海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
              募集资金投资项目金额调整的核査意见

    海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥芯碁
微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发行股票并
在科创板上市及持续督导的保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》、
《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上
海证券交易所上市公司募集资金管理办法》及《上海证券交易所上市公司持续督
导工作指引》等有关规定，对芯碁微装募集资金投资项目金额调整事项进行了核
查，具体情况如下：


一、   募集资金基本情况

    公司首次公开发行股票并在科创板上市的注册申请于2021年2月1日经中国
证券监督管理委员会（以下简称“中国证监会”）同意注册（证监许可〔2021〕3
50号《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批
复》）。公司向社会公众公开发行人民币普通股（A股）股票3,020.2448万股，
每股面值1元，发行价格为每股人民币15.23元，本次发行募集资金总额459,983,
283.04元；扣除发行费用后，募集资金净额为416,358,195.95元。

    容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对公司本次公开发行新股的资金到位
情况进行了审验，并于2021年3月30日出具了容诚验字［2021］230Z0034号《
验资报告》，审验结果如下：截至2021年3月29日止，芯碁微装采用向战略投资
者定向配售、网下向符合条件的投资者询价配售和网上向持有上海市场非限售
A股股份和非限售存托凭证市值的社会公众投资者定价发行相结合的方式，公
开发行人民币普通股股票3,020.2448万股，每股发行价格为人民币15.23元，募
集资金总额人民币459,983,283.04元，扣除发行费用（包括保荐费、承销费、审
计及验资费、律师费、信息披露费、发行手续费等）合计人民币43,625,087.09
元（不含增值税）后，实际募集资金净额为人民币416,358,195.95元，其中增加
注册资本、实收资本（股本）人民币30,202,448.00元，增加资本公积人民币386,
155,747.95元。社会公众股东均以货币出资。

二、   募集资金投资项目金额的调整情况

    由于本次公开发行实际募集资金净额416,358,195.95元，少于拟投入的募集


                                    1
资金金额47,341.00万元，为保障募集资金投资项目的顺利实施，提高募集资金
的使用效率，结合公司实际情况，公司拟对各募投项目使用募集资金金额进行
调整。

     根据公司第一届董事会第十次会议和第一届监事会第六次会议审议通过的
《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额的议案》，同意对原募
集资金投资项目的投资金额进行调整，调整后募集资金投资金额分配如下：

                                                                单位：人民币万元
序                                  项目投     调整前拟投入募    调整后拟投入募
              项目名称
号                                  资总额       集资金金额        集资金金额
     高端PCB激光直接成像（LDI）     20,770.0
1                                                 20,770.00         20,770.00
           设备升级迭代项目            0
     晶圆级封装（WLP）直写光刻设
2                                   9,380.00      9,380.00          5,880.00
             备产业化项目
     平板显示（FPD）光刻设备研发    10,836.0
3                                                 10,836.00         8,630.82
                 项目                  0
4    微纳制造技术研发中心建设项目   6,355.00      6,355.00          6,355.00
                                    47,341.0
              合计                                47,341.00         41,635.82
                                       0

     公司对募投项目募集资金投资金额分配调整后，实际募集资金净额不能满
足以上募集资金投资项目的资金需求，则不足部分公司将用自筹资金补足。

     本次对募投项目募集资金投资金额调整系公司基于实际经营需要，针对实
际募集资金净额小于计划募集资金净额的情况，不存在变相改变募集资金用途
和损害股东利益的情况，本次调整有利于保障募投项目顺利实施，提高资金使
用效率,不会对募集资金的正常使用造成实质性影响，符合中国证券监督管理委
员会、上海证券交易所关于上市公司募集资金管理的有关规定。

三、履行审议程序及专项意见

     2021年4月6日，公司召开第一届董事会第十次会议和第一届监事会第六次
会议，分别审议通过了《关于调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金额
的议案》，公司独立董事亦发表了明确的同意意见。

     （一）董事会意见

     公司本次实际募集资金净额为416,358,195.95元，少于拟投入的募集资金金
额47,341.00万元，根据实际募集资金净额，结合各募集资金投资项目的情况，
董事会同意对募投项目募集资金具体投资金额进行相应调整。




                                       2
    （二）监事会意见

    监事会认为：公司本次对募投项目金额的调整，其客观原因在于实际募集
资金净额少于拟投入的募集资金金额，为保障募投项目顺利实施而做出调整。
符合《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》
《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》
以及公司募集资金管理制度等有关规定。本次调整有利于提高募集资金使用效
率，不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形。监事会同意对募投
项目募集资金具体投资金额进行相应调整。

    （三）独立董事意见

    独立董事认为：公司本次实际募集资金净额为 416,358,195.95 元，少于拟投
入的募集资金金额 47,341.00 万元，根据实际募集资金净额，公司董事会决定调
整首次公开发行股票募集资金投资项目的募集资金投入金额，该调整事项履行了
必要的程序。符合《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用
的监管要求》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管规则适用指引第 1 号—
—规范运作》以及公司募集资金管理制度等有关规定，不存在变相改变募集资金
用途和损害投资者利益的情形。因此同意调整公司募投项目金额。

四、保荐机构核查意见

    公司本次募集资金投资项目金额调整事项已经第一届董事会第十次会议和
第一届监事会第六次会议审议通过，独立董事发表了明确同意的独立意见，该
事项符合有关法律、法规和《公司章程》等规范性文件的规定，且履行了必要
的审批程序。公司本次募投项目金额调整事项不存在变相改变募集资金使用用
途的情形，不影响募集资金投资计划的正常进行，不存在损害公司和股东利益
的情形。

    综上，海通证券对芯碁微装调整部分募集资金投资项目拟投入募集资金金
额事项无异议。

    （以下无正文）




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（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公
司募集资金投资项目金额调整的核査意见》之签字盖章页）




        保荐代表人签名：_________________      _________________
                               于军杰                  林剑辉




                                                 海通证券股份有限公司

                                                       年       月   日




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