国信证券股份有限公司

                关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司

            增加 2021 年度日常关联交易额度的核查意见


    国信证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为沈阳芯源微电子设备股
份有限公司（以下简称“芯源微”、“公司”）首次公开发行股票并上市的保荐机构，
履行持续督导职责，并根据《公司法》、《证券法》、《上海证券交易所科创板
股票上市规则》等规范性法律文件的要求，对芯源微增加 2021 年度日常关联交
易额度事宜进行了核查，核查情况及意见如下：
    一、日常关联交易的基本情况

    （一）日常关联交易履行的审议程序

    芯源微于 2021 年 8 月 26 日召开第一届董事会第二十八次会议、第一届监事
会第十八次会议，审议通过了《关于增加 2021 年度日常关联交易额度的议案》，
本次增加 2021 年度日常关联交易额度 25,000.00 万元。出席本次会议的非关联董
事一致同意该议案，审议程序符合相关法律法规的规定。本次增加日常关联交易
额度事项需要提交股东大会审议。

    公司独立董事对上述议案进行了事前认可并发表了明确同意的独立意见。独
立董事认为：公司与关联方已经发生的关联交易及预计将要发生的关联交易均为
公司正常经营业务所需，属正常商业行为，遵守了自愿、等价、有偿的原则，定
价公平合理，所发生的关联交易符合公司的利益，不存在损害公司和其他股东利
益的情况。本次董事会审议此次关联交易事项的决策程序，符合有关法律法规和
公司章程的规定。

    公司于 2021 年 8 月 26 日召开了第一届董事会审计委员会第十一次会议，审
议通过了《关于增加 2021 年度日常关联交易额度的议案》。

    根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》的相关规定，本次交易对手方
等信息属于商业秘密、商业敏感信息，若按照《上海证券交易所科创板股票上市
规则》披露或者履行相关义务可能引致不当竞争、损害公司及投资者利益或者误
导投资者，因此公司按照相关规定豁免披露该信息。公司已根据公司《信息披露
  暂缓与豁免业务管理制度》，填制《暂缓与豁免披露信息登记审批表》，履行了
  信息豁免披露程序，因此公司对本次关联交易的部分信息进行了豁免披露。

         （二）本次调整后日常关联交易的金额和类别

         公司前次 2021 年年度日常关联交易额度预计为 1,200.00 万元，本次日常关
  联交易预计新增 25,000.00 万元，新增后合计额度为 26,200 万元。具体情况如下：

                                                                                     单位：万元
                                            本年年初至
                                 占同类                                 占同类       本次预计金额与
关联                本次及前                披露日与关      上年实
                                 业务比                                 业务比       上年实际发生金
交易     关联人     次预计金                联人累计已      际发生
                                   例                                     例         额差异较大的原
类别                    额                  发生的交易        金额
                                 （%）                                  （％）             因
                                              金额
向关
联方     相关关联
                     25,000.00     10.87                0           0          0        不适用
销售       方
商品
         沈阳富创
向关
         精密设备                                                                    根据实际采购需
联人                    800.00         2           91.36      128.95        0.29
         股份有限                                                                        求实施
购买
           公司
原材
         上海广川
料及                                                                                 根据实际采购需
         科技有限       400.00         1          208.48      216.41        0.48
劳务                                                                                     求实施
           公司
       合计          26,200.00          /         299.84      345.36             /          /

       注 1：本次预计的新增日常关联交易 25,000.00 万元是对自本次股东大会审议通过之日起至 2021 年年

  度股东大会召开之日止期间将要发生的日常关联交易的预计。


       注 2：经公司自查，公司分别在 2020 年下半年和 2021 年上半年与相关关联方签订销售协议，达到股

  东大会审议标准。前述关联交易仅签订协议，公司尚未实施执行，也未形成收入。考虑到相关决策程序规

  定，公司目前已与交易对方解除相关协议，待关联交易额度获得本次股东大会审议通过后重新签订销售协

  议。


         （三）前次关联交易的预计和执行情况

         公司于 2021 年 3 月 19 日召开第一届董事会第二十三次会议、第一届监事会
  第十三次会议，审议通过了《关于预计公司 2021 年度日常关联交易的议案》，
  预计日常关联交易预计金额合计为 1,200.00 万元人民币。截至披露日，前次预计
  公司 2021 年度关联交易执行情况：
                                                                             单位：万元
 关联交易                           前次预计      前次实际发   预计金额与实际发生金额
                     关联人
   类别                               金额          生金额         差异较大的原因
              沈阳富创精密设备
 向关联人                                800.00        91.36    根据实际采购需求实施
              股份有限公司
 购买原材
              上海广川科技有限
 料及劳务                                400.00       208.48    根据实际采购需求实施
              公司
              合计                    1,200.00        299.84             /

       二、关联人基本情况和关联关系

       （一）关联人的基本情况与上市公司的关联关系

    1、相关关联方

    根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》的规定，公司与本次交易对手
方存在关联关系，上述交易构成关联交易。

    鉴于上述关联交易涉及的内容属于公司商业秘密，按照《上海证券交易所科
创板股票上市规则》的相关规定，公司可以豁免披露关联交易具体信息，若披露
可能会损害公司、公司股东及交易对手的利益。公司根据《信息披露暂缓与豁免
业务管理制度》，填制《暂缓与豁免披露信息登记审批表》，履行了信息豁免披
露程序。因此，公司对本次关联交易的关联人基本情况和关联关系进行了豁免披
露。

    2、沈阳富创精密设备股份有限公司

 企业名称              沈阳富创精密设备股份有限公司

 性质                  其他股份有限公司（非上市）

 法定代表人            郑广文

 注册资本              15,679 万人民币

 成立日期              2008 年 6 月 24 日

 住所                  辽宁省沈阳市浑南区飞云路 18 甲-1 号
                       许可项目：货物进出口，技术进出口，进出口代理（依法须经批准的
                       项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以审批结
                       果为准）一般项目：机械零件、零部件加工，机械零件、零部件销售，
 经营范围              半导体器件专用设备制造，金属表面处理及热处理加工，金属切割及
                       焊接设备制造，金属加工机械制造，增材制造，3D 打印服务，技术
                       服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广（除依
                       法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

 主要股东或实际控      郑广文
 制人

    与上市公司关联关系：

              关联方名称                                与本企业关系

 沈阳富创精密设备股份有限公司            董事郑广文、赵庆党担任董事的公司

    3、上海广川科技有限公司

 企业名称           上海广川科技有限公司

 性质               有限责任公司（外商投资企业与内资合资）

 法定代表人         郑广文

 注册资本           5,000 万人民币
 成立日期           2019 年 4 月 3 日

 住所               上海市宝山区山连路 799 号 1 幢 1-3 层
                    一般项目：半导体机器人、半导体制造设备及其他自动化设备及零部
                    件的研发、销售、维修；从事货物及技术的进出口业务；在机器人、
                    半导体专业技术领域内的技术开发、技术咨询、技术转让、技术服
 经营范围
                    务；从事半导体机器人、半导体制造设备及其他自动化设备、零件的
                    研发和生产。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展
                    经营活动）

 主要股东或实际控   安川通商（上海）实业有限公司 35%；沈阳富创精密设备股份有限
 制人               公司 35%；上海优煦机器人科技合伙企业（有限合伙）30%

    与上市公司关联关系：

              关联方名称                                与本企业关系
 上海广川科技有限公司                    董事郑广文担任董事的公司

    （二）履约能力分析

    上述关联方依法持续经营，过往发生的交易能正常实施并结算，具备良好的
履约能力。公司将就上述交易与相关关联方签署合同或协议并严格按照约定执行，
履约具有法律保障。

    三、日常关联交易主要内容

    （一）关联交易主要内容

    公司的日常关联交易主要为向关联人销售商品及向关联人购买原材料及劳
务，公司向关联人销售的商品包括光刻工序涂胶显影设备和单片式湿法设备，公
司向关联人购买原材料及劳务包括机电一体类、机械类产品等。
    公司与上述关联人之间的交易，遵循客观公正、平等自愿、互惠互利的原则，
关联交易价格主要由交易双方参考市场价格协商确定，并根据市场价格变化对关
联交易价格作出相应调整。

       （二）关联交易协议签署情况

    为维护双方利益，公司与上述关联方将根据业务开展情况签订对应合同或协
议。

       四、日常关联交易目的和对上市公司的影响

    上述关联交易为公司正常生产经营所需发生的交易，均为公司与关联方之间
的经常性、持续性关联交易，是公司与关联方间正常、合法的经济行为，有利于
公司正常经营，符合公司及全体股东利益。公司与关联方的关联交易价格的制定
遵循公平、自愿原则，以市场价格为依据，由双方协商确定交易价格，未损害公
司和中小股东的利益。上述日常关联交易不会对公司生产经营产生重大影响，其
交易行为未对公司主要业务的独立性造成影响，公司不会因此对关联方形成较大
的依赖。

    本次新增日常关联交易是对自本次股东大会审议通过之日起至 2021 年年度
股东大会召开之日止期间内签订合同的预计，由于产品交付周期较长、后续仍需
调试等因素，能否在这期间内确认相关收入存在不确定性。请投资者注意投资风
险。

       五、保荐机构核查意见

    经核查，本保荐机构认为：公司本次增加 2021 年度日常关联交易额度的事
项已经公司董事会、监事会审议通过，独立董事对关联交易事项发表了事前认可
意见和同意的独立意见，本次事项还将进一步提交股东大会审议。公司基于商业
秘密保密原则，对与相关关联方之间的关联交易行为及时履行了内部信息豁免披
露程序，且目前已对上述事项履行了决策程序。在后续关联交易具体执行中，保
荐机构将采取必要的核查手段，核查本次拟增加日常关联交易事项的公允性。
    （以下无正文）
    （本页无正文，为《国信证券股份有限公司关于沈阳芯源微电子设备股份有
限公司增加 2021 年度日常关联交易额度的核查意见》之签章页）




    保荐代表人：
                       杜   畅            张   毅




                                                    国信证券股份有限公司
                                                          年    月    日