海通证券股份有限公司 关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司 首次公开发行网下配售限售股上市流通的核查意见 根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规 则》等法律法规的规定,海通证券股份有限公司(以下简称“海通证券”或“保荐机构”) 作为合肥芯碁微电子装备股份有限公司(以下简称“芯碁微装”或“公司”)持续督 导工作的保荐机构,对公司首次公开发行网下配售限售股上市流通事项进行了核 查。具体情况如下: 一、本次限售股上市类型 根据中国证券监督管理委员会(以下简称“中国证监会”)于2021年2月1日出 具的《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》 (证监许可〔2021〕350号),公司首次向社会公众公开发行人民币普通股(A股) 股票3,020.2448万股,并于2021年4月1日在上海证券交易所科创板上市。公司首次 公开发行后总股本为12,080.00万股,其中限售流通股为9,624.4929万股,无限售流通 股为2,455.5071万股。 本次上市流通的限售股为公司首次公开发行网下配售限售股,限售股股东数 量为330名,均为公司首次公开发行股票时参与网下向符合条件的投资者询价配售 并中签的配售对象,配售期为自公司股票上市之日起六个月,具体情况详见公司 2021年3月29日在上海证券交易所网站披露的《合肥芯碁微电子装备股份有限公司 首次公开发行股票并在科创板上市发行结果公告》。 本次解除限售并申请上市流通的股份数量为1,117,011股,占公司总股本的 0.92%,该部分限售股将于2021年10月8日起上市流通。 二、本次上市流通的限售股形成后至今公司股本数量变化情况 公司首次公开发行后总股本为12,080.00万股。公司上市后,未发生因利润分配、公 积金转增股本等导致股本数量变化的情况。 三、本次上市流通的限售股的有关承诺 本次上市流通的限售股均为公司首次公开发行时网下配售限售股,各配售对 象承诺其所获配的股票限售期为自公司首次公开发行股票并在上海证券交易所科 创板上市之日起六个月。 除上述承诺外,本次申请上市流通的网下配售限售股股东无其他特别承诺。 截止公告披露之日,本次申请解除股份限售的股东均严格履行了上述承诺, 不存在相关承诺未履行影响本次限售股上市流通的情况。 四、本次上市流通的限售股情况 (一)本次上市流通的限售股总数为1,117,011股,限售期为6个月; (二)本次上市流通日期为2021年10月8日; (三)限售股上市流通明细清单: 单位:股 持有限售股 持有限售 本次上市 剩余限售 序号 股东名称 占公司总 股数量 流通数量 股数量 股本比例 华泰柏瑞基金管理有限公司-华泰柏瑞上 1 证科创板50成份交易型开放式指数证券 3,397 0.0028% 3,397 0 投资基金 泰达宏利基金管理有限公司-泰达宏利泰 2 和稳健养老目标一年持有期混合型基金 3,397 0.0028% 3,397 0 中基金(FOF) 泰达宏利基金管理有限公司-泰达宏利创 3 3,397 0.0028% 3,397 0 盈灵活配置混合型证券投资基金 泰达宏利基金管理有限公司-泰达宏利首 4 3,397 0.0028% 3,397 0 选企业股票型证券投资基金 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富沪 5 3,397 0.0028% 3,397 0 深300基本面增强指数型证券投资基金 鑫元基金管理有限公司-鑫元行业轮动灵 6 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型发起式证券投资基金 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富稳 7 3,397 0.0028% 3,397 0 健收益混合型证券投资基金 汇添富基金管理股份有限公司-社保基金 8 3,397 0.0028% 3,397 0 17021组合 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富3 9 年封闭运作研究优选灵活配置混合型证 3,397 0.0028% 3,397 0 券投资基金 10 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富3 3,397 0.0028% 3,397 0 年封闭运作战略配售灵活配置混合型证 券投资基金(LOF) 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富沪 11 3,397 0.0028% 3,397 0 深300指数型发起式证券投资基金(LOF) 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富盈 12 3,397 0.0028% 3,397 0 泰灵活配置混合型证券投资基金 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富达 13 3,397 0.0028% 3,397 0 欣灵活配置混合型证券投资基金 汇添富基金管理股份有限公司-全国社保 14 3,397 0.0028% 3,397 0 基金一一七组合 汇添富基金管理股份有限公司-汇添富蓝 15 3,397 0.0028% 3,397 0 筹稳健灵活配置混合型证券投资基金 泓德基金管理有限公司-泓德睿泽混合型 16 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 泓德基金管理有限公司-泓德泓信灵活配 17 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 大成基金管理有限公司-大成成长进取混 18 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 大成基金管理有限公司-大成睿享混合型 19 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 大成基金管理有限公司-大成景尚灵活配 20 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 大成基金管理有限公司-大成内需增长混 21 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 大成基金管理有限公司-大成积极成长混 22 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 浙江省肆号职业年金计划新华组合-新华 23 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 浙江省捌号职业年金计划-太平养老保险 24 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 广西壮族自治区伍号职业年金计划-太平 25 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 广东省拾壹号职业年金计划-太平养老保 26 3,397 0.0028% 3,397 0 险股份有限公司 中国航空发动机集团有限公司企业年金 27 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-太平养老保险股份有限公司 辽宁省肆号职业年金计划-太平养老保险 28 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 山东省(贰号)职业年金计划-太平养老保 29 3,397 0.0028% 3,397 0 险股份有限公司 中国石油化工集团公司企业年金计划-太 30 3,397 0.0028% 3,397 0 平养老保险股份有限公司 中国铁路乌鲁木齐局集团有限公司企业 31 3,397 0.0028% 3,397 0 年金计划-太平养老保险股份有限公司 中国铁路成都局集团有限公司企业年金 32 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-太平养老保险股份有限公司 河北港口集团有限公司企业年金计划-太 33 3,397 0.0028% 3,397 0 平养老保险股份有限公司 交银施罗德基金管理有限公司-交银施罗 34 3,397 0.0028% 3,397 0 德养老目标日期2035三年持有期混合型 基金中基金(FOF) 交银施罗德基金管理有限公司-交银施罗 35 3,397 0.0028% 3,397 0 德持续成长主题混合型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧睿见混合型 36 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 交银施罗德基金管理有限公司-交银施罗 37 德优选回报灵活配置混合型证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 交银施罗德基金管理有限公司-交银施罗 38 3,397 0.0028% 3,397 0 德消费新驱动股票型证券投资基金 交银施罗德基金管理有限公司-交银施罗 39 3,397 0.0028% 3,397 0 德稳健配置混合型证券投资基金 万家基金管理有限公司-万家自主创新混 40 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 万家基金管理有限公司-万家成长优选灵 41 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 万家基金管理有限公司-万家新兴蓝筹灵 42 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发诚享混合型 43 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发瑞安精选股 44 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发聚荣一年持 45 3,397 0.0028% 3,397 0 有期混合型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧嘉和三年持 46 3,397 0.0028% 3,397 0 有期混合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发科技先锋混 47 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-社保基金四二零 48 3,397 0.0028% 3,397 0 组合 广发基金管理有限公司-广发中证基建工 49 3,397 0.0028% 3,397 0 程指数型发起式证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发医疗保健股 50 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发鑫益灵活配 51 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发鑫裕灵活配 52 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发中证全指可 53 3,397 0.0028% 3,397 0 选消费交易型开放式指数证券投资基金 广发基金管理有限公司-广发主题领先灵 54 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 广发基金管理有限公司-全国社保基金四 55 3,397 0.0028% 3,397 0 一四组合 广发基金管理有限公司-广发策略优选混 56 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 浙江省肆号职业年金计划-海富通基金管 57 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 58 中国铁路上海局集团有限公司企业年金 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-海富通基金管理有限公司 海富通基金管理有限公司-海富通先进制 59 3,397 0.0028% 3,397 0 造股票型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧远见两年定 60 3,397 0.0028% 3,397 0 期开放混合型证券投资基金 山西省捌号职业年金计划-海富通基金管 61 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 湖北省(拾壹号)职业年金计划-海富通基 62 3,397 0.0028% 3,397 0 金管理有限公司 江苏省叁号职业年金计划-海富通基金管 63 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 海富通基金管理有限公司-海富通改革驱 64 3,397 0.0028% 3,397 0 动灵活配置混合型证券投资基金 长江金色晚晴(集合型)企业年金计划-海 65 3,397 0.0028% 3,397 0 富通基金管理有限公司 国网湖南省电力有限公司企业年金计划- 66 3,397 0.0028% 3,397 0 海富通基金管理有限公司 银河基金管理有限公司-银河产业动力混 67 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 银河基金管理有限公司-银河君润灵活配 68 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧康裕混合型 69 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 中欧康裕混合型证券投资基金-银河鑫利 70 3,397 0.0028% 3,397 0 灵活配置混合型证券投资基金 银河基金管理有限公司-银河竞争优势成 71 3,397 0.0028% 3,397 0 长混合型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧永裕混合型 72 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 浦银安盛基金管理有限公司-浦银安盛颐 73 和稳健养老目标一年持有期混合型基金 3,397 0.0028% 3,397 0 中基金(FOF) 浦银安盛基金管理有限公司-浦银安盛价 74 3,397 0.0028% 3,397 0 值成长混合型证券投资基金 中欧基金管理有限公司-中欧沪深300指 75 3,397 0.0028% 3,397 0 数增强型证券投资基金(LOF) 招商基金管理有限公司-招商科技创新混 76 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 招商基金管理有限公司-招商兴和优选1 77 3,397 0.0028% 3,397 0 年持有期混合型证券投资基金 招商康富股票型养老金产品-招商基金管 78 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 招商基金管理有限公司-招商中证煤炭等 79 3,397 0.0028% 3,397 0 权指数分级证券投资基金 招商基金管理有限公司-招商行业领先混 80 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 中国航空集团有限公司企业年金计划-招 81 3,397 0.0028% 3,397 0 商基金管理有限公司 82 国海富兰克林基金管理有限公司-富兰克 3,397 0.0028% 3,397 0 林国海价值成长一年持有期混合型证券 投资基金 陕西省(肆号)职业年金计划-招商基金管 83 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 上海市陆号职业年金计划-招商基金管理 84 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 河南省贰号职业年金计划-招商基金管理 85 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 云南省贰号职业年金计划-招商基金管理 86 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 浙江省捌号职业年金计划招商组合-招商 87 3,397 0.0028% 3,397 0 基金管理有限公司 中国联合网络通信集团有限公司企业年 88 3,397 0.0028% 3,397 0 金计划-招商基金管理有限公司 招商基金管理有限公司-基本养老保险基 89 3,397 0.0028% 3,397 0 金一零零五组合 招商基金管理有限公司-招商丰泽灵活配 90 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 招商基金管理有限公司-招商丰凯灵活配 91 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 国海富兰克林基金管理有限公司-富兰克 92 林国海焦点驱动灵活配置混合型证券投 3,397 0.0028% 3,397 0 资基金 鹏扬基金管理有限公司-鹏扬核心价值灵 93 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 鹏扬基金管理有限公司-鹏扬景沣六个月 94 3,397 0.0028% 3,397 0 持有期混合型证券投资基金 中海基金管理有限公司-中海量化策略混 95 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 中金基金管理有限公司-中金MSCI中国A 96 3,397 0.0028% 3,397 0 股国际质量指数发起式证券投资基金 德邦基金管理有限公司-德邦惠利混合型 97 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 中泰证券(上海)资产管理有限公司-中泰 98 3,397 0.0028% 3,397 0 沪深300指数增强型证券投资基金 诺安基金管理有限公司-诺安精选回报灵 99 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 诺安基金管理有限公司-诺安沪深300指 100 3,397 0.0028% 3,397 0 数增强型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安中证电子50 101 3,397 0.0028% 3,397 0 交易型开放式指数证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安优质生活混 102 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安幸福生活混 103 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安沪港深外延 104 3,397 0.0028% 3,397 0 增长灵活配置混合型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安智能装备主 105 3,397 0.0028% 3,397 0 题股票型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安升级主题混 106 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 华安基金管理有限公司-华安宏利混合型 107 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 圆信永丰基金管理有限公司-圆信永丰双 108 利优选定期开放灵活配置混合型证券投 3,397 0.0028% 3,397 0 资基金 嘉实基金管理有限公司-嘉实策略增长混 109 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 嘉实基金管理有限公司-全国社保基金一 110 3,397 0.0028% 3,397 0 零六组合 嘉实基金管理有限公司-嘉实回报灵活配 111 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 宝钢集团有限公司钢铁业企业年金计划- 112 3,397 0.0028% 3,397 0 嘉实基金管理有限公司 嘉实基金管理有限公司-嘉实新兴产业股 113 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 嘉实基金管理有限公司-嘉实环保低碳股 114 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 建行嘉实石化战略龙头股票型养老金产 115 3,397 0.0028% 3,397 0 品资产-嘉实基金管理有限公司 嘉实基金管理有限公司-嘉实新能源新材 116 3,397 0.0028% 3,397 0 料股票型证券投资基金 嘉实基金管理有限公司-嘉实新添荣定期 117 3,397 0.0028% 3,397 0 开放灵活配置混合型证券投资基金 山东省(捌号)职业年金计划-嘉实基金管 118 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 上海市壹拾号职业年金计划-嘉实基金管 119 3,397 0.0028% 3,397 0 理有限公司 华泰柏瑞基金管理有限公司-华泰柏瑞 120 MSCI中国A股国际通交易型开放式指数 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 阳光人寿保险股份有限公司—分红保险 121 3,397 0.0028% 3,397 0 产品-阳光资产管理股份有限公司 辽宁省贰号职业年金计划-嘉实基金管理 122 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 嘉实基金管理有限公司-嘉实瑞成两年持 123 3,397 0.0028% 3,397 0 有期混合型证券投资基金 嘉实基金管理有限公司-嘉实价值发现三 124 个月定期开放混合型发起式证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 嘉实基金管理有限公司-嘉实稳惠6个月 125 3,397 0.0028% 3,397 0 持有期混合型证券投资基金 湖北省农村信用社联合社企业年金计划- 126 3,397 0.0028% 3,397 0 嘉实基金管理有限公司 中银基金管理有限公司-中银新机遇灵活 127 3,397 0.0028% 3,397 0 配置混合型证券投资基金 中银基金管理有限公司-中银宏利灵活配 128 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 中银基金管理有限公司-中银广利灵活配 129 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 中银基金管理有限公司-中银腾利灵活配 130 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 中银基金管理有限公司-中银顺泽回报一 131 3,397 0.0028% 3,397 0 年持有期混合型证券投资基金 西部利得基金管理有限公司-西部利得沪 132 3,397 0.0028% 3,397 0 深300指数增强型证券投资基金 西部利得基金管理有限公司-西部利得行 133 业主题优选灵活配置混合型证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 福建省陆号职业年金计划长江组合-长江 134 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 新疆维吾尔自治区叁号职业年金计划长 135 3,397 0.0028% 3,397 0 江养老组合-长江养老保险股份有限公司 青海省电力公司长江养老组合-长江养老 136 3,397 0.0028% 3,397 0 保险股份有限公司 四川省肆号职业年金计划长江组合-长江 137 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 江苏省伍号职业年金计划长江组合-长江 138 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 长江金色扬帆1号股票型养老金产品-长 139 3,397 0.0028% 3,397 0 江养老保险股份有限公司 申万宏源证券有限公司企业年金计划-中 140 国工商银行股份有限公司-长江养老保险 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 中国南方航空集团有限公司企业年金计 141 划长江养老组合-长江养老保险股份有限 3,397 0.0028% 3,397 0 公司 福建省电力有限公司(主业)企业年金计 142 3,397 0.0028% 3,397 0 划-建行-长江养老保险股份有限公司 诺德基金管理有限公司-诺德成长优势混 143 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 新疆天业(集团)有限公司企业年金计划 144 3,397 0.0028% 3,397 0 -工银瑞信基金管理有限公司 工银瑞信瑞泽混合型养老金产品-工银瑞 145 3,397 0.0028% 3,397 0 信基金管理有限公司 内蒙古自治区壹号职业年金计划-工银瑞 146 3,397 0.0028% 3,397 0 信基金管理有限公司 建信基金管理有限责任公司-建信科技创 147 3,397 0.0028% 3,397 0 新混合型证券投资基金 广东省玖号职业年金计划-工银瑞信基金 148 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信新 149 3,397 0.0028% 3,397 0 兴制造混合型证券投资基金 浙江省能源集团有限公司企业年金计划 150 3,397 0.0028% 3,397 0 存量组合-工银瑞信基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信聚 151 3,397 0.0028% 3,397 0 福混合型证券投资基金 中国石油天然气集团公司企业年金计划- 152 3,397 0.0028% 3,397 0 工银瑞信基金管理有限公司 重庆市玖号职业年金计划-工银瑞信基金 153 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 广西壮族自治区叁号职业年金计划-工银 154 3,397 0.0028% 3,397 0 瑞信基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信消 155 3,397 0.0028% 3,397 0 费行业股票型证券投资基金 天津市肆号职业年金计划-工银瑞信基金 156 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 上海市柒号职业年金计划-工银瑞信基金 157 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 江西省壹号职业年金计划-工银瑞信基金 158 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 建信基金管理有限责任公司-建信中国制 159 2,454 0.0020% 2,454 0 造2025股票型证券投资基金 湖北省(贰号)职业年金计划-工银瑞信基 160 3,397 0.0028% 3,397 0 金管理有限公司 中国海洋石油集团有限公司企业年金计 161 3,397 0.0028% 3,397 0 划-工银瑞信基金管理有限公司 工银瑞信稳享股票型养老金产品-工银瑞 162 3,397 0.0028% 3,397 0 信基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信养 163 老目标日期2035三年持有期混合型基金 3,397 0.0028% 3,397 0 中基金(FOF) 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信新 164 3,397 0.0028% 3,397 0 机遇灵活配置混合型证券投资基金 中国海运(集团)总公司企业年金计划-工 165 3,397 0.0028% 3,397 0 银瑞信基金管理有限公司 中国中煤能源集团有限公司企业年金计 166 3,397 0.0028% 3,397 0 划-工银瑞信基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信新 167 3,397 0.0028% 3,397 0 材料新能源行业股票型证券投资基金 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信绝 168 3,397 0.0028% 3,397 0 对收益策略混合型发起式证券投资基金 中国工商银行股份有限公司企业年金计 169 3,397 0.0028% 3,397 0 划-工银瑞信基金管理有限公司 中国铁路南昌局集团有限公司企业年金 170 计划-中国建设银行股份有限公司-工银 3,397 0.0028% 3,397 0 瑞信基金管理有限公司 河钢股份有限公司唐山分公司企业年金 171 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-工银瑞信基金管理有限公司 工银瑞信基金管理有限公司-工银瑞信消 172 3,360 0.0028% 3,360 0 费服务行业混合型证券投资基金 中再资产管理股份有限公司-中国大地财 173 3,397 0.0028% 3,397 0 产保险股份有限公司 建信基金管理有限责任公司-建信信息产 174 3,397 0.0028% 3,397 0 业股票型证券投资基金 长城基金管理有限公司-长城创新驱动混 175 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 长城基金管理有限公司-长城环保主题灵 176 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 长城基金管理有限公司-长城消费增值混 177 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 建信基金管理有限责任公司-建信沪深 178 3,397 0.0028% 3,397 0 300指数证券投资基金(LOF) 中邮创业基金管理股份有限公司-中邮科 179 3,397 0.0028% 3,397 0 技创新精选混合型证券投资基金 中邮创业基金管理股份有限公司-中邮核 180 3,397 0.0028% 3,397 0 心竞争力灵活配置混合型证券投资基金 华富基金管理有限公司-华富弘鑫灵活配 181 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 中信保诚基金管理有限公司-中信保诚新 182 3,397 0.0028% 3,397 0 蓝筹灵活配置混合型证券投资基金 中信保诚基金管理有限公司-信诚新锐回 183 3,397 0.0028% 3,397 0 报灵活配置混合型证券投资基金 中信保诚基金管理有限公司-信诚新机遇 184 3,397 0.0028% 3,397 0 混合型证券投资基金(LOF) 鹏华基金管理有限公司-鹏华品质优选混 185 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华匠心精选混 186 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华稳健回报混 187 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华基金管理有 188 3,397 0.0028% 3,397 0 限公司-社保基金17031组合 鹏华基金管理有限公司-鹏华中证酒交易 189 3,397 0.0028% 3,397 0 型开放式指数证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华优势企业股 190 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 华泰柏瑞基金管理有限公司-华泰柏瑞沪 191 深300交易型开放式指数证券投资基金联 3,397 0.0028% 3,397 0 接基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华兴安定期开 192 3,397 0.0028% 3,397 0 放灵活配置混合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华中证全指证 193 3,397 0.0028% 3,397 0 券公司指数型证券投资基金(LOF) 鹏华基金管理有限公司-鹏华弘益灵活配 194 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华养老产业股 195 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华新兴产业混 196 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 鹏华基金管理有限公司-鹏华优质治理混 197 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金(LOF) 国寿安保基金管理有限公司-国寿安保策 198 3,397 0.0028% 3,397 0 略精选灵活配置混合型证券投资基金 前海开源基金管理有限公司-前海开源 199 3,209 0.0027% 3,209 0 MSCI中国A股消费指数型证券投资基金 前海开源基金管理有限公司-前海开源盈 200 3,397 0.0028% 3,397 0 鑫灵活配置混合型证券投资基金 前海开源基金管理有限公司-前海开源国 201 家比较优势灵活配置混合型证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 长安基金管理有限公司-长安裕泰灵活配 202 3,397 0.0028% 3,397 0 置混合型证券投资基金 国泰基金管理有限公司-国泰金福三个月 203 3,397 0.0028% 3,397 0 定期开放混合型发起式证券投资基金 国寿安保基金管理有限公司-国寿安保稳 204 3,397 0.0028% 3,397 0 嘉混合型证券投资基金 辽宁省玖号职业年金计划-国泰基金管理 205 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 湖北省(拾壹号)职业年金计划-国泰基金 206 3,397 0.0028% 3,397 0 管理有限公司 上海市壹号职业年金计划-国泰基金管理 207 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 国泰基金管理有限公司-国泰中证计算机 208 3,397 0.0028% 3,397 0 主题交易型开放式指数证券投资基金 国泰基金管理有限公司-国泰优势行业混 209 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 国泰基金管理有限公司-中国建设银行股 210 份有限公司-国泰中证申万证券行业指 3,397 0.0028% 3,397 0 数证券投资基金(LOF) 国泰基金管理有限公司-中国建设银行股 211 份有限公司-国泰国证有色金属行业指 3,397 0.0028% 3,397 0 数分级证券投资基金 国泰基金管理有限公司-国泰多策略收益 212 3,397 0.0028% 3,397 0 灵活配置混合型证券投资基金 国泰基金管理有限公司-国泰国策驱动灵 213 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 国寿安保基金管理有限公司-国寿安保稳 214 3,397 0.0028% 3,397 0 惠灵活配置混合型证券投资基金 国泰基金管理有限公司-国泰价值经典灵 215 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金(LOF) 国泰基金管理有限公司-金鑫股票型证券 216 3,397 0.0028% 3,397 0 投资基金 安信基金管理有限责任公司-安信平稳双 217 3,397 0.0028% 3,397 0 利3个月持有期混合型证券投资基金 安信基金管理有限责任公司-安信中证一 218 2,001 0.0017% 2,001 0 带一路主题指数型证券投资基金 安信基金管理有限责任公司-安信鑫安得 219 3,397 0.0028% 3,397 0 利灵活配置混合型证券投资基金 九泰基金管理有限公司-九泰久睿量化股 220 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 平安养老-浙江省捌号职业年金计划-平 221 3,397 0.0028% 3,397 0 安养老保险股份有限公司 中国国际金融香港资产管理有限公司-中 222 国国际金融香港资产管理有限公司- 3,396 0.0028% 3,396 0 CICCFT10(Q) 平安养老-广东省陆号职业年金计划-平 223 3,397 0.0028% 3,397 0 安养老保险股份有限公司 平安养老-上海市壹拾壹号职业年金计划 224 3,397 0.0028% 3,397 0 -平安养老保险股份有限公司 中信建投基金管理有限公司-中信建投智 225 3,397 0.0028% 3,397 0 享生活混合型证券投资基金 华宝基金管理有限公司-华宝中证电子50 226 3,397 0.0028% 3,397 0 交易型开放式指数证券投资基金 华宝基金管理有限公司-华宝标普中国A 227 3,397 0.0028% 3,397 0 股红利机会指数证券投资基金(LOF) 华宝基金管理有限公司-华宝事件驱动混 228 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 华宝基金管理有限公司-华宝新兴产业混 229 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 平安养老-云南省农村信用社企业年金计 230 3,397 0.0028% 3,397 0 划-平安养老保险股份有限公司 天治基金管理有限公司-天治量化核心精 231 2,378 0.0020% 2,378 0 选混合型证券投资基金 华商基金管理有限公司-华商计算机行业 232 3,397 0.0028% 3,397 0 量化股票型发起式证券投资基金 华商基金管理有限公司-华商乐享互联灵 233 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 平安养老-江西省贰号职业年金计划-平 234 3,397 0.0028% 3,397 0 安养老保险股份有限公司 华商基金管理有限公司-华商价值共享灵 235 3,133 0.0026% 3,133 0 活配置混合型发起式证券投资基金 新华基金管理股份有限公司-新华景气行 236 3,397 0.0028% 3,397 0 业混合型证券投资基金 新华基金管理股份有限公司-新华鑫益灵 237 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 平安养老-中央国家机关及所属事业单位 238 (壹号)职业年金计划-平安养老保险股 3,397 0.0028% 3,397 0 份有限公司 华泰柏瑞基金管理有限公司-华泰柏瑞量 239 3,397 0.0028% 3,397 0 化驱动灵活配置混合型证券投资基金 平安养老-陕西省(贰号)职业年金计划- 240 3,397 0.0028% 3,397 0 平安养老保险股份有限公司 华夏基金管理有限公司-华夏永福混合型 241 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 中国通用技术(集团)控股有限责任公司 242 3,397 0.0028% 3,397 0 企业年金计划-华夏基金管理有限公司 华夏基金华益3号股票型养老金产品-华 243 3,397 0.0028% 3,397 0 夏基金管理有限公司 华夏基金华兴6号股票型养老金产品-华 244 3,397 0.0028% 3,397 0 夏基金管理有限公司 华夏基金华益5号定向股票型养老金产品 245 3,397 0.0028% 3,397 0 -华夏基金管理有限公司 华夏基金颐养天年2号混合型养老金产品 246 3,397 0.0028% 3,397 0 -华夏基金管理有限公司 华夏基金管理有限公司-华夏新锦绣灵活 247 3,397 0.0028% 3,397 0 配置混合型证券投资基金 平安养老-平安精选增值1号混合型养老 248 3,397 0.0028% 3,397 0 金产品-平安养老保险股份有限公司 云南省伍号职业年金计划-华夏基金管理 249 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 华夏基金管理有限公司-华夏价值精选混 250 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 浙江省贰号职业年金计划-华夏基金管理 251 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 山西省捌号职业年金计划-华夏基金管理 252 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 工银如意养老1号企业年金集合计划-华 253 3,397 0.0028% 3,397 0 夏基金管理有限公司 华夏基金管理有限公司-华夏行业龙头混 254 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 华夏基金管理有限公司-华夏中证新能源 255 3,397 0.0028% 3,397 0 汽车交易型开放式指数证券投资基金 华夏基金管理有限公司-华夏中证细分食 256 品饮料产业主题交易型开放式指数证券 3,397 0.0028% 3,397 0 投资基金 国网辽宁省电力有限公司企业年金计划- 257 3,397 0.0028% 3,397 0 华夏基金管理有限公司 平安养老-山东省(贰号)职业年金计划- 258 3,397 0.0028% 3,397 0 平安养老保险股份有限公司 华夏基金管理有限公司-华夏科技成长股 259 3,397 0.0028% 3,397 0 票型证券投资基金 华夏基金管理有限公司-华夏兴和混合型 260 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 平安股票优选1号股票型养老金产品-平 261 3,397 0.0028% 3,397 0 安养老保险股份有限公司 国联安基金管理有限公司-国联安中证全 262 指半导体产品与设备交易型开放式指数 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 平安养老-平安深圳企业年金计划-平安 263 3,397 0.0028% 3,397 0 养老保险股份有限公司 国联安基金管理有限公司-国联安睿祺灵 264 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 上银基金管理有限公司-上银未来生活灵 265 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 平安养老-沈阳铁路局企业年金计划-平 266 3,397 0.0028% 3,397 0 安养老保险股份有限公司 平安养老-中国铁路郑州局集团有限公司 267 企业年金计划-平安养老保险股份有限公 3,397 0.0028% 3,397 0 司 永赢基金管理有限公司-永赢鑫享混合型 268 3,397 0.0028% 3,397 0 证券投资基金 永赢基金管理有限公司-永赢消费主题灵 269 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 平安养老-国网湖南省电力有限公司企业 270 3,397 0.0028% 3,397 0 年金计划-平安养老保险股份有限公司 博道基金管理有限公司-博道嘉泰回报混 271 3,397 0.0028% 3,397 0 合型证券投资基金 易方达基金管理有限公司-易方达中证创 272 新药产业交易型开放式指数证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 易方达颐安混合型养老金产品-易方达基 273 3,397 0.0028% 3,397 0 金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达医药生 274 3,397 0.0028% 3,397 0 物股票型证券投资基金 广东省壹号职业年金计划易方达组合-易 275 3,397 0.0028% 3,397 0 方达基金管理有限公司 平安养老-浙江中烟工业有限责任公司企 276 3,397 0.0028% 3,397 0 业年金计划-平安养老保险股份有限公司 中国铁路成都局集团有限公司企业年金 277 计划(易方达组合)-易方达基金管理有限 3,397 0.0028% 3,397 0 公司 福建省肆号职业年金计划易方达组合-易 278 3,397 0.0028% 3,397 0 方达基金管理有限公司 河北省叁号职业年金计划易方达组合-易 279 3,397 0.0028% 3,397 0 方达基金管理有限公司 易方达泰兴股票型养老金产品-易方达基 280 3,397 0.0028% 3,397 0 金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达消费精 281 3,397 0.0028% 3,397 0 选股票型证券投资基金 中央国家机关及所属事业单位(壹号)职 282 3,397 0.0028% 3,397 0 业年金计划-易方达基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达中证红 283 3,397 0.0028% 3,397 0 利交易型开放式指数证券投资基金 湖南省(叁号)职业年金计划易方达组合 284 3,397 0.0028% 3,397 0 -易方达基金管理有限公司 中国铁路太原局集团有限公司企业年金 285 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-易方达基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达鑫转招 286 3,397 0.0028% 3,397 0 利混合型证券投资基金 东方基金管理股份有限公司-东方龙混合 287 3,397 0.0028% 3,397 0 型开放式证券投资基金 中国中信集团有限公司企业年金计划-易 288 3,397 0.0028% 3,397 0 方达基金管理有限公司 中国航空发动机集团有限公司企业年金 289 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-易方达基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达瑞智灵 290 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 易方达基金管理有限公司-易方达瑞弘灵 291 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 易方达基金管理有限公司-易方达中证全 292 3,397 0.0028% 3,397 0 指证券公司指数证券投资基金(LOF) 易方达基金管理有限公司-易方达中证万 293 3,397 0.0028% 3,397 0 得生物科技指数证券投资基金(LOF) 易方达基金管理有限公司-易方达上证50 294 3,397 0.0028% 3,397 0 指数证券投资基金(LOF) 中国人寿委托易方达基金公司混合型组 295 3,397 0.0028% 3,397 0 合-易方达基金管理有限公司 湖北省农村信用社联合社企业年金计划- 296 3,397 0.0028% 3,397 0 易方达基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-北京铁路局企 297 3,397 0.0028% 3,397 0 业年金基金 易方达基金管理有限公司-易方达资源行 298 3,397 0.0028% 3,397 0 业混合型证券投资基金 酒泉钢铁(集团)有限责任公司企业年金 299 3,397 0.0028% 3,397 0 计划-易方达基金管理有限公司 易方达基金管理有限公司-易方达科汇灵 300 3,397 0.0028% 3,397 0 活配置混合型证券投资基金 长盛基金管理有限公司-长盛优势企业精 301 3,397 0.0028% 3,397 0 选混合型证券投资基金 长盛基金管理有限公司-长盛量化多策略 302 3,397 0.0028% 3,397 0 灵活配置混合型证券投资基金 长盛基金管理有限公司-长盛新兴成长主 303 3,246 0.0027% 3,246 0 题灵活配置混合型证券投资基金 长盛基金管理有限公司-长盛同庆中证 304 3,397 0.0028% 3,397 0 800指数型证券投资基金(LOF) 全国社保基金六零三组合-长盛基金管理 305 3,397 0.0028% 3,397 0 有限公司 申万菱信基金管理有限公司-申万菱信中 306 证研发创新100交易型开放式指数证券投 3,397 0.0028% 3,397 0 资基金 申万菱信基金管理有限公司-申万菱信新 307 能源汽车主题灵活配置混合型证券投资 3,397 0.0028% 3,397 0 基金 申万菱信基金管理有限公司-申万菱信盛 308 3,397 0.0028% 3,397 0 利精选证券投资基金 兴业基金管理有限公司-兴业龙腾双益平 309 3,397 0.0028% 3,397 0 衡混合型证券投资基金 兴业龙腾双益平衡混合型证券投资基金- 310 兴业多策略灵活配置混合型发起式证券 3,397 0.0028% 3,397 0 投资基金 东方基金管理股份有限公司-东方新兴成 311 3,397 0.0028% 3,397 0 长混合型证券投资基金 创金合信基金管理有限公司-创金合信鑫 312 3,397 0.0028% 3,397 0 利混合型证券投资基金 创金合信基金管理有限公司-创金合信工 313 3,397 0.0028% 3,397 0 业周期精选股票型发起式证券投资基金 中融基金管理有限公司-中融鑫价值灵活 314 3,397 0.0028% 3,397 0 配置混合型证券投资基金 东方基金管理股份有限公司-东方睿鑫热 315 3,397 0.0028% 3,397 0 点挖掘灵活配置混合型证券投资基金 泰信基金管理有限公司-泰信中小盘精选 316 3,397 0.0028% 3,397 0 股票型证券投资基金 光大保德信基金管理有限公司-光大保德 317 信事件驱动灵活配置混合型证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 光大保德信基金管理有限公司-光大保德 318 信一带一路战略主题混合型证券投资基 3,397 0.0028% 3,397 0 金 陆家嘴国泰人寿保险有限责任公司-陆家 319 嘴国泰人寿保险有限责任公司-分红-个 3,397 0.0028% 3,397 0 险分红 云南省叁号职业年金计划-中国国际金融 320 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 四川省伍号职业年金计划-中国国际金融 321 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 山西省肆号职业年金计划-中国国际金融 322 3,397 0.0028% 3,397 0 股份有限公司 中金丰和股票型养老金产品-中国国际金 323 3,397 0.0028% 3,397 0 融股份有限公司 中金丰汇股票型养老金产品-中国国际金 324 3,397 0.0028% 3,397 0 融股份有限公司 中国工商银行上海铁路局企业年金计划 325 3,397 0.0028% 3,397 0 中金组合-中国国际金融股份有限公司 天弘基金管理有限公司-天弘中证光伏产 326 3,397 0.0028% 3,397 0 业指数型发起式证券投资基金 天弘基金管理有限公司-天弘多利一年定 327 3,397 0.0028% 3,397 0 期开放混合型证券投资基金 天弘基金管理有限公司-天弘中证全指证 328 3,397 0.0028% 3,397 0 券公司指数型发起式证券投资基金 天弘基金管理有限公司-天弘中证医药 329 3,397 0.0028% 3,397 0 100指数型发起式证券投资基金 天弘基金管理有限公司-天弘云端生活优 330 3,397 0.0028% 3,397 0 选灵活配置混合型证券投资基金 合计 1,117,011 0.92% 1,117,011 0 (四)限售股上市流通情况表: 序号 限售股类型 本次上市流通数量(股) 限售期(月) 1 首发限售股 1,117,011 6 合计 1,117,011 6 五、保荐机构核查意 见 经核查,保荐机构认为: 截至本核查意见出具之日,芯碁微装本次限售股份上市流通符合《证券发行 上市保荐业务管理办法》《上海证券交易所科创板股票上市规则》等相关法律法 规和规范性文件的要求;本次限售股股东均已严格履行了相关承诺;本次解除限售 股份数量、上市流通时间等均符合有关法律、行政法规、部门规章、有关规则和股 东承诺;芯碁微装关于本次限售股份上市流通的信息披露真实、准确、完整。 综上所述,海通证券对芯碁微装本次限售股份上市流通事项无异议。 (以下无正文) (本页无正文,为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股 份有限公司首次公开发行网下配售限售股上市流通的核查意见》之签字盖章 页) 保荐代表人签名: 于军杰 林剑辉 海通证券股份有限公司 年 月 日