中国国际金融股份有限公司

               关于沈阳芯源微电子设备股份有限公司

            变更部分募投项目实施地点的专项核查意见

    中国国际金融股份有限公司（以下简称“中金公司”或“保荐机构”）作为
沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“芯源微”或“公司”）持续督导
的保荐机构，根据《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上
市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》《上海证券交易所科创板上市公司
自律监管指引第 1 号——规范运作》《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募
集资金管理和使用的监管要求》等相关法律、法规和规范性文件的规定，对芯源
微拟变更 2021 年度向特定对象发行 A 股股票部分募投项目实施地点的事项进行
了审慎核查，核查情况与意见如下：

     一、募集资金基本情况

    经中国证券监督管理委员会《关于同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司向
特定对象发行股票注册的批复》（证监许可[2022]498 号）同意注册，芯源微于 2022
年 6 月向特定对象发行人民币普通股股票 8,045,699.00 股，每股面值 1 元，发行价
格为人民币 124.29 元/股，募集资金总额为人民币 999,999,928.71 元，扣除不含税
的发行费用人民币 9,915,093.67 元，实际募集资金净额为人民币 990,084,835.04 元。
前述募集资金到位情况经容诚会计师事务所（特殊普通合伙）（以下简称“容诚
会计师”）验证，并出具了《验资报告》（容诚验字[2022]110Z0008 号）。

     公司依照规定对募集资金采取了专户存储管理，开立了募集资金专户，并
与保荐机构、募集资金专户监管银行签署了募集资金专户存储相关的监管协议。
具 体 情 况 详 见 公 司 于 2022 年 6 月 17 日 披 露 于 上 海 证 券 交 易 所 网 站
（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于签署募集资金专
户存储三方监管协议的公告》，及于 2022 年 7 月 28 日披露于上海证券交易所网
站（www.sse.com.cn）的《沈阳芯源微电子设备股份有限公司关于签署募集资金
专户存储四方监管协议的公告》。

     二、募集资金投资项目的情况
       根据《沈阳芯源微电子设备股份有限公司 2021 年度向特定对象发行 A 股股
票募集说明书》披露，公司 2021 年度向特定对象发行股票募集资金投资项目如
下：
                                                                      单位：人民币万元
序号            项目名称              投资总额      募集资金投资额       实施主体
                                                                      上海芯源微企业发
 1      上海临港研发及产业化项目       64,000.00          47,000.00
                                                                        展有限公司
        高端晶圆处理设备产业化项
 2                                     28,939.27          23,000.00       芯源微
        目（二期）
 3      补充流动资金                   30,000.00          30,000.00       芯源微
               合计                   122,939.27         100,000.00          -

       三、本次变更募投项目实施地点的情况
       公司本次变更实施地点的募投项目为“高端晶圆处理设备产业化项目（二
期）”，实施地点变更情况如下：
序号         项目名称              变更前实施地点              变更后实施地点
        高端晶圆处理设备产   辽宁省沈阳市浑南区彩云     北至规划路，南至创新路，西至
 1
        业化项目（二期）     路1号                      沈本大街，东至沈本一街地块

       四、本次变更部分募投项目实施地点的原因
       根据公司整体规划和实际经营发展需要，为便于募投项目实施和统一管理，
公司对本次募投项目“高端晶圆处理设备产业化项目（二期）”实施地点进行了
变更。上述变更未改变募集资金的投资方向和项目建设内容，不会对募投项目产
生实质性的影响。

       五、本次变更募投项目实施地点对公司的影响

       公司本次部分募集资金投资项目变更实施地点是公司根据项目实施的实际
情况做出的审慎决定，未涉及募集资金用途、募投项目建设内容和实施方式的变
更，符合公司长远发展的需要，不会对公司的正常经营产生重大不利影响。相关
决策程序符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板
上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》和《上市公司监管指引第 2 号——
上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等相关规定。

       由于项目实施地点发生变更，公司尚需根据相关法规要求履行项目建设、环
保等方面的审批或备案手续。公司将积极争取尽早完成与变更项目相关的审批或
备案手续。

    六、本次变更募投项目实施地点的审批程序

    本次变更部分募投项目实施地点事项已经公司于 2023 年 4 月 17 日召开的第
二届董事会第十次会议审议通过，无需提交股东大会审议。

   （一）独立董事意见

    公司本次变更部分募投项目实施地点，是公司根据经营实际需要作出的合理
决策，有利于募投项目的实施和推进。本次变更部分募投项目实施地点，未违反
公司有关募集资金投资项目的承诺，以及中国证监会、上海证券交易所和公司关
于募集资金使用的有关规定，符合公司的发展战略。综上，公司独立董事同意公
司本次变更部分募投项目实施地点。

   （二）监事会意见

    公司本次变更部分募投项目实施地点，是公司根据经营实际需要作出的合理
决策，有利于募投项目的实施和推进。本次变更部分募投项目实施地点，未违反
公司有关募集资金投资项目的承诺，以及中国证监会、上海证券交易所和公司关
于募集资金使用的有关规定，符合公司的发展战略。综上，公司监事会同意公司
本次变更部分募投项目实施地点。

    七、保荐机构的核查意见

    经核查，保荐机构认为：公司本次变更部分募投项目实施地点的事项已履行
了必要的审批程序，符合《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交
易所上市公司自律监管指引第 11 号——持续督导》《上市公司监管指引第 2 号—
—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》等法规和规范性文件以及《公司章
程》的规定。本次变更部分募投项目实施地点未改变募集资金的投资方向和项目
建设内容，不会对募投项目产生实质性的影响，不存在变相改变募集资金用途的
情形，不存在损害股东利益的情形。综上，保荐机构同意芯源微本次变更部分募
集资金投资项目实施地点事项。