沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
关于公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第二个
归属期、2021 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归
属期、2021 年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属
                        期归属名单的核查意见


    沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以下简称“公司”）监事会依据《中华
人民共和国公司法》（以下简称“《公司法》”）、《中华人民共和国证券法》（以下
简称“《证券法》”）、《上市公司股权激励管理办法》（以下简称“《管理办法》”）、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》 以下简称“《上市规则》”）等相关法律、
法规及规范性文件和《沈阳芯源微电子设备股份有限公司章程》（以下简称“《公
司章程》”）的有关规定，对公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第二
个归属期、2021 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期、2021 年限
制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属名单进行审核，发表核查意见
如下：
    一、关于公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期归属
名单
    公司 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期 9 名激励对象、
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符
合 2020 年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司 2020 年限制性
股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属
条件已成就。监事会同意本次符合条件的 9 名激励对象办理归属，对应限制性股
票的归属数量为 6.75 万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定
的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
    二、关于公司 2021 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期归属
名单
    公司 2021 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期 36 名激励对象
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符
合 2021 年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司 2021 年限制性
股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属
条件已成就。监事会同意本次符合条件的 36 名激励对象办理归属，对应限制性
股票的归属数量为 19.5 万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规
定的条件，不存在损害公司及股东利益的情形。
    三、关于公司 2021 年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期归属
名单
    公司 2021 年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期 42 名激励对象
符合《公司法》《证券法》等法律、法规和规范性文件规定的激励对象条件，符
合 2021 年限制性股票激励计划规定的激励对象范围，其作为公司 2021 年限制性
股票激励计划激励对象的主体资格合法、有效，激励对象获授限制性股票的归属
条件已成就。监事会同意本次符合条件的 42 名激励对象办理归属，对应限制性
股票的归属数量为 8 万股，上述事项符合相关法律、法规及规范性文件所规定的
条件，不存在损害公司及股东利益的情形。


                                  沈阳芯源微电子设备股份有限公司监事会
                                                2023 年 4 月 28 日