公司各主要产品线在工艺技术水平上均实现进一步提
升。
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致
不适用。
九、募集资金的使用情况及是否合规
7
2020 年度，芯源微募集资金的使用及结余情况如下：
项目 金额（人民币元）
募集资金净额 505,744,103.78
减：截至 2020 年末公司直接对募集资金项目投入 107,866,768.64
其中：高端晶圆处理设备产业化项目 45,723,696.72
高端晶圆处理设备研发中心项目 62,143,071.92
减：截至 2020 年末公司使用超募资金永久补充流动资金 38,300,000.00
减：截至 2020 年末公司使用超募资金暂时补充流动资金 80,000,000.00
加：截至 2020 年末公司募集资金理财收益 10,813,328.33
加：截至 2020 年末公司募集资金利息收入扣除手续费净额 3,284,635.21
募集资金余额 293,675,298.68
芯源微 2020 年度募集资金存放与使用情况符合《上海证券交易所科创板股
票上市规则》、《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法（2013 年修订）》、
公司《募集资金管理办法》等法律法规和制度文件的规定，对募集资金进行了专
户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，募集资金具体使用情况与
公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情况，不
存在违规使用募集资金的情形。
8
十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、
冻结及减持情况
2020 年度，公司无控股股东、实际控制人，公司董事、监事和高级管理人
员持有公司股份数量未发生变化，截至 2020 年 12 月 31 日，公司董事、监事和
高级管理人员持有公司股份数量情况如下：
姓名 公司职务 持股数量（万股）
宗润福 董事长、总经理 265.00
郑广文 董事 /
胡琨元 董事 /
赵庆党 董事 /
孙华 董事 /
陈兴隆 董事、副总经理、首席技术官 8.00
朱煜 独立董事 /
宋雷 独立董事 /
张宏斌 独立董事 /
梁倩倩 监事会主席 /
史晓欣 监事 /
李辰 职工监事、证券事务专员 /
李风莉 副总经理、财务总监、董事会秘书 140.00
顾永田 副总经理 10.00
王蓉辉 董事（已离任） /
职工监事（已离任）、
苗涛 35.00
控制系统部总监（已离任）
截至 2020 年 12 月 31 日，公司董事、监事和高级管理人员持有的本公司股
份不存在其他质押、冻结或减持的情形。
十一、上海证券交易所或保荐机构认为应当发表意见的其他事项
无。
（以下无正文）
9
（本页无正文，为《国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有
限公司 2020 年度持续督导跟踪报告》之签署页）
保荐代表人：
杜 畅 张 毅
国信证券股份有限公司
年 月 日
10
