沈阳芯源微电子设备股份有限公司独立董事
      关于第二届董事会第十二次会议相关议案的
                               独立意见

    根据《中华人民共和国公司法》《中华人民共和国证券法》《上市公司独立
董事规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《沈阳芯源微电子设备股份
有限公司公司章程》等相关规定，我们作为沈阳芯源微电子设备股份有限公司（以
下简称“公司”）的独立董事，对公司第二届董事会第十二次会议审议的相关议
案发表如下独立意见：
    一、《关于作废部分已授予尚未归属的限制性股票的议案》
    本次部分限制性股票的作废处理符合《上海证券交易所科创板股票上市规
则》《上市公司股权激励管理办法》以及公司《2021 年限制性股票激励计划（草
案）》中的相关规定，履行了必要的程序。
    我们同意公司作废处理部分 2021 年限制性股票。
    二、《关于 2020 年限制性股票激励计划预留授予部分第二个归属期符合归
属条件的议案》
    根据公司 2020 年限制性股票激励计划的相关规定，预留授予部分激励对象
第二个归属期的归属条件已经成就，本次符合归属条件的 9 名激励对象的归属资
格合法有效，可归属的限制性股票数量为 6.75 万股，归属期限为 2023 年 4 月 10
日至 2024 年 4 月 9 日。本次归属安排和审议程序符合《上市公司股权激励管理
办法》和公司《2020 年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，不存在侵
犯公司及全体股东利益的情况。
    因此我们一致同意公司在归属期内实施限制性股票的归属登记。
    三、《关于 2021 年限制性股票激励计划首次授予部分第二个归属期符合归
属条件的议案》
    根据公司 2021 年限制性股票激励计划的相关规定，首次授予部分激励对象
第二个归属期的归属条件已经成就，本次符合归属条件的 36 名激励对象的归属
资格合法有效，可归属的限制性股票数量为 19.5 万股，归属期限为 2023 年 4 月
27 日至 2024 年 4 月 26 日。本次归属安排和审议程序符合《上市公司股权激励
管理办法》和公司《2021 年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，不存
在侵犯公司及全体股东利益的情况。
    因此我们一致同意公司在归属期内实施限制性股票的归属登记。
    四、《关于 2021 年限制性股票激励计划预留授予部分第一个归属期符合归
属条件的议案》
    根据公司 2021 年限制性股票激励计划的相关规定，预留授予部分激励对象
第一个归属期的归属条件已经成就，本次符合归属条件的 42 名激励对象的归属
资格合法有效，可归属的限制性股票数量为 8 万股，归属期限为 2023 年 1 月 7
日至 2024 年 1 月 6 日。本次归属安排和审议程序符合《上市公司股权激励管理
办法》和公司《2021 年限制性股票激励计划（草案）》的相关规定，不存在侵
犯公司及全体股东利益的情况。
    因此我们一致同意公司在归属期内实施限制性股票的归属登记。
    （以下无正文）