中国国际金融股份有限公司
              关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
                   调整核心技术人员的核查意见

    中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）持续督导
的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板
股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》
等相关法律、法规和规范性文件的规定，对芯源微核心技术人员调整的事项进行
了审慎核查，具体核查情况与意见如下：

一、核心技术人员调整的具体情况

   （一）公司核心技术人员认定标准

    公司对核心技术人员的具体认定标准为：

    1、具备与公司主营业务发展相匹配的深厚资历背景，在产品软硬件开发及
技术迭代方面拥有多年研发经历；

    2、在公司研发技术及相关岗位担任重要职务；

    3、对公司核心技术和重要知识产权的形成、研发技术体系的建立以及重要
技术标准的制定等具有关键作用和突出贡献。

    对符合上述条件的，可认定为公司核心技术人员。

   （二）新增核心技术人员情况

    1、赵乃霞女士，1968 年 11 月出生，中国国籍，无境外永久居留权，大学
本科学历，微特电机及控制电器专业，高级工程师。1991 年 7 月至 1998 年 9 月
沈阳市手表厂，工程师；1998 年 9 月至 2003 年 2 月，沈阳东宇工业技术研究院，
研发工程师；2003 年 3 月至 2004 年 2 月，沈阳天雄信息技术有限公司，研发工
程师；2004 年 2 月至 2005 年 11 月，沈阳时尚实业有限公司，研发工程师；2005
年 11 月至今，历任公司高级工程师，控制系统部部长。

    截至本核查意见出具日，赵乃霞女士未持有公司股份，与持有公司 5%以上
股份的股东以及董事、监事、高级管理人员之间不存在关联关系，不属于失信被
执行人，亦不存在受过中国证监会及其他有关部门处罚和证券交易所惩戒的情
况。

    2、张军先生，1973 年 4 月出生，中国国籍，无境外永久居留权，硕士研究
生学历，工业自动化专业，高级工程师。1998 年 8 月至 1999 年 4 月沈阳电力高
等专科学校教师；1999 年 4 月至 2005 年 6 月，沈阳东宇工业技术研究院研发工
程师、项目经理；2005 年 8 月至今，历任公司电气组组长、科长、控制系统部
部长助理、副部长。

    截至本核查意见出具日，张军先生未持有公司股份，与持有公司 5%以上股
份的股东以及董事、监事、高级管理人员之间不存在关联关系，不属于失信被执
行人，亦不存在受过中国证监会及其他有关部门处罚和证券交易所惩戒的情况。

   （三）核心技术人员调整情况

    公司不再认定郑右非女士、苗涛先生为公司核心技术人员，其仍在公司任职。
郑右非女士、苗涛先生将继续遵守公司首发上市前所做的相应承诺。

二、核心技术人员调整对公司的影响

    公司通过长期技术积累和发展，已建立了完备的研发体系，公司重视技术人
才队伍的建设，投入大量成本，培养及储备了一批包括设计制造、工艺制程、软
件开发与应用等多学科的专业人才和具有丰富的半导体设备行业经验的高端人
才的技术团队，具备保持技术先进性、持续创新的人才基础。

    截至本核查意见出具日，公司核心技术人员数量为 7 人，人员整体稳定，具
体人员如下：

    时间                               核心技术人员姓名

本次调整前     宗润福、陈兴隆、苗涛、王绍勇、张怀东、郑右非、程虎

本次调整后     宗润福、陈兴隆、王绍勇、张怀东、程虎、赵乃霞、张军

    目前公司核心技术人员及研发团队的构成有利于公司未来核心技术的持续
研发，本次核心技术人员调整将加强公司在前道技术领域的研发能力，不存在对
公司业务发展、技术研发、产品创新与持续经营能力等产生重大不利影响的情况，
公司不存在未披露的重大风险。
三、保荐机构核查意见

   经核查，保荐机构认为，公司研发团队结构完整，后备人员充足，研发团队
及核心技术人员总体稳定。目前公司日常经营活动均正常开展，本次核心技术人
员的调整未对公司的日常经营、核心竞争力与持续经营能力产生重大不利影响。