海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2021 年度募集资金存放与使用情况的核查意见
海通证券股份有限公司（以下简称“海通证券”或“保荐机构”）作为合肥
芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）首次公开发
行股票并上市持续督导保荐机构，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上
市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》《上海证
券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所上市公司自律监管指引第 11
号——持续督导》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规
范运作》等有关规定，对芯碁微装 2021 年度募集资金的存放和使用情况进行了
核查，具体情况如下：
一、募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司
首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350号）的批准，公司首次公
开 发 行 人 民 币 普 通 股 （ A 股 ） 股 票 3,020.2448 万 股 ， 募 集 资 金 总 额 人 民 币
459,983,283.04元，募集资金净额为人民币416,358,195.95元。上述资金已于2021
年3月29日全部到位，并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事
务所（特殊普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股
份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034号）。
截至2021年12月31日，募集资金存放银行产生利息共计人民币6,657,768.40
（含活期利息）元，已使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，本年度已
使用募集资金金额为人民币148,306,821.81元，现金管理理财结算户余额为人民
币255,000,000.00元（含活期余额20,000,000.00元），募集资金存储账户余额为人
民币19,710,106.66元。
二、募集资金的管理与专户存储情况
公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的原则，制定
了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使用、管理与监督做出了
明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范使用。
公司、海通证券、上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新区支行、中信银
行合肥分行营业部、中国建设银行股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农
业银行合肥分行营业部签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三
方监管协议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三方
监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存在问题。
公司于 2021 年 4 月 22 日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021 年 5
月 14 日召开的 2020 年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和
自有资金进行现金管理的议案》。公司 2021 年 6 月 15 日召开的公司第一届董事
会第十二次会议审议通过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议
案》，公司在履行相关审议程序后对募集资金进行现金管理。
截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金存放情况如下表所示：
2021 年 12 月 31 日
开户银行 账号 存款方式 账户余额
（人民币元）
上海浦东发展银行股份有限公司合肥
58060078801900000917 活期 14,177,885.10
高新区支行
中信银行合肥分行营业部 8112301011000711239 活期 830,010.67
中国建设银行股份有限公司合肥政务
34050146480800002478 活期 2,946,579.22
文化新区支行
中国农业银行合肥分行营业部 12187001040099999 活期 1,755,631.67
中国光大银行合肥长江西路支行 76670188000611944 活期 20,000,000.00
广发银行股份有限公司合肥分行营业
结构性存款 理财 125,000,000.00
部
东亚银行（中国）有限公司合肥分行 结构性存款 理财 60,000,000.00
杭州银行股份有限公司合肥科技支行 大额存单 理财 50,000,000.00
合计 274,710,106.66
三、本年度募集资金的实际使用情况
（一）募集资金使用情况
报告期内，公司实际使用募集资金 148,306,821.81 元，具体募集资金使用情
况见附表。
募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异的，也不存在无法单独核
算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
2021 年 6 月 15 日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了《关于
使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公司使用募集资金人民币
58,213,358.72 元置换预先投入募投项目的自筹资金。截至 2021 年 6 月 30 日，公
司已完成对预先投入募投项目的自筹资金的置换。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动资金的情形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
公司于 2021 年 4 月 22 日召开的公司第一届董事会第十一次会议、2021 年 5
月 14 日召开的 2020 年年度股东大会审议通过了《关于使用暂时闲置募集资金和
自有资金进行现金管理的议案》，同意公司使用额度不超过人民币 30,000 万元
（包含本数）的闲置募集资金在确保不影响募集资金投资计划进度、不影响公司
正常生产经营及确保资金安全的情况下进行现金管理，用于购买安全性高、流动
性好、有保本约定的投资产品（包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、定
期存款、通知存款、大额存单、协定存款等），期限不超过 12 个月。
截至 2021 年 12 月 31 日，公司对募集资金进行现金管理情况详见下表：
实际投
序号 受托方 产品类型 批准投资金额 投资期限 期末余额 利息金额
入金额
1 浦发银行 结构性存款 65,000,000.00 65,000,000.00 2021.5.20-2021.8.18 0.00 530,291.67
2 杭州银行 大额存单 50,000,000.00 50,000,000.00 2021.5.21-2024.5.21 50,000,000.00 1,084,657.54
3 东亚银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.5.20-2021.8.20 0.00 559,666.66
4 东亚银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.8.20-2021.11.26 0.00 555,333.33
5 东亚银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.11.26-2022.2.25 60,000,000.00 未到期
6 农业银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.5.18-2021.8.23 0.00 552,328.77
7 广发银行 结构性存款 50,000,000.00 50,000,000.00 2021.5.21-2021.8.19 0.00 419,178.08
8 广发银行 结构性存款 50,000,000.00 50,000,000.00 2021.8.19-2021.11.22 0.00 444,246.58
9 广发银行 结构性存款 65,000,000.00 65,000,000.00 2021.11.22-2022.2.21 65,000,000.00 未到期
10 广发银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.11.25-2022.2.24 60,000,000.00 未到期
11 光大银行 结构性存款 65,000,000.00 65,000,000.00 2021.8.18-2021.11.18 0.00 560,625.00
12 光大银行 结构性存款 60,000,000.00 60,000,000.00 2021.8.24-2021.11.24 0.00 472,500.00
13 光大银行 结构性存款 50,000,000.00 50,000,000.00 2021.11.18-2021.12.30 0.00 180,833.33
合计 755,000,000.00 755,000,000.00 23,500,000.00 5,359,660.96
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
四、变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2021 年 12 月 31 日，无此类情况。
五、募集资金使用及披露上存在的问题
公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资金管理的违
规情形。
六、会计师事务所对公司年度募集资金存放与使用情况出具的鉴证报告的
结论性意见
容诚会计师事务所认为，芯碁微装 2021 年度《募集资金存放与实际使用情
况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第 2 号——上市公
司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规定编制，公允反映了芯碁
微装 2021 年度募集资金实际存放与使用情况。
七、保荐机构核查意见
经核查，保荐机构认为，公司 2021 年度募集资金的存放与使用符合《证券
发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资
金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海
证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等相关规定及公
司募集资金管理制度，对募集资金进行了专户存储和使用，截至 2021 年 12 月
31 日，公司不存在变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规
使用募集资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规的
情形。保荐机构对芯碁微装 2021 年度募集资金存放与使用情况无异议。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公
司 2021 年度募集资金存放与使用情况的核查意见》之签字盖章页）
保荐代表人签名：_____________ _____________
于军杰 林剑辉
海通证券股份有限公司
年 月 日
附表 1：
2021 年度募集资金使用情况对照表
单位：元
募集资金总额 416,358,195.95 本年度投入募集资金总额 148,306,821.81
变更用途的募集资金总额 0
已累计投入募集资金总额 148,306,821.81
变更用途的募集资金总额比例（%） 0
项
目
可
是
项 目 行
截至期末 否
已 变 更 达 到 性
累计投入 截至期末 达
项目，含 截至期末承 截至期末 预 定 是
募集资金承 调整后投资 本年度投 金额与承 投入进度 本年度实现 到
承诺投资项目 部 分 变 诺投入金额 累计投入 可 使 否
诺投资额 总额 入金额 诺投入金 （%） 的效益 预
更 （ 如 ① 金额② 用 状 发
额的差额 ④=②/① 计
有） 态 日 生
③=②-① 效
期 重
益
大
变
化
FAST 35 等
高端 PCB 激
2022 设备研发成
光直接成像 207,700,000 207,700,000 207,700,000 111,517,51 111,517,51 -96,182,48
无 53.69 年2 功，获批 3 是 否
（LDI）设备 .00 .00 .00 4.45 4.45 5.55
月 个发明专
升级迭代项目
利，其中 2
个实审，1
个授权。
晶圆级封装
2023 不
（WLP）直写 93,800,000. 58,800,000. 58,800,000. 9,144,969. 9,144,969. -49,655,03
无 15.55 年2 不适用 适 否
光刻设备产业 00 00 00 36 36 0.64
月 用
化项目
平 板 显 示 2023 不
108,360,000 8,6308,195. 8,6308,195. 24,696,34 24,696,34 -61,611,85
（FPD）光刻 无 28.61 年2 不适用 适 否
.00 95 95 5.00 5.00 0.95
设备研发项目 月 用
微纳制造技术 2023 不
63,550,000. 63,550,000. 63,550,000. 2,947,993. 2,947,993. -60,602,00
研发中心建设 无 4.64 年2 不适用 适 否
00 00 00 00 00 7.00
项目 月 用
473,410,000 416,358,195 416,358,195 148,306,8 148,306,8 -268,051,3
合计 - 35.68 - - - -
.00 .95 .95 21.81 21.81 74.14
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
经履行相关程序后，公司使用募集资金人民币 58,213,358.72 元置换预先投入的募投项目的自筹资
募集资金投资项目先期投入及置换情况
金。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
截至报告期末，公司进行现金管理的募集资金余额为 25500 万元。具体详见本报告“三、2021 年上
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
半年募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用