中国国际金融股份有限公司
            关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司
         向特定对象发行限售股上市流通的核查意见


    根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市
规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》等有关
法律、法规的规定，中国国际金融股份有限公司（以下简称“保荐机构”）作为
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”“公司”）的持续督导
机构，对公司向特定对象发行限售股上市流通的事项进行了审慎核查，具体核查
情况及核查意见如下：

    一、本次上市流通的限售股类型

    根据中国证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）于 2022 年 3 月
11 日出具的《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向特定对象发行股票
注册的批复》（证监许可[2022]498 号），同意公司向特定对象发行 A 股股票的
注册申请，本次发行新增 8,045,699 股股份已于 2022 年 6 月 22 日在中国证券登
记结算有限责任公司上海分公司办理完毕股份登记手续。

    本次上市流通的限售股为公司向特定对象发行股票，限售期为自公司股票发
行结束之日（指本次发行完成股份登记之日）起 6 个月，股东数量为 11 名。本
次申请上市流通的限售股共计 8,045,699 股，占公司总股本的 8.6869%。现限售
期即将届满，将于 2022 年 12 月 23 日起上市流通。

    二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况

    2022 年 11 月 2 日，公司完成了 2020 年限制性股票激励计划首次授予部分
第二个归属期的股份登记工作，涉及归属登记的股票数量为 154,500 股。该部分
股票为无限售流通股，于 2022 年 11 月 8 日上市流通，公司总股本由 92,463,899
股变更为 92,618,399 股，本次上市流通的限售股占公司总股本的比例由 8.7014%
变更为 8.6869%。

    除上述情况外，本次上市流通的限售股形成后至本意见出具之日，公司未发
生因利润分配、公积金转增导致股本数量变化的情况。
      三、本次上市流通的限售股的有关承诺

      本次上市流通的限售股属于向特定对象发行股票，认购对象承诺所获得的股
票限售期限为自发行结束之日起 6 个月。

      除上述承诺外，本次申请上市的限售股股东无其他特别承诺。

      截至本意见出具之日，上述股东均严格履行了所作出的股份锁定承诺，无其
他特别承诺，不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。

      四、本次上市流通的限售股情况

      （一）本次上市流通的限售股总数为 8,045,699 股

      （二）本次上市流通日期为 2022 年 12 月 23 日

      （三）限售股上市流通明细清单

                                                                           单位：股
                                                                           剩余限
                                持有限售股    持有限售股占公   本次上市
序号          股东名称                                                     售股数
                                  数量          司总股本比例   流通数量
                                                                             量
        易方达基金管理有限
  1                               2,437,854          2.6321%   2,437,854            -
        公司
        中信证券青岛城投金
  2     控 2 号单一资产管理计     1,609,139          1.7374%   1,609,139            -
        划
        国泰君安证券股份有
  3                                716,067           0.7731%     716,067            -
        限公司
        财通基金管理有限公
  4                                434,467           0.4691%     434,467            -
        司
        华泰优逸五号混合型
  5     养老金产品-中国银行        418,376           0.4517%     418,376            -
        股份有限公司
        上海虢实投资合伙企
  6                                418,376           0.4517%     418,376            -
        业（有限合伙）
        银河资本-鑫鑫一号集
  7                                402,284           0.4343%     402,284            -
        合资产管理计划
        JPMorganChaseBank,N
  8                                402,284           0.4343%     402,284            -
        ationalAssociation
        华泰资管-兴业银行-华
  9     泰资产价值精选资产         402,284           0.4343%     402,284            -
        管理产品
        华泰优选三号股票型
 10     养老金产品-中国工商        402,284           0.4343%     402,284            -
        银行股份有限公司
                                                                                   剩余限
                                 持有限售股    持有限售股占公      本次上市
序号          股东名称                                                             售股数
                                   数量          司总股本比例      流通数量
                                                                                     量
  11     周雪钦                     402,284           0.4343%        402,284                -
             合计                  8,045,699          8.6869%      8,045,699                -

注：上表中出现持股比例合计数与各分项数之和尾数不符情况，为四舍五入形成的尾差。

       （四）限售股上市流通情况表

  序号              限售股类型         本次上市流通数量（股）         限售期（月）
   1        向特定对象发行限售股                       8,045,699               6
                  合计                                 8,045,699               /

       五、保荐机构核查意见

       经核查，保荐机构认为：本次申请上市流通的限售股份的数量、上市流通时
间均符合《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《证券发行上市
保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》和《科创板上市公
司持续监管办法（试行）》等有关法律法规、规范性文件的规定以及股东承诺内
容；截至本意见出具之日，相关股东关于股份锁定的承诺得到严格履行，相关信
息披露真实、准确、完整。综上，保荐机构对公司本次限售股份上市流通事项无
异议。
（以下无正文）