海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公司
2022年半年度持续督导跟踪报告
保荐机构名称：海通证券股份有限公司 被保荐公司简称：芯碁微装
保荐代表人姓名：于军杰、林剑辉 被保荐公司代码：688630
经中国证券监督管理委员会《关于同意合肥芯碁微电子装备股份有限公司首
次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2021〕350 号）同意注册，合肥芯碁
微电子装备股份有限公司（以下简称“芯碁微装”、“公司”或“发行人”）首
次公开发行股票 3,020.24 万股，每股人民币 1 元，每股发行价格人民币 15.23 元，
募集资金总额为人民币 459,983,283.04 元，扣除发行费用后，实际募集资金净额
为人民币 416,358,195.95 元。本次发行证券已于 2021 年 4 月 1 日在上海证券交
易所上市。海通证券股份有限公司（以下简称“保荐机构”或“海通证券”）担
任其持续督导保荐机构，持续督导期间为 2021 年 4 月 1 日至 2024 年 12 月 31
日。
在 2022 年上半年持续督导期内（以下简称“本持续督导期间”），保荐机
构及保荐代表人按照《证券发行上市保荐业务管理办法》 以下简称“保荐办法”）、
《上海证券交易所科创板股票上市规则》及《上海证券交易所上市公司自律监管
指引第 11 号——持续督导》等相关规定，通过日常沟通、定期回访、现场检查、
尽职调查等方式进行持续督导，现就 2022 年半年度持续督导情况报告如下：
一、持续督导工作情况
序号 项目 工作内容
建立健全并有效执行持续督导工作制度，并 保荐机构已建立健全并有效执行了持
1 针对具体的持续督导工作制定相应的工作计 续督导制度，已根据公司的具体情况
划。 制定了相应的工作计划。
保荐机构已与公司签署了保荐协议，
根据中国证监会相关规定，在持续督导工作
协议明确了双方在持续督导期间的权
开始前，与上市公司或相关当事人签署持续
2 利和义务，并已报上海证券交易所备
督导协议，明确双方在持续督导期间的权利
案。本持续督导期间，未发生对协议
义务，并报上海证券交易所备案。
内容做出修改或终止协议的情况。
持续督导期间，按照有关规定对上市公司违 本持续督导期间，公司未发生需公开
3
法违规事项公开发表声明的，应于披露前向 发表声明的违法违规事项。
序号 项目 工作内容
上海证券交易所报告，经上海证券交易所审
核后在指定媒体上公告。
持续督导期间，上市公司或相关当事人出现
违法违规、违背承诺等事项的，应自发现或
本持续督导期间，公司及相关当事人
应当发现之日起五个工作日内向上海证券交
4 未出现需报告的违法违规、违背承诺
易所报告，报告内容包括上市公司或相关当
等事项。
事人出现违法违规、违背承诺等事项的具体
情况，保荐机构采取的督导措施等。
本持续督导期间，保荐机构通过日常
通过日常沟通、定期回访、现场检查、尽职
5 沟通、不定期回访等方式，对公司开
调查等方式开展持续督导工作。
展持续督导工作。
督促上市公司建立和执行规范运作、承诺履 保荐机构已督促公司建立和执行规范
6
行、分红回报等制度。 运作、承诺履行、分红回报等制度。
保荐机构持续督促、指导公司及其董
督导上市公司及其董事、监事、高级管理人 事、监事、高级管理人员，本持续督
员遵守法律、法规、部门规章和上海证券交 导期间，公司及其董事、监事、高级
7
易所发布的业务规则及其他规范性文件，并 管理人员能够遵守相关法律法规的要
切实履行其所做出的各项承诺。 求，并切实履行其所做出的各项承
诺。
督导上市公司建立健全并有效执行公司治理 核 查 了 公 司 治 理 制 度 建 立 与 执 行 情
制度，包括但不限于股东大会、董事会、监 况，《公司章程》、三会议事规则等制
8
事会议事规则以及董事、监事和高级管理人 度符合相关法规要求，本持续督导期
员的行为规范等。 间，公司有效执行了相关治理制度。
督导上市 公司建立健全并有效执 行内控制
度，包括但不限于财务管理制度、会计核算 核 查 了 公 司 内 控 制 度 建 立 与 执 行 情
制度和内部审计制度，以及募集资金使用、 况 ， 公 司 内 控 制 度 符 合 相 关 法 规 要
9
关联交易、对外担保、对外投资、衍生品交 求，本持续督导期间，公司有效执行
易、对子公司的控制等重大经营决策的程序 了相关内控制度。
与规则等。
督导上市公司建立健全并有效执行信息披露
保荐机构督促公司严格执行信息披露
制度，审阅信息披露文件及其他相关文件，
制度，审阅信息披露文件及其他相关
10 并有充分理由确信上市公司向上海证券交易
文件，详见“二、保荐机构对上市公司
所提交的文件不存在虚假记载、误导性陈述
信息披露审阅的情况”。
或重大遗漏。
对上市公 司的信息披露文件及向 中国证监
会、上海证券交易所提交的其他文件进行事
前审阅，对存在问题的信息披露文件应及时 详见“二、保荐机构对上市公司信息披
11
督促上市公司予以更正或补充，上市公司不 露审阅的情况”。
予更正或补充的，应及时向上海证券交易所
报告。
对上市公司的信息披露文件未进行事前审阅 详见“二、保荐机构对上市公司信息披
12
的，应在上市公司履行信息披露义务后五个 露审阅的情况”。
序号 项目 工作内容
交易日内，完成对有关文件的审阅工作，对
存在问题的信息披露文件应及时督促上市公
司更正或 补充，上市公司不予更 正或补充
的，应及时向上海证券交易所报告。
关注上市公司或其控股股东、实际控制人、 本 持 续 督 导 期 间 ， 公 司 或 其 控 股 股
董事、监事、高级管理人员受到中国证监会 东、实际控制人、董事、监事、高级
行政处罚、上海证券交易所纪律处分或者被 管 理 人 员 未 受 到 中 国 证 监 会 行 政 处
13
上海证券交易所出具监管关注函的情况，并 罚、上海证券交易所纪律处分或者被
督促其完善内部控制制度，采取措施予以纠 上海证券交易所出具监管关注函的情
正。 况。
关注上市公司及控股股东、实际控制人等履
行承诺的情况，上市公司及控股股东、实际
控制人等未履行承诺事项的，保荐人应及时
向上海证券交易所报告。
上市公司或其控股股东、实际控制人作出承
诺的，保荐机构、保荐代表人应当督促其对 本持续督导期间，公司及控股股东、
承诺事项的具体内容、履约方式及时间、履 实际控制人等不存在未履行承诺的情
约能力分析、履约风险及对策、不能履约时 况。
的救济措施等方面进行充分信息披露。 公司或其控股股东、实际控制人已对
14
保荐机构、保荐代表人应当针对前款规定的 承诺事项的具体内容、履约方式及时
承诺披露事项，持续跟进相关主体履行承诺 间 、 履 约 能 力 分 析 、 履 约 风 险 及 对
的进展情况，督促相关主体及时、充分履行 策、不能履约时的救济措施等方面进
承诺。 行充分信息披露。
上市公司或其控股股东、实际控制人披露、
履行或者变更承诺事项，不符合法律法规、
上市规则以及上海证券交易所其他规定的，
保荐机构和保荐代表人应当及时提出督导意
见，并督促相关主体进行补正。
关注公共传媒关于上市公司的报道，及时针
对市场传闻进行核查。经核查后发现上市公
司存在应披露未披露的重大事项或与披露的
本持续督导期间，公司未出现该等事
15 信息与事实不符的，保荐人应及时督促上市
项。
公司如实披露或予以澄清；上市公司不予披
露或澄清 的，应及时向上海证券 交易所报
告。
在持续督导期间发现以下情形之一的，保荐
人应督促上市公司做出说明并限期改正，同
时向上海证券交易所报告：
（一）上市公司涉嫌违反《上市规则》等上海 本持续督导期间，公司及相关主体未
16
证券交易所相关业务规则； 出现该等事项。
（二）证券服务机构及其签名人员出具的专业
意见可能存在虚假记载、误导性陈述或重大
遗漏等违法违规情形或其他不当情形；
序号 项目 工作内容
（三）上市公司出现《保荐办法》第七十一条、
第七十二条规定的情形；
（四）上市公司不配合保荐人持续督导工作；
（五）上海证券交易所或保荐人认为需要报告
的其他情形。
制定对上市公司的现场检查工作计划，明确
现场检查 工作要求，确保现场检 查工作质
保荐机构制定了对公司的现场检查工
17 量。保荐机构对上市公司的定期现场检查每
作计划，明确现场检查工作要求。
年不应少于一次，负责该项目的两名保荐代
表人至少应有一人参加现场检查。
重点关注上市公司是否存在如下事项：
（一）存在重大财务造假嫌疑；
（二）控股股东、实际控制人及其关联人涉嫌
资金占用；
（三）可能存在违规担保；
（四）控股股东、实际控制人及其关联人、董
事、监事或者高级管理人员涉嫌侵占上市公
司利益； 本持续督导期间，公司未出现该等事
18
（五）资金往来或者现金流存在重大异常； 项。
（六）本所或者保荐人认为应当进行现场核查
的其他事项。
出现上述情形的，保荐机构及其保荐代表人
应当督促公司核实并披露，同时应当自知道
或者应当知道之日起15日内按规定进行专项
现场核查。公司未及时披露的，保荐机构应
当及时向上海证券交易所报告。
识别并督促上市公司披露对公司持续经营能
本持续督导期间，公司及相关主体未
19 力、核心竞争力或者控制权稳定有重大不利
出现该等事项。
影响的风险或者负面事项，并发表意见。
关注上市公司股票交易异常波动情况，督促
本持续督导期间，公司及相关主体未
20 上市公司按照本规则规定履行核查、信息披
出现该等事项。
露等义务。
对上市公司存在的可能严重影响公司或者投
本持续督导期间，公司及相关主体未
21 资者合法权益的事项开展专项核查，并出具
出现该等事项。
现场核查报告。
上市公司日常经营出现下列情形的，保荐机
构、保荐代表人应当就相关事项对公司经营
的影响以及是否存在其他未披露重大风险发
表意见并披露： 本持续督导期间，公司及相关主体未
22
（一）主要业务停滞或出现可能导致主要业务 出现该等事项。
停滞的重大风险事件；
（二）资产被查封、扣押或冻结；
（三）未能清偿到期债务；
序号 项目 工作内容
（四）实际控制人、董事长、总经理、财务负
责人或核心技术人员涉嫌犯罪被司法机关采
取强制措施；
（五）涉及关联交易、为他人提供担保等重大
事项；
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的
其他情形。
上市公司业务和技术出现下列情形的，保荐
机构、保荐代表人应当就相关事项对公司核
心竞争力和日常经营的影响，以及是否存在
其他未披露重大风险发表意见并披露：
（一）主要原材料供应或者产品销售出现重大
不利变化；
（二）核心技术人员离职； 本持续督导期间，公司及相关主体未
23
（三）核心知识产权、特许经营权或者核心技 出现该等事项。
术许可丧失、不能续期或者出现重大纠纷；
（四）主要产品研发失败；
（五）核心竞争力丧失竞争优势或者市场出现
具有明显优势的竞争者；
（六）本所或者保荐机构认为应当发表意见的
其他情形。
保荐机构对公司募集资金的专户存
持续关注上市公司建立募集资金专户存储制
储、募集资金的使用以及投资项目的
度与执行情况、募集资金使用情况、投资项
24 实施等承诺事项进行了持续关注，督
目的实施等承诺事项，对募集资金存放与使
导公司执行募集资金专户存储制度及
用情况进行现场检查。
募集资金监管协议。
2022年上半年，保荐机构发表核查意
见具体情况如下：
2022年3月24日，保荐机构发表《海通
证券股份有限公司关于合肥芯碁微电
子装备股份有限公司首次公开发行部
分限售股上市流通的核查意见》；
2022年4月26日，保荐机构发表《海通
证券股份有限公司关于合肥芯碁微电
25 保荐机构发表核查意见情况。 子装备股份有限公司使用部分闲置募
集资金和闲置自有资金进行现金管理
的核查意见》；
2022年4月26日，保荐机构发表《海通
证券股份有限公司关于合肥芯碁微电
子装备股份有限公司2021年度募集资
金存放与使用情况的核查意见》；
2022年4月26日，保荐机构发表《海通
证券股份有限公司关于合肥芯碁微电
序号 项目 工作内容
子装备股份有限公司首次公开发行股
票部分募投项目结项并将节余募集资
金永久补充流动资金之专项核查意
见》。
二、保荐机构对上市公司信息披露审阅的情况
海通证券持续督导人员对公司 2022 年上半年的信息披露文件进行了事先或
事后审阅，包括股东大会会议决议及公告、董事会会议决议及公告、监事会会议
决议及公告、募集资金使用和管理的相关报告和其他临时公告等文件，对信息披
露文件的内容及格式、履行的相关程序进行了检查。
经核查，保荐机构认为，芯碁微装严格按照证券监督部门的相关规定进行信
息披露，依法公开对外发布各类定期报告或临时报告，确保各项重大信息的披露
真实、准确、完整、及时，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏。
三、重大风险事项
公司面临的风险因素主要如下：
（一）核心竞争力风险
公司属于技术密集型行业，升级换代速度快，较强的技术研发实力是行业内
公司保持持续竞争力的关键要素之一。为了保持技术领先优势和持续竞争力，公
司必须准确地响应客户需求并预测技术发展方向，并根据预测进行包括对现有技
术进行升级换代在内的研发投入。若公司未来不能准确把握相关产品技术和市场
发展趋势，技术升级迭代进度和成果未达预期，或者新技术无法实现产业化，将
影响公司产品的竞争力并错失市场发展机会，对公司的持续竞争能力和未来业务
发展产生不利影响。
（二）市场竞争加剧风险
目前国内 PCB 直接成像设备及泛半导体直写光刻设备市场主要由欧美、日
本等国家和地区的国际知名企业所占据。近年来随着我国对相关产业的高度重视
和支持力度加大，我国 PCB 及泛半导体设备行业技术水平不断提高，国产设备
在产品性价比、售后服务等方面的优势逐渐显现。我国 PCB 及泛半导体设备厂
商的逐步崛起，将会引起国际竞争对手的重视，从而加剧市场竞争。此外，PCB
及泛半导体设备市场需求的快速增长以及国内巨大的进口替代市场空间，还将吸
引更多的潜在进入者。因此，公司面临市场竞争加剧的风险。
（三）行业风险
公司所处行业受下游 PCB 及泛半导体终端消费市场需求波动的影响，其发
展往往呈现一定的周期性，若上述终端行业的产品高端化升级趋势放缓或遭遇周
期性全球宏观经济环境恶化，将直接影响上述终端行业产品的市场需求，从而对
上游 PCB、泛半导体光刻设备的市场需求造成不利影响，存在一定的周期性波
动风险。
（四）疫情管控对正常生产经营带来的影响
截至目前，全球新冠疫情仍比较严重，严格的封控措施会导致原材料供货不
稳定、原材料价格上涨、客户停工停产、物流发货受阻等问题，由此对公司经营
产生一定的不利影响。
（五）国际争端、全球通胀带来的经济下行风险
近年来，国际贸易摩擦、俄乌战争等国际争端不断，特别在 PCB、泛半导
体等高科技产业中影响较大，在带来相关产业国产替代机遇的同时也存在一定的
风险。俄乌战争等争端带来了大宗原材料上涨、美国对华部分企业制裁力度加大、
局部区域经济下行等风险。目前全球通胀处于较高水平，若未有有效政策加以限
制，国际争端等如继续恶化，对公司全球市场的布局以及部分原材料的采购会产
生一定影响。
四、重大违规事项
无。
五、主要财务指标的变动原因及合理性
2022 年上半年，公司主要财务数据如下：
单位：元
增减幅度
主要财务数据 2022 年 1-6 月 2021 年 1-6 月
（%）
营业收入 255,152,725.01 186,304,314.43 36.95
归属于上市公司股东的净利润 56,845,976.72 43,155,768.42 31.72
归属于上市公司股东的扣除非经
44,633,233.20 38,040,402.60 17.33
常性损益的净利润
经营活动产生的现金流量净额 -26,132,955.17 -9,653,147.77 -170.72
增减幅度
主要财务数据 2022 年 6 月 30 日 2021 年 12 月 31 日
（%）
归属于上市公司股东的净资产 965,021,158.95 931,109,907.23 3.64
总资产 1,303,746,018.45 1,263,571,429.80 3.18
2022 年上半年，公司主要财务指标如下：
主要财务指标 2022年1-6月 2021年1-6月 增减幅度（%）
基本每股收益（元／股） 0.47 0.41 14.63
稀释每股收益（元／股） 0.47 0.41 14.63
扣除非经常性损益后的基本每股收
0.37 0.36 2.78
益（元／股）
加权平均净资产收益率（%） 5.92% 4.53% 增加1.39个百分点
扣除非经常性损益后的加权平均净
4.65% 3.99% 增加0.66个百分点
资产收益率（%）
研发投入占营业收入的比例（%） 16.55% 12.30% 增加4.25个百分点
上述主要财务数据和财务指标的变动原因如下：
1、在新冠疫情不断反复、封控措施加码、全球通胀居高不下的环境下，报
告期内，公司实现营业收入 25,515.27 万元，同比增长 36.95%，归属于上市公司
股东的净利润 5,684.60 万元，同比增长 31.72%，系公司全力保障生产经营，外
拓市场，内夯研发，泛半导体、PCB 等产品应用领域增加，客户技术迭代需求
不断增加、公司的综合竞争力提升、行业客户与公司深度合作等原因所致。
2、经营活动产生的现金流量净额同比下降 170.72%，主要系公司加大与大
客户合作，测试机台增加，海外采购原材料储备增加所致。
六、核心竞争力的变化情况
（一）技术与创新优势
技术创新是公司保持竞争优势的关键。首先，公司在研发方面持续投入，报
告期内研发投入同比增加 84.24%。研发费用的持续投入为公司形成体系化的技
术升级能力和打造不断深化的技术创新优势提供了重要保障。
其次，在技术成果方面，持续的研发投入也为公司积累了大量技术成果，截
至 2022 年上半年，公司累计获得相关知识产权 134 项，其中发明专利 51 项，实
用新型专利 64 项，外观设计专利 5 项，软件著作权 14 项。通过持续的自主研发，
公司已形成了系统集成技术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对
焦技术、高精度高速对准多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技
术、高可靠高稳定性及 ECC 技术、高速实时高精度图形处理技术等一系列直写
光刻关键技术。
最后，在公司与客户、产业、高校的融合中，进一步巩固和提升了公司的核
心技术优势。根据市场需求，开发了多款设备；公司加大关键技术模块的攻坚力
量，内部组成多个团队进行关键技术攻关；基础研发工作围绕提升平台对位精度、
提升产能产速、降本增效、提升零部件自研等方面展开，公司自研激光器功率进
一步提升；保持与高校紧密合作，夯实公司技术实力。部分产品相关技术指标比
肩或超过国际厂商，具有较强的产品竞争力。
（二）市场和客户资源优势
公司凭借具有较强竞争力的产品及优秀的销售团队不断开拓下游市场，建立
了完善的销售、技术和服务网络，在 PCB 及泛半导体领域内积累了丰富的客户
资源。
在 PCB 领域，公司直接成像设备销售收入逐年增长，市场占有率不断提升，
积累了大量全球高质量客户，实现了 PCB 前 100 强全覆盖。台资企业如宏华胜
（鸿海精密之合（联）营公司）、健鼎科技（3044.TW）、沪电股份(002463)、
定颖电子（6251.TW）、相互股份(6407.TW)、竞国实业（6108.TW）、日翔股份、
淳华科技、柏承科技、峻新电脑、台湾软电、迅嘉电子等；港资企业如红板公司、
诚亿电子、安捷利实业（01639.HK）等；美资企业 TTM（迅达科技、美维）集
团；内资企业如深南电路（002916）、景旺电子（603228）、广东骏亚（603386）、
崇达技术（002815）、胜宏科技（300476）、四会富仕（300852）、博敏电子（603936）、
中京电子及中京元盛（002579）、维信电子、超毅科技、广合科技、科翔股份
（300903）、协和电子（605258）、弘信电子（300657）、中富电路（300814）、
明阳电路（300379）、生益电子（688183）、奕东电子（301123）、世运电路（603920）、
深联电路等。报告期内，新增了与国际头部 PCB 厂商鹏鼎控股（002938）的订
单。
泛半导体领域，公司产品应用在 IC、IC 掩膜版制造、IC 载板、MEMS、生
物芯片、分立功率器件等制造、先进封装、显示光刻等环节，应用场景不断拓展，
积累了维信诺、辰显光电、佛智芯、矽迈微、生捷电子、立德半导体、华芯中源、
泽丰半导体、亘今精密等企业级客户；IC 载板领域拓展了上达电子、日翔股份、
浩远电子、维信电子、明阳电路、深南电路等客户。2022 年上半年新增的部分
客户有香港科技大学等院所、华天科技、炬光科技、广芯封装基板等。
综上，公司产品凭借良好的技术和本地化服务优势取得了各大客户的认可，
与各大客户建立了长期、稳定的合作伙伴关系，具有较高的客户粘性。优质的市
场客户资源对公司的技术创新、市场占有率、品牌影响力和盈利水平等具有重大
影响，为公司后续业务的持续拓展奠定了坚实的基础。
（三）快速服务、响应优势
直写光刻设备是 PCB、泛半导体领域制造工艺中的核心设备之一，下游厂商
对设备的质量、性能及稳定性要求较高，并对设备的调试、维保等服务要求较高。
公司拥有专业技术服务团队，分布在我国 PCB、泛半导体等电子信息产业集中
的华南、华东、华中、华北和台湾等区域，相比德国 Heidelberg、以色列 Orbotech、
日本 ORC 等国外竞争厂商，公司凭借本土服务优势，能够为国内客户提供更为
迅速、及时的 7*24 小时技术支持与服务，做到 30 分钟响应、国内 8 小时到达现
场，形成了快速服务及响应的竞争优势。
（四）产品应用场景优势
在业务规模方面，虽然公司与以色列 Orbotech、日本 ORC、ADTEC 等国外
厂商相比较，在销售规模方面还存在一定的差距。但与国内厂商相比较，公司直
写光刻设备覆盖了 PCB 制造、IC/MEMS/生物芯片/分立功率器件等制造、IC 掩
膜版制造、先进封装、显示光刻等多个细分应用领域，在直写光刻领域具有较为
丰富的产品布局，能够覆盖更为广阔的下游细分市场，满足细分领域内客户的差
异化需求，从而形成一定的产品应用场景优势。未来，随着公司技术的不断升级，
产品将持续向泛半导体细分领域拓展，进一步增强公司产品应用场景优势。
（五）专业团队优势
高素质、经验丰富的技术团队是公司保持技术创新的根本保障。公司始终重
视技术人才队伍的培养和建设，通过内部培养和外部引进的方式形成了深厚的人
才储备。公司领军人才先后获得“安徽省高层次科技人才团队”、“安徽省创新
创业领军人才”、“安徽省百人计划引进人才”、“庐州产业创新团队”、“江
淮硅谷创新创业团队”、“合肥市领军人才”等荣誉称号。公司科学家团队具备
三十年以上半导体设备开发经验，来自于蔡司、科天半导体、球半导体等国际厂
商，核心团队曾承担国家 02 专项激光直写光刻技术研发工作。截至 2022 年上半
年，公司研发技术团队共有 187 人，占员工总人数的 43%。研发人员专业覆盖面
广，涵盖光学、精密机械、图形处理、机器视觉、深度学习、测控技术与仪器等
专业领域。
（六）差异化竞争策略优势
近年，面对复杂的外部环境和激烈的市场竞争，公司采取了差异化的竞争策
略。在 PCB 高阶市场，公司可直接对标国际竞争对手，以产品稳定性、可靠性
及本地化服务优势攻占高端市场；在 PCB 中低阶市场，推出 FAST 系列新产品，
以性价比、可靠性、稳定性优势抢占低端市场，提升市场占有率；最后，报告期
内公司还推出了大客户和头部客户策略，深化了与生益电子、胜宏科技、沪电股
份、定颖电子等客户合作，新增国际头部 PCB 厂商——鹏鼎控股订单；在泛半
导体领域，公司加强了泛半导体销售队伍建设，全力开拓泛半导体业务。
七、研发支出变化及研发进展
（一）研发支出变化情况
报告期内，公司加大研发投入，研发费用增长率达 84.24%，基于客户需求
和行业发展，公司推出了 5 款新产品；公司高度重视研发，扩宽技术护城河，不
断助推设备精度往精细化方向演进，研发工作围绕提升平台对位精度、提升产能
产速、降本增效等方面展开；公司进一步提升设备零部件自研率，自研激光器功
率进一步增加；加大关键技术模块的攻坚力量，内部组成多个团队进行关键技术
攻关，报告期内新增与西交大的关键技术项目合作。
2022 年上半年度，公司研发投入情况如下：
单位：元
本期数 上年同期数 变化幅度（%）
费用化研发投入 42,219,614.30 22,915,413.96 84.24
资本化研发投入 0 0 0
研发投入合计 42,219,614.30 22,915,413.96 84.24
研发投入总额占营业收入比例（%） 16.55 12.30 4.25
研发投入资本化的比重（%） 0 0 0
（二）研发进展
报告期内，公司新增获得 14 项研发成果，其中发明专利 10 项，实用新型专
利 3 项，外观专利 1 项。
公司在微纳直写光刻核心技术领域具有丰富的技术积累，持续在系统集成技
术、光刻紫外光学及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准
多层套刻技术、高精度多轴高速大行程精密驱动控制技术、高可靠高稳定性及
ECC 技术、高速实时高精度图形处理技术和智能生产平台制造技术等前沿科技
领域投入研发力量，持续构建高端装备在“光”、“机”、“电”、“软”、“算”
的技术护城河。
报告期内，公司持续保障核心技术的先进性。首先，根据市场需求，持续进
行研发投入对产品进行更新换代，顺应高阶产品不断增加的需求，产品升级朝着
更精细的光刻精度发展。其次，着眼于客户需求及行业发展趋势，开发了多款设
备，例如，针对目前市场需求较为强烈的软板、类载板、防焊、mini/micro LED、
陶瓷基板等市场，新增了 MAS 12、NEX 60、NEX 60-W、NEX 50、MLF 等 5
款设备。第三，公司加大关键技术模块的攻坚力量，内部组成多个团队进行关键
技术攻关；基础研发工作围绕提升平台对位精度、提升产能产速、降本增效、提
升零部件自研率等方面展开，公司自研激光器功率进一步提升。最后，报告期内
新增与西交大的关键技术项目合作，夯实公司在图形、图像处理上技术实力。在
公司与客户、产业、高校的融合中，进一步巩固和提升了公司的核心技术优势。
报告期内，公司持续保障核心技术的先进性，公司始终秉承“成为国产光刻
机世界品牌”的奋斗目标，在“依托自有核心技术，加大研发力度，开拓新型应
用领域”及“整合行业资源，打造高端装备产业供应链”的战略发展方向下，专
注于微纳直接成像设备及直写光刻设备领域，围绕自身技术优势，结合行业发展
趋势，持续进行产品研发创新，通过多年的技术积累及产业融合，公司已发展成
为国产高端装备供应商，相关技术指标已比肩国际厂商。
八、新增业务进展是否与前期信息披露一致
不适用。
九、募集资金的使用情况是否合规
截至 2022 年 6 月 30 日，公司本年度已使用募集资金金额为人民币
54,715,219.63 元，累计已使用募集资金金额为人民币 203,022,041.44 元，本年度
收到募集资金利息扣除手续费净额为 4,337,463.47 元，累计收到募集资金利息收
入扣除手续费净额为 9,749,458.37 元，现金管理理财结算户余额为人民币
150,000,000.00 元，募集资金存储账户余额为人民币 4,828,161.76 元（含活期利
息）。
截至 2022 年 6 月 30 日，募集资金存放情况如下表所示：
2022 年 6 月 30 日
开户银行 账号 存款方式 账户余额
(人民币元)
中信银行合肥分行营业部 8112301011000711239 活期 710,445.88
中国建设银行股份有限公司合肥政务
34050146480800002478 活期 3,717,724.23
文化新区支行
中国农业银行合肥分行营业部 12187001040099999 活期 399,491.65
东亚银行（中国）有限公司合肥分行 149000252760400 活期 500.00
杭州银行股份有限公司合肥科技支行 大额存单 理财 90,000,000.00
东亚银行（中国）有限公司合肥分行 结构性存款 理财 60,000,000.00
合计 / / 154,828,161.76
公司 2022 年上半年募集资金存放与使用情况符合《证券发行上市保荐业务
管理办法》、《上市公司监管指引第 2 号——上市公司募集资金管理和使用的监
管要求》、《上海证券交易所科创板股票上市规则》、《上海证券交易所科创板
上市公司自律监管规则适用指引第 1 号——规范运作》等法律法规和制度文件的
规定，对募集资金进行了专户存储和专项使用，并及时履行了相关信息披露义务，
募集资金具体使用情况与公司已披露情况一致，不存在变相改变募集资金用途和
损害股东利益的情况，不存在违规使用募集资金的情形，募集资金管理和使用不
存在违反国家反洗钱相关法律法规的情形。
十、控股股东、实际控制人、董事、监事和高级管理人员的持股、质押、
冻结及减持情况
报告期内，存在高级管理人员股份减持，具体情况如下：
单位：股
报告期内股份
姓名 职务 期初持股数 期末持股数 增减变动原因
增减变动量
方林 高管 1,400,000 1,320,000 -80,000 个人资金需求
此外，截至 2022 年 6 月 30 日，芯碁微装控股股东、实际控制人、董事、监
事和高级管理人员持有的芯碁微装股份均不存在质押、冻结及减持的情形。
十一、上市公司是否存在《保荐办法》及上海证券交易所相关规则规定应
向中国证监会和上海证券交易所报告或应当发表意见的其他事项
经核查，截至本持续督导跟踪报告出具之日，上市公司不存在按照《保荐办
法》及上海证券交易所相关规则规定应向中国证监会和上海证券交易所报告或应
当发表意见的其他事项。
（以下无正文）
（本页无正文，为《海通证券股份有限公司关于合肥芯碁微电子装备股份有限公
司 2022 年半年度持续督导跟踪报告》之签字盖章页）
保荐代表人签名：_____________ _____________
于军杰 林剑辉
海通证券股份有限公司
年 月 日
