证券代码：688630 证券简称：芯碁微装 公告编号：2022-021
合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2021 年年度募集资金存放与使用情况的专项报告
本公司董事会及全体董事保证本公告内容不存在任何虚假记载、
误导性陈述或者重大遗漏，并对其内容的真实性、准确性和完整性承
担个别及连带责任。
根据中国证券监督管理委员会(以下简称“证监会”)《上市公司
监管指引第 2 号—上市公司募集资金管理和使用的监管要求》(证监
会公告[2012]44 号)及《上海证券交易所上市公司募集资金管理办法
(2013 年修订)》(上证公字[2013]13 号)的规定，合肥芯碁微电子装
备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”或“公司”）董事会对 2021
年年度募集资金存放与使用情况的专项报告说明如下：
一、 募集资金基本情况
根据中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股
份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可[2021]350 号）
的批准，公司首次公开发行人民币普通股（A 股）股票 3,020.2448
万股，募集资金总额人民币 459,983,283.04 元，募集资金净额为人
民币 416,358,195.95 元。上述资金已于 2021 年 3 月 29 日全部到位，
并存放于公司开设的募集资金专项账户内。容诚会计师事务所（特殊
普通合伙）对前述事项进行了审验，并出具《合肥芯碁微电子装备股
份有限公司验资报告》（容诚验字【2021】230Z0034 号）。
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截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金存放银行产生利息共计人民
币 6,657,768.40（含活期利息）元，已使用募集资金金额为人民币
148,306,821.81 元 ， 本 年 度 已 使 用 募 集 资 金 金 额 为 人 民 币
148,306,821.81 元 ， 现 金 管 理 理 财 结 算 户 余 额 为 人 民 币
255,000,000.00 元（含活期余额 20,000,000.00 元），募集资金存储
账户余额为人民币 19,710,106.66 元。
二、 募集资金存放和管理情况
公司根据有关法律法规的规定，遵循规范、安全、高效、透明的
原则，制定了《募集资金管理制度》，对募集资金的存储、审批、使
用、管理与监督做出了明确的规定，在制度上保证了募集资金的规范
使用。
公司、保荐机构海通证券股份有限公司、上海浦东发展银行股份
有限公司合肥高新区支行、中信银行合肥分行营业部、中国建设银行
股份有限公司合肥政务文化新区支行、中国农业银行合肥分行营业部
签署了《募集资金专户存储三方监管协议》(以下简称“三方监管协
议”)。《三方监管协议》与证券交易所制定的《募集资金专户存储三
方监管协议（范本）》不存在重大差异，《三方监管协议》的履行不存
在问题。
公司于 2021 年 4 月 22 日召开的公司第一届董事会第十一次会
议、2021 年 5 月 14 日召开的 2020 年年度股东大会审议通过了《关
于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》。公司
2021 年 6 月 15 日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通过了
《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，公司在履行
相关审议程序后对募集资金进行现金管理。
截至 2021 年 12 月 31 日，募集资金存放情况如下表所示：
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2021 年 12 月 31 日
开户银行 账号 存款方式 账户余额
(人民币元)
上海浦东发展银行股份有限公司合肥高新 58060078801900000917 活期 14,177,885.10
区支行
中信银行合肥分行营业部 8112301011000711239 活期 830,010.67
中国建设银行股份有限公司合肥政务文化 34050146480800002478 活期 2,946,579.22
新区支行
中国农业银行合肥分行营业部 12187001040099999 活期 1,755,631.67
中国光大银行合肥长江西路支行 76670188000611944 活期 20,000,000.00
广发银行股份有限公司合肥分行营业部 结构性存款 理财 125,000,000.00
东亚银行（中国）有限公司合肥分行 结构性存款 理财 60,000,000.00
杭州银行股份有限公司合肥科技支行 大额存单 理财 50,000,000.00
合计 / / 274,710,106.66
三、 2021 年年度募集资金的实际使用情况
（一）募投项目的资金使用情况
报告期内，公司实际使用募集资金 148,306,821.81 元，具体募
集资金使用情况见附表。
募投项目实际投资进度与投资计划不存在显著差异的，也不存在
无法单独核算效益的情形。
（二）募投项目先期投入及置换情况
2021 年 6 月 15 日召开的公司第一届董事会第十二次会议审议通
过了《关于使用募集资金置换预先投入的自筹资金的议案》，同意公
司使用募集资金人民币 58,213,358.72 元置换预先投入募投项目的
自筹资金。截至 2021 年 6 月 30 日，公司已完成对预先投入募投项目
的自筹资金的置换。
（三）用闲置募集资金暂时补充流动资金情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无用闲置募集资金暂时补充流动
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资金的情形。
（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况
公司于 2021 年 4 月 22 日召开的公司第一届董事会第十一次会
议、2021 年 5 月 14 日召开的 2020 年年度股东大会审议通过了《关
于使用暂时闲置募集资金和自有资金进行现金管理的议案》，同意公
司使用额度不超过人民币 30000 万元（包含本数）的闲置募集资金在
确保不影响募集资金投资计划进度、不影响公司正常生产经营及确保
资金安全的情况下进行现金管理，用于购买安全性高、流动性好、有
保本约定的投资产品（包括但不限于保本型理财产品、结构性存款、
定期存款、通知存款、大额存单、协定存款等），期限不超过 12 个月。
截至 2021 年 12 月 31 日，公司对募集资金进行现金管理情况详
见下表：
单位：元
序 产品类 批准投
受托方 实际投入金额 投资期限 期末余额 利息金额
号 型 资金额
结构性
1 浦发银行 65000000 65000000 2021.5.20-2021.8.18 0.00 530291.67
存款
大额存
2 杭州银行 50000000 50000000 2021.5.21-2024.5.21 50000000 1084657.54
单
结构性
3 东亚银行 60000000 60000000 2021.5.20-2021.8.20 0.00 559666.66
存款
结构性
4 东亚银行 60000000 60000000 2021.8.20-2021.11.26 0.00 555333.33
存款
结构性
5 东亚银行 60000000 60000000 2021.11.26-2022.2.25 60000000 未到期
存款
结构性
6 农业银行 60000000 60000000 2021.5.18-2021.8.23 0.00 552328.77
存款
结构性
7 广发银行 50000000 50000000 2021.5.21-2021.8.19 0.00 419178.08
存款
结构性
8 广发银行 50000000 50000000 2021.8.19-2021.11.22 0.00 444246.58
存款
结构性
9 广发银行 65000000 65000000 2021.11.22-2022.2.21 65000000 未到期
存款
结构性
10 广发银行 60000000 60000000 2021.11.25-2022.2.24 60000000 未到期
存款
11 光大银行 结构性 65000000 65000000 2021.8.18-2021.11.18 0.00 560625
4
存款
结构性
12 光大银行 60000000 60000000 2021.8.24-2021.11.24 0.00 472500
存款
结构性
13 光大银行 50000000 50000000 2021.11.18-2021.12.30 0.00 180833.33
存款
合计 755000000 755000000 / 23500000 5359660.96
（五）用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（六）超募资金用于在建项目及新项目（包括收购资产等）的情
况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
（七）节余募集资金使用情况
截至 2021 年 12 月 31 日，公司无此种情形。
四、 变更募集资金投资项目的资金使用情况
截至 2021 年 12 月 31 日，无此类情况。
五、 募集资金使用及披露中存在的问题
公司及时、真实、准确、完整的披露了相关信息，不存在募集资
金管理的违规情形。
六、会计师事务所对公司 2021 年年度募集资金存放与
使用情况出具的鉴证报告的结论性意见
会计师事务所认为，芯碁微装《2021 年度募集资金存放与使用
情况的专项报告》在所有重大方面按照上述《上市公司监管指引第 2
号——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》及交易所的相关规
定编制，公允反映了芯碁微装 2021 年度募集资金实际存放与使用情
况。
七、保荐机构对公司 2021 年年度募集资金存放与使用
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情况所出具的专项核查报告的结论性意见
经核查，保荐机构认为，公司 2021 年度募集资金的存放与使用
符合《证券发行上市保荐业务管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号
——上市公司募集资金管理和使用的监管要求》、《上海证券交易所科
创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引
第 1 号——规范运作》等相关规定及公司募集资金管理制度，对募集
资金进行了专户存储和使用，截至 2021 年 12 月 31 日，公司不存在
变相改变募集资金用途和损害股东利益的情形，不存在违规使用募集
资金的情形，公司募集资金使用不存在违反国家反洗钱相关法律法规
的情形。保荐机构对芯碁微装 2021 年度募集资金存放与使用情况无
异议。
八、公司存在两次以上融资且当年分别存在募集资金运
用的，应在专项报告分别说明
公司不存在两次以上融资且当年存在募集资金运用的情况。
九、上网公告附件
（一）海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限
公司 2021 年度募集资金存放与使用情况的核查意见；
（二）容诚会计师事务所（特殊普通合伙）对合肥芯碁微电子装
备股份有限公司 2021 年度募集资金存放及使用情况鉴证报告。
特此公告。
合肥芯碁微电子装备股份有限公司董事会
2022 年 4 月 28 日
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附表 1：2021 年年度募集资金使用情况对照表
单位：元
募集资金总额 416,358,195.95 本年度投入募集资金总额 148,306,821.81
变更用途的募集资金总额 0
已累计投入募集资金总额 148,306,821.81
变更用途的募集资金总额比例（%） 0
项
目
可
是
项 目 行
截至期末 否
已 变 更 达 到 性
累计投入 截至期末 达
项目，含 截至期末承 截至期末 预 定 是
募集资金承 调整后投资 本年度投 金额与承 投入进度 本年度实现 到
承诺投资项目 部 分 变 诺投入金额 累计投入 可 使 否
诺投资额 总额 入金额 诺投入金 （%） 的效益 预
更 （ 如 ① 金额② 用 状 发
额的差额 ④=②/① 计
有） 态 日 生
③=②-① 效
期 重
益
大
变
化
FAST 35 等
高端 PCB 激光 设备研发成
2022
直 接 成 像 207,700,00 207,700,00 207,700,00 111,517, 111,517, -96,182, 功，获批 3
无 53.69 年2 是 否
（LDI）设备升 0.00 0.00 0.00 514.45 514.45 485.55 个发明专
月
级迭代项目 利，其中 2
个实审，1
7
个授权。
晶圆级封装
2023 不
（WLP）直写光 93,800,000 58,800,000 58,800,000 9,144,96 9,144,96 -49,655,
无 15.55 年2 不适用 适 否
刻设备产业化 .00 .00 .00 9.36 9.36 030.64
月 用
项目
平 板 显 示 2023 不
108,360,00 8,6308,195 8,6308,195 24,696,3 24,696,3 -61,611,
（FPD）光刻设 无 28.61 年2 不适用 适 否
0.00 .95 .95 45.00 45.00 850.95
备研发项目 月 用
微纳制造技术 2023 不
63,550,000 63,550,000 63,550,000 2,947,99 2,947,99 -60,602,
研发中心建设 无 4.64 年2 不适用 适 否
.00 .00 .00 3.00 3.00 007.00
项目 月 用
473,410,00 416,358,19 416,358,19 148,306, 148,306, -268,051
合计 - 35.68 - - - -
0.00 5.95 5.95 821.81 821.81 ,374.14
未达到计划进度原因（分具体募投项目） 不适用
项目可行性发生重大变化的情况说明 不适用
经履行相关程序后，公司使用募集资金人民币 58,213,358.72 元置换预先投入的募投项目的自筹
募集资金投资项目先期投入及置换情况
资金。
用闲置募集资金暂时补充流动资金情况 不适用
截至报告期末，公司现金管理理财结算户募集资金余额为 25500 万元。具体详见本报告“三、2021
对闲置募集资金进行现金管理，投资相关产品情况
年上半年募集资金的实际使用情况”之“（四）对闲置募集资金进行现金管理、投资相关产品情况”。
用超募资金永久补充流动资金或归还银行贷款情况 不适用
募集资金结余的金额及形成原因 本年度募集资金尚在投入过程中，不存在募集资金结余的情况。
募集资金其他使用情况 不适用
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